Патент ссср 247001

Авторы патента:

C23C14/42 - триодное распыление (C23C 14/35 имеет преимущество)

C23C14/32 - с использованием взрыва, испарения и последовательной ионизации паров (C23C 14/34-C23C 14/48 имеют преимущество)

2470 Ol

ОПИСАН И Е

ИЗОЫ ЕТ ЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Совтз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Кл. 48b, 13/08

3 а явлено 09.1.1968 (K 1209104!22-1 ) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

МПК С 23с

УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Комитет оо делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

Опубликовано 26 1.1970. Бюллетень № 6

Дата опубликования описания 9.V1.1970. .Втор изобретения

В. А. Злотин

Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.

Известна установка для ионно-плазменного распыления, содержащая вакуумную камеру, подложку, мишень из распыляемого материала и ионизационную систему.

Предложенная установка отличается тем, что ионизационная система выполнена в виде двух одинаковых электродов-термокатодов.

Такая установка обеспечивает равномерность толщины осаждаемой пленки, проста по конструкции и компактна.

На чертеже изображена схема описываемой установки.

Установка состоит из вакуумной камеры 1, подложки 2, мишснн 8 из распыляемого материала и ионнзационной системы, выполненной

В Виде двух одинаковых электродов-термокатодов 4 и 5, накал которых осуществляется от источников б и 7. К термокатодам 4 и 5 приложено переменное напряжение, создаваемое источником 8. Мишень 3 связана с источником высокого отр|ицательного напряжения 9. Когда один из термокатодов имеет отрицательный потенциал, эмиттируемые им электроны ускоряются по направлению ко второму термокатоду, имеющему в это время .положительный потенциал и служащему анодом. В следующем полупериоде термокатоды меняются ролями. Таким образом, хотя в каждый данный момент электростатическое поле в системе не является симметричным, в среднем за время процесса

10 поле анода не влияет на скорость распыления и не нарушает равномерности толщины плен. ки.

Предмет изобретения

15 Установка для понно-плазменного распыления, содержащая вакуумную камеру, подложку, мишень из распыляемого материала и ионнзационную систему, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения равномерности тол20 щины осаждаемой пленки и упрощения конструкции, ионизационная сисгема выполнена р виде двух одинаковых электродов-термокато,дов.

247001

Составитель В. Злотии

Техред А. А, Камышникова Корректор В. В. Комарова

Редактор В. Сорокин

Заказ 1292/7 Тираж 50Р Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва 5Ê-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Похожие патенты:

Патент 245253 // 245253

Устройство для высокочастотной электроимпульсной обработки металлов // 208766

Способ изготовления токопроводящих пленок и устройство для его осуществления // 2105083

Изобретение относится к области микроэлектроники

Устройство для электродугового нанесения покрытий // 2110605

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в машиностроении и станкостроительной промышленности

Способ импульсно-периодической ионной и плазменной обработки изделия и устройство для его осуществления // 2113538

Способ импульсно-периодического нанесения вакуумных покрытий и устройство для его осуществления // 2141004

Изобретение относится к вакуумной ионно-плазменной технике, предназначенной для нанесения покрытий при их одновременном облучении ускоренными ионами и используемой для модификации поверхностей материалов и изделий в машино- и приборостроении, в инструментальном производстве и других областях

Катод электродугового испарителя // 2196847

Изобретение относится к области нанесения покрытия и может быть использовано для нанесения покрытий на режущий инструмент с помощью электрической дуги в вакууме в атмосфере химически активных газов

Способ упрочнения коленчатого вала двигателя внутреннего сгорания // 2231565

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано при упрочнении коленчатых валов двигателей внутреннего сгорания

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента // 2253693

Изобретение относится к способу нанесения многослойного покрытия на режущий инструмент и может быть использовано в различных отраслях машиностроения при металлообработке

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента // 2253694

Способ нанесения декоративного нитридтитанового покрытия на изделия из керамики, металла, стекла и полимерных материалов // 2266351

Изобретение относится к области нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме

Вакуумное электродуговое устройство // 2306366

Изобретение относится к вакуумно- электродуговому устройству для нанесения высококачественных покрытий и может быть использовано в машиностроении, инструментальной, электронной, оптической и других отраслях промышленности для модификации поверхностей материалов

Устройство для обработки отверстий деталей в разряде в условиях низкого давления // 2173353

Триодный способ катодно-плазменного азотирования деталей с отверстиями // 2279496

Изобретение относится к химико-термической обработке, в частности к ионному азотированию

Устройство для химико-термической обработки деталей в несамостоятельном тлеющем разряде // 2355817

Изобретение относится к области химико-термической обработки металлов, а именно к устройствам для обработки деталей в несамостоятельном тлеющем разряде и может быть использовано в машиностроении, автостроении и арматуростроении

Устройство для получения защитно-декоративных покрытий в вакууме ионно-плазменным напылением // 2065890

Катодный узел для получения тонких пленок в вакууме // 2089660

Катодный узел // 2089661

Источник магнетронного распыления ферромагнитных материалов // 1036075

Устройство для нанесения диэлектрических покрытий катодным распылением в вакууме // 1322701

Изобретение относится к вакуумной технике