Источник магнетронного распыления ферромагнитных материалов
1. Источник магнетронного распыления ферромагнитных материалов, содержащий катод, магнитную систему с полюсными наконечниками и мишень, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции, в мишени выполнена канавка, расположенная между полюсными наконечниками магнитной системы.
2. Источник по п.1, отличающийся тем, что канавка расположена на поверхности мишени, прилегающей к магнитной системе.
Похожие патенты:
Патент 247001 // 247001
Изобретение относится к химико-термической обработке, в частности к ионному азотированию
Изобретение относится к области химико-термической обработки металлов, а именно к устройствам для обработки деталей в несамостоятельном тлеющем разряде и может быть использовано в машиностроении, автостроении и арматуростроении
Катодный узел // 2089661
Изобретение относится к вакуумной технике
