Кассета

 

союз советсних

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

3GD Н 01 3 21,/68

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

ГОСУДАРственный нОмитет сссР

По делам изоБРетений и ОтнРьгий

К .ABTOPCHOINf СВИДЕТЕЛЬСТВУ (211 3256069/18-21

Л2) 05. 03. 81

- (46) 15.05.83. Бюл. 9 18 (72) Н.Я.Мещеряков и Н.И..Сухоруков (53) 621. 382,002 (088.8) (86) 1. Авторское свидетельство СССР ,9.445709, кл. С 25 D 17/06, 1973.. (54) (57 1. КАССЕТА преимущественно для обработки и транспортировки, полупроводниковых подложек, содержащая размещенные между стойками пбдложкодержатели, выполненные в виде установленных параллельно и на разных уровнях стержней с пазами для полупроводниковых подложек,.о т—

„.Я0... 18180 А личающаяся тем, что, с целью повышения надежности фиксации полупроводниковых подложек и повышения их качества, стержни, установленные на одном уровне, выполнены полыми и снабжены размещенными внутти них подпружиненными. штоками и механизмом их перемещения и фиксации.

2. Кассета по п. 1, о т л и— ч а ю щ а я с я тем, что механизм перемещения и фиксации подпружинен-. . ных штоков .выполнен в виде жестко закрепленных на общей оси эксцентриков, установленных с возможностью взаимодействия с торцовыми поверхностями подпружиненных штоков. " -,р

1018180 верхностями контактируют с эксцентриками 9, жестко сидящими на поворотной оси 10 и имеющими ручку 11.

Эксцентрики и пружины служат для фиксации и освобождения полупроводниковых пластин 1? и защитных экранов (или других полупроводниковых пластин) 1 3.

Подготовка к работе и работа кассеты при плазмохимическом травлении

10 полупроводниковых пластин осуществляется следующим образом.

Полупроводниковые кремниевые пластины 12 с нанесенной на них пленкой нитрида кремния, которые необходимо обработать с одной стороны, помещают в пазы 4 и 5 стержней, закрепленных в стойках 1. Одновременно в эти пазе устанавливают защитные экраны 13, причем сторона . пластины, которую необходимо защитить от травления, должна быть обращена к экрану. Экраном может служить и другая полупроводниковая пластина.

B этом случае пластины устанавливают

25 друг к другу сторонами, которые не должны подвергнуться травлению. На этом этапе работы эксцентрики находятся в положении "загрузка", т.е. пазы 4 в трубках верхних 2 стержней совпадают с пазами 7 в штоках б, а пружины 8 сжаты.

После загрузки партии пластин ручку 11 перемещают в положение

"процесс", при этом эксцентрики 9 поворачиваются вокруг оси 10 и контактирующие с ними штоки б перемеща.ются под действием пружин, сокращая ширину между пазами 4 и 7. В результате этога пластины прижимаются к защитным экранам (или другим пласти40 нам)., . Кассету с зафиксированными пластинами помещают в камеру для плаэмохимической обработки или передают для транспортировки на другую опе45 рацию. При этом никаких смещений пластин и экранов относительно друг друra не происходит.

Изобретение относится к устройствам для односторонней групповой обработки и транспортировки плоских изделий, например полупроводниковых пластин.

Наиболее близкой к предлагаемой является кассета, содержащая размещенные между стойками подложкодержатели, выполненные в виде установленных параллельно и на разных уровнях стержней с пазами для полупроводниковых подложек 1).

Недостатками этого устройства являются ненадежная фиксация пластин и невозможность его использования при необходимости обрабатывать лишь одну сторону пластины, например,. при плазмохимическом травлении. Это обусловлено тем, что устройство имеет фиксированные, неподвижные пазы для размещения пластин, исклю-. чающие возможность установки и плотного прижатия защитных экранов к пластинам или пластины к пластине.

Цель изобретения — повышение надежности фиксации полупроводниковых подложек и повышение их качества.

Поставленная цель достигается тем что в кассете преимущественно для обработки и транспортировки полупроводниковых подложек, содержащей размещенные между стойками подложкодержатели, выполненные в виде установленных параллельно и на разных уровнях стержней с пазами для полу.проводииковых подложек, стержни, установленные на одном уровне, выполнены полыми и снабжены размещенными внутри них подпружиненными штоками и механизмом их перемещения и фиксации.

При этом механизм перемещения и фиксации подпружиненных штоков выполнен в виде жестко закрепленных на общей оси эксцентриков, установленных с возможностью взаимодействия с торцовыми поверхностями годпружиненных штоков.

На фиг. 1 изображена кассета, вид сверху; на фиг. 2 — то же, спереди, на фиг. 3 - трубка со штоком, разрез, в момент загрузки пластин, фиг. 4 - то же, послев фиксации полупроводников пластин, Кассета содержит стойки 1, соединенные верхними 2 и нижними 3 стержнями, на которых имеются пазы соответственно 4 и 5. В качестве верхних 2 стержней использованы трубки, внутри которых размещены штоки б, имеющие пазы 7, по шагу и размерам соответствующие пазам в трубках. С одной стороны штоки б подпружинены пружинами 8, а с другой стороной своими торцовыми поПосле выполнения необходимых операций эксцентрики возвращаются в положение "загрузка", в результате чего штоки б перемещаются вправо, сжимая пружины и совмещая прорези в штоках с пазами в трубках. Освобожденные от зажима пластины извлекают из кассеты и передают на следующую операцию.

Применение предлагаемой кассеты при плазмохимической обработке кремниевых пластин позволяет повысить качество обработки и исключить бой пластин в процессе обработки и транспортировки.

Составитель Л. Гришкова

Редактор Т. Веселова . Техред М.Тепер Корректор Е. Роыко

Заказ 3554/51 Тираж 703 . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Рашуская наб., д. 4/5

Филиал ППП "патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4