Фокусирующе-отклоняющее устройство

 

ФОКУСИРУЮЩБ-ОТКЛОНЯЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО, содержащее.первую отклоняющую систему, фокусирующую катушку и вторую отклоняющую систему, расположенную внутри фокусирующей катушки , о т л-и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью уменьшения аберраций фокусировки при отклонении электронного луча по аото экрана, вторая отклоняющая система -выполнена в виде двух цилиндрических отклоняющих катушек, геометрические центры которых расположены в плоскости торцовых поверхнс%;тей фокусирующей катушки.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

1(Я) Н 013 / 2

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Ъ

° «В

ВВ

МФ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР .

tl0 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ. И ОТКРЫТИЙ (21) 3475295/18-21 (22) 23. 07 .82 . (46) 07.02.84.Бюл. Р 5 (72) С.С.Кашета, О.И.Зимарин, В..-В.В.Чяиулис и Ф. — В.Ю.Григас (71) Каунасский политехнический институт им. Антанаса Снечкуса (53) 621.3.032(088.8) (56) 1. Бонштедт Б.Э., Маркович. М.Г., Фокусировка и отклонение пучков в электроннолучевых приборах.

М., Советское радио, 1967, с.260: . 2. Ohiwa Н. Design of eCectrpn-.

bearn scaning systems using the moving

ob)ective tend. — " J.Vac. Sci. and

Techno .", 1978, Ф. 15, В 3, -р.849-852 (прототип).

« (19) Ы) (54) (57) ФОКУСИРУЮЩЕ-ОТКЛОНЯЮЩЕЕ

УСТРОЙСТВО, содержащее . первую отклоняющую систему, фокусирующую катушку и вторую отклонякщую систему, расположенную внутри фокусирукщей катушки, о т л-и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью уменьшения аберраций фокусировки при отклонении электронного луча по полю экрана, вторая отклоняющая система выполнена в виде двух цилиндрических отклонякщих катушек, геометрические центры которых расположены в плоскости торцовых поверхностей фокусирующей катушки.

1072139

Изобретение относится к устройствам для управления электронным лучом и может быть использовано в системах электронной литографии, в устройствах записи и отображения информации.

Известно фокусирующе-отклонякщее устройство (ФОУ), содержащее фокусирукщую катушку и расположенную внут ри нее электромагнитную отклонякщую систему (ОС) Г2 3.

Однако точность управления лучом недостаточна вследствие того, что возникают. большие аберрации отклонения и фокусировки прн увеличении угла отклонений.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является фокусирующе-отклонякщее устройство, содержащее первую ОС, фокусирующую катушку и вторую ОС, расположенную внутри фокусирующей катушки 2 1.

Недостатком данного устройства также является низкая точность управления лучом ввиду того, что электронно-оптическая ось фокусирующей катушки смещается магнитным полем ОС, расположенной внутри фокусирующей катушки.

Цель изобретения — уменьшение аберраций фокусировки при отклонении электронного луча по полю экрана.

Укаэанная цель достигается тем, 4то в .фокусирукще-отклоняющем устройстве (ФОУ}, содержащем первую отклонякщую систему, фокусирующую катушку и вторую отклонякщую систему, расположенную внутри фокусирующей катушки, вторая отклоняющая система выполнена в виде двух цилиндрических .отклоняющих катушек, геометрические центры которых расположены в плоскости торцовых поверхностей фокусирующей катушки.

На фиг. 2 показана схема ФОУ; на фиг. 2 - оптическая схема работы устройства.

На горловине электронно-лучевой трубки 2 размещена первая отклоняющая система 2, фокусирунщая катушка 3 и две отклонякщих катушки 4 второй отклоняющей системы; позицйя ми 5 и 6 обозначены кривые распреде-; ления магнитных полей.

Устройство работает следукщим образом.

Расходящийся пучок электронов отклоняется магнитным полем отклоняющей системы 2 (фиг. 2). При помощи двух катушек 4 создается магнитное поле, которое электромагнитным путем перемещает электронно-оптическую ось фокусирующей катушки 3 синхронно отклонению, создаваемому отклоняющей системой 2. Тогда отклоненный расходящийся пучок электронов пересекает ось фокусирукщей катушки в ее смещенном центре (точка Б) и фокусируется в точку на экране.

Для того, чтобы фокусирукщая катушка 3 сфокусировала отклоненный луч не в центр экрана, необходимо сместить ее ось так, чтобы отклоненный луч пересекал смещенную ось в центре фокусирующей линзы (точка Б).

Условие перемещения осн фокусирующей катушки имеет вид

B„(z) -- В, (z)d, где B (z) - магнитная индукция откло20 няющих катушек на смещенной осиу

В («) — магнитная индукция осесимметричной фокусирующей катушки на оси z

25 (штрих обозначает производную по 7 )

d — величина смещения оси фокусирующей катушки.

Чем точнее это условие выполняет-. ся, тем меньше аберрации отклонения всего устройства.

Правая часть уравнения — состав- . ляющая магнитной индукции фокуснрующе9 катушки Bx(z) с отрицательныа знаком (когда ось смещается в направлении оси х яа расстояние х-д). Распределение B„(z) на осн Z имеет вид кривой 5 (фиг. 2), пересекакщей ось фокусирукщей линзы в ее центре.

Значит, чтобы сместить ось фокусирующей катушки 3 на расстояние d необходимо устранить появившуюся при смещении составляющую магнитной индукции поля. Это осуществляется отклонякщими катушками 4, которые создают магнитное поле, кривая распределения магнитной индукции которых. имеет вид кривой .6, т.е. вид кривой.5 в противофазе.

В предлагаемом изобретении реали50 зуется условие электромагнитного перемещения оси фокусирукщей линзы, поэтому отклоненный луч, проходя пространство центральной области смещенной фокусирующей линзы, фоку55 сируется в любом месте рабочего поля экрана с минимальными аберрациями отклонения °

1072139

Составитель В Гавркваин

Редактор В.Петраш Темред Л,Мартявк;ва . Корректор В.Бутяга

Эакаэ 136/46 Тираж 683 . Подписное

ВНИИПИ Росударственного комитета СССР по делам иэобретеннй и открытий

113035, Москва, Е-35, РаУыская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная, 4