Резистивный материал
РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ, со- . держащий лантаноид и добавку, о тл и ч а ю щ и и с я -тем, что, с : целью повышения величины удельного : сопротивления, в качестве лантаноида он содержит эрбий,.а в качестве добавки - теллур при следующем соотношении компонентов, вес.%: 39,6-81,0 Эрбий 19,0-60,4 Теллур
СОЮЗ СаВЕТСННХ
Й IWNC
РЕСПУБЛИН э(Я) Н 01 С 7 00
rocvgrecmme A eaumzr cccp
ЛЦ и
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3343095/18-21 (22) 24.09.81 (46) 23 ° 04.83. Бюл. 9 15 (72) Л. С. Палатник, М. Н. Набока, Л. Е. Синицына и P. П. Аксенов (53) 621.316.8(088 ° 8) (56) 1. Патент Англии 9 1282020,. кл. Н 01 С 7/00, 1972.
2. Авторское свидетельство СССР
Р 6880i4, кл: Н 01 С 7/ОО, 1978 (прототнп) °
SU„„4046 A —, (54) (57) РЕЗИСТИВНЫЙ. ИАТЕРИАЛ содержащий лантаноид и добавку, о тл и ч а ю шийся ..тем, что, с целью повышения величины удельного сопротивления, в качестве лантаноида он содержит эрбий, а в качестве добавки - теллур при следующем соотношении компонентов, вес.В:
Эрбий 39,6-81.,0
Теллур 19,6-60,4
1014046 ткс, „ град ° 10 (20 С) pi мам см (20 С ) Ткснд . i С
Состав, вес.Ъ (Те
660 +5,3
710
19,0
81,0
+17
800
695
62,5
37,5
56,.7
+1 1
3300
680
43,3
-0,8
6100
49,8
630
50,2
-10,0
570
13200
60,4
39,6
Таблица 2
ТКС, град - 10
-4 -6 (20©C) р, мкОм см (20ОС) Состав, вес..Ф
) в
Lа
««««М»«»«»«
68
72
105
0 2
175
-0,4
1200
59
ВНИИПИ Заказ 3029/62 Тираж 701 Подписное
Филиал ППП "Патент", r, Ужгород,ул.Проектная,4
Иэсбретение относится к электронной технике и может быть использовано, например, в микроэлектронике при изготовлении резистивных элементов.
Известен резистивный материал, содержащий лантаноид и добавку f 1).
Недостатком известного резистивного материала является узкий диапа.зон удельного сопротивления.
Наиболее близким к изобретению техническим решением является реэистнвный материал, содержащий лантаяьид и добавку 2.).
Недостаток известного резистивного материала заключается в низких значениях удельного сопротивления, которое при 20 С составляет 201200 мкОм см при значениях температурного коэфФициента сопротивления от (+4) до (-4) град -10-4
Цель изобретения - повышение величины удельного сопротивления.
Указанная цель достигается тем, что резистивный материал, содержащий лантаноид к добавку, в качестве лантаноида содержит эрбий, а в качестве добавки - теллур при следующем соотношении компонентов, вес.В:
5 Эрбий 39,6-81,0
Теллур 19 0-60,4 реэистивный матерйал ncuty am пу" тем конденсации в вакууме 10 «10"4торр эрбия и теллура кз двух испарителей (О при 570-730 С.
Состав резистивного материала и его характеристики приведены B табл. 1.
Для сравнения в табл. 2 приведены
15 электрические характеристики известного материала.
Таким образом, изобретение nosso.ляет повысить удельное сопротивление реэистивного материала при низком значении ТКС. Кроме того, достоинством предлагаемого резистивного материала, является простота регулирования величины его удельного сопротив-. ления путем изменения температуры
2 подложки, Таблица 1
