Устройство для передачи пластин между конвейерами, расположенными на разных высотных уровнях

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕДАЧИ ПЛАСТИН МЕЖДУ КОНВЕЙЕРАМИ, РАСПОЛОЖЕННЫМИ НА РАЗНЫХ ВЫСОТНЫХ УРОВНЯХ, включающее размещенный в вертикаль- . ном стволе подъемный стол с ограничителями , отличающееся тем, что, с целью снижения повреждений при передаче пластин, изготовленных из хрупкого материала, подъемный стол выполнен с соединенными между собой и наклонными к его поверхности отверстиями, связанными с системой сжатого газа посредством каналов и проточки, выполненный соответственно в вертикальном стволе на уровне конвейеров и в боковой стенке подъемного стола.

(19) (11) СОЮЗ СОВЕТСКИХ

И ВЬ

РЕСПУБЛИК

3(51) В 65 G47 52

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС ГВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3491925/27. 03 (22) 08.09.82 (46) 15.01.84. Бюл. Р 2 . (72) М.Г.Ураевский (71) Киргизский горнометаллургический комбинат (53) 621.867(088 ° 8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Р 122428, кл. В 65 G 47/54, 1958. 2, Авторское свидетельство СССР

9775022, кл., В 65 G 47/52,, 1978 (прототип) . (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕДАЧИ

ПЛАСТИН МЕЖДУ КОНВЕЙЕРАМИ, РАСПОЛОЖЕННЫМИ НА РАЗНЫХ ВЫСОТНЫХ УРОВНЯХ, включающее размещенный в вертикальном стволе подъемный стол с ограни- чителями, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью снижения повреждений при передаче пластин, изготовленных из хрупкого материала, подьемный стол выполнен с соединенными между собой и наклонными к его поверхности отверстиями, связанными с системой сжатого газа посредством каналов и проточки, выполненный соответственно в вертикальном стволе на уровне конвейеров и в боковой стенке подьемного стола.

1066918 подъемного стола 7, Стол выполнен с полостью 8, которая через проточ ку 9, выполненную в боковой стенке подъемного стола и через каналы 4 . и И, выполненные в вертикальном стволе, и зависимости от положения стола может соединяться с системой сжатого.газа. Прверхность стола 7 выполнена с отверстиями 10, расположенными наклонно. Отол выполнен по меньI шей мере с двумя гнездами ll с отверстием 12, в которых расположен ограничитель 13 со штоком 14:, который выполнен с возможностью свобод-ного перемещения в отверстии, при

15 этом высота ограничителя меньше вы . соты гнезда, а размер ограничителя со штоком больше высоты стола. На поверхность стола подается пластина

15. Подъемный стол перемещается между

2() расположенными на разных высотных уровнях подающим 16 и отводящим 17 конвейерами, которые могут быть выполне-. ны ленточными. Стол 7 снабжен штоком 18, который соединен с механизмом продольного перемещения. Дно вертикального ствола выполнено с отверстиями 19. Каналы 4 и 5, выполнен. ные в боковых стенках ствола, соединены с системой сжатого газа, например с системой сжатого воздуха через управляющие элементы 20 и 21, например электромагнитные вентили, а механизм продольного перемещения штока 18 выполнен в виде зубчатой рейки 2 2, с которой входит в зацепление шестеря 23 с приводом 24, например, в виде электродвигателя с реверсивным управлением.

-Устройство работает следующим

40 образ ом.

Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и материалов, в частности для созданий автоматической линии производства пластин монокристаллического кремния

Известно устройство для передачи пластин между конвейерами, расположенными на разных высотных уровнях, включающее размещенный в вертикальном стволе подъемный стол .с ограничителями и механизмом перемещения

I:13

Недостатком данного устройства является повреждение пластин при передаче эа счет возникновения ударных нагрузок на пластииу при подаче ее на подъемный стол, который выполнен наклонным с неприводными ролика" ми, и при разгрузке подъемного стола при его повороте.

Известно также устройство для передачи пластин между конвейерами, расположенными на разных высотных уровнях, включающее размещенный . в вертикальном стволе подъемный стол с ограничителями C2Ä.

Недо ст ат ком данного устрой ств а является повреждение пластин при их перемещении на подъемном столе по его роликам„ а также трение пластин о ролики в процессе перемещения подьемного стола, что вызывает повреждение пластин.

Целью изобретения является снижение повреждений при передаче пластин, изготовленных иэ хрупкого материала.

Для достижения указанной. цели в стройстве для передачи пластин межу конвейерами, расположенными на разных высотных уров н ях, включающем размещеннный в вертикальном стволе подъемный стол с ограничителями, подъемный стол выполнен с соединен-. ными между собой и наклонными к его поверхности отверстиями, связанными с системой сжатого газа посредством каналов и проточки, выполненных со- ответственно в вертикальном стволе на уровне конвейеров, и в боковой стенке подъемного стола.

На фиг, 1 показано предлагаемое устройство при перемещении пластин вверх; общий вид; на фиг. 2 - то же, при перемещении пластин вниз.

Устройство состоит из вертикаль-, ного ствола 1, который имеет загру зочный канал 2 и разгрузочный канал

3, которые выполнены в виде щели с размерами больше размеров перемещаемых пластин. Стенки ствола выполне ны с каналами 4 и 5, которые соединены с системой энергоносителя под давлением, например с системой сжатого газа через запорную арматуру.

Вертикальный ствол также снабжен ограничителями 6 перемещения хода

Открывают электромагнитный вен- тиль 21 и в каналы 4 подают сжатый газ, через проточку 9 поступающий

)в полость 8 подъемного стола 7, из которого через отверстия 10 поступает во внутреннюю полость вертикального ствола, в результате над столом, 7 создается газовый поток, направ-ленный от загрузочной щели к стенке.

50 Подающим конвейером 16 подают пластину 15, которая перемещается в стволе 1, подхватывается потоком и перемещается до упора в ограничитель

13 (фиг. 1) или в ограничитель 6

55 (фиг. 2 ), Электромагнитный вентиль

21 перекрывают и прекращается поток газа через канал 4 и проточку 9, полость 8 и отверстия .10, Пластина 15 плавно опускается на стол 7. Включаg0 ют привод 24, который, вращая шестерню 23 через зубчатую рейку 22, расположенную на штоке 18, поднимает стол 7 (фиг. 1) или опускает его (фиг. 2) до упора в ограничитель 6

<5. (фиг. 1) или ло днища (фиг. 2).

1066918

Составитель Б.Толчанов

Редактор С.Тимохина, Техред Л.Пилипенко Корректор А.Тяско

Заказ lll32/23 .- Тираж 848 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб. д.4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Проточка 9 совмещается с каналом 5, который электромагнитным вентилем

20 соединяют с системой сжатого га- эа. При подъеме стола 7 ограничите- ли l3 опускаются в гнездо 11. Направленный поток газа, проходящий через канал 5 и проточку 9, полость В и огверстия 10, поднимает и перемещает пластину 15 через канал 3 на отводящий конвейер 17, который перемещает пластину на следукицую операцию, О

Электромагнитный вентиль 20 закрывают, включают привод 24, который опускает (фиг. 1) или поднимает (фиг. 2) стол 7 за следующей пластиной. 15

На фиг. 1 н 2 показано, для примера, два варианта механи эма в ертикального перемещения пластин.

Преимуществом изобретения является исключение соприкосновения пластины со стенками вертикального ствола, плавная, осторожная загрузка и выгрузка пластин;- что обеспечивает перемещение хрупких пластин из полупроводникового материала. Более того, прн герметизации подводящих ,конвейеров и подаче очищенного инерт. ного газа устройс".во обеспечивает чистоту, стерильность атмосферы для перемещения деталей, что особенно важно при производстве полупроводниковых приборов .