Вакуумная камера для металлизации пластин

 

Класс 48 h, 11 „,, 106689

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

О. К. Гринев, Н. М. Зверьков и H. А. Розин

ВАКУУМНАЯ КАМЕРА ДЛЯ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ПЛАСТИН

Заявлено 19 января 1957 r. за № 565060 в Комитет ио делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Вакуумные камеры для металлизации пластин известны. Особенностью описываемой камеры является установка в ней вращающегося барабана, между диском и кольцом которого по окружности размещены врагцающиеся рамки с кассетами. Это позволяет производить металлизацию пластин с двух сторон без нарушения вакуума..

Вакуумная камера для металлизации пластин выполняется следующим образом.

В горизонтально расположенной цилиндрической камере I (см. чертеж), из которой откачивается воздух с помощью форвакуумного и диффузионного насосов, помещают враша|ощиеся, соединенные между собой шестью стержнями 2 диск

8, сидящий на шпонке 4 валика механизма вращения 5, и кольцо б, внутренней поверхностью опираюгцееся на три ролика 7.

Диск и кольцо со стержнями представляют собой в целом вращающийся барабан, в который посредством отжимных пружин 8 во втулки 9 вставляются своими цапфами 10 шесть рамок 11, На каждой рамке укреплены ограничители 12 и 18, а на диске 8— пружины 14 и 15, взаимодействующие с ограничителями при повороте рамок.

Пластины, подлежащие металлизации, укладываются в разъемные кассеты 1б, которые в свою очередь закладываются в гнезда рамок 11 и запираются в них поворотными пружинами замками 17.

В результате смещения центра тяжести рамок 11 относительно оси их вращения, а также взаимодействия ограничителей 12, 18 с пружинами 14, 15, происходит последовательное поворачивание рамок с пластинами в кассетах на 180 под действием собственного веса при вращении барабана посредством маховичка 18 и горизонтальное расположение рамок над центральным желобом-электроиспарителем 19. В последнем уложены кусочки металла, предназначенного для испарения и осаждения на пластинах.

Последовательными включениями электрической цепи нагрева желоба 19, при созданном в камере соответствующем вакууме, обеспечивается покрытие металлом одной стороны пластин последовательно во всех шести рамках при поворо¹ 1Обб89 тах барабана на 60 в одном направлении, При поворотах барабана в другом направлении металлом покрывается вторая сторона плас- тин.

Предмет изобрстепия

1. Вакуумная камера для металлизации пластин, о т л и ч а ю щ а яся тем, что, с целью металлизации пластин с двух сторон без нарушения вакуума, в ней установлен вращающийся вокруг желоба-электроиспарителя барабан, между диском и кольцом которого по окружности размещены вращающиеся вокруг своих осей рамки с кассетами-деталями, центр тяжести которых смещен так, что при вращении барабана и взаимодействии ограничителей на диске барабана и рамках последние переворачиваются на 180 .

2. В вакуумной камере по п. 1 применение разъемных кассет с отверстиями в основании и крышке, соответствующими заданному контуру металлизации пластин (деталей) .