Устройство для поворота луча

 

Соеэ Советскин

Социалистинеских

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИД6ТИЛЬСТВУ 636769 (61) Дополнительное к авт. свил-ву (22} Заявлено 24. 11.75 (21) 2193954/18-25 (23) Приоритет - (32) 24.12. 74 (31) М/Р Н 017/183409(331 ГДР (43) Опубликовано 05.12,78Бюллетень № 45 (45) Дата опубликования описания 15.12.78 (51) M. Кл

Н 01 Х 3/32

Гееударстеенный немнтет

Совета Мнннетрое ССО в делам нзебретеннй н еткрытнй (53) УДК621,384..6 (088.8}

И ностранцы

Ро{3ерт Гюнтер, Г рнтер Еш, Антон Зандер, .

/".

Вольфганг Эрбкамм и Герхард Геске (ГДР} (72) Авторы изобретения

Иностранное предприятие

ФЕБ Бандшталькомбинат "Херманн"-Матерн (ГДР} (71) Заявитель (S4} УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОВОРОТА ЛУЧА

Изобретение относится к каналам транспортировки пучков заряженных частиц и может быть использовано для изменения трактории влектронного луча в технологических электроннолучевых установках, например в установках для осаждения из паров в вакууме.

Известно устройство для поворота лу" ча и алектроинолучевой технологической установке, содержащее ряд магнитных систем, расположенных перед передним краем испарительного тигля (11.

Недостатком етого устройства является сравнительно болыцой размер полюсннх наконечников для создания изгибаю щего магнитного поля.

Наиболее близкое техническое решение к предложенному — устройство для поворота влектронного луча, например, в влек- троинолучевой > напылительной установке, содержащее магнитную повор.>тную систему, расположенную вблизи источника напыления, и магнитную отклоняющую систему, расположенную на выходе влектронного луча из влектронной пушки )2).

В этом устройстве из-аа больших размеров поворотных полюсов, неравномерности изгибающего ма .нитного поля при малом расстоянии между подложкой и испяряемым веществом поверхность ванны с недостаточной толщиной покрытия в поперечном направлении засвечивается, Кроме того, испаряемое вещество частично осаждается на полюсах.

Целью изобретения является уменьшение габаритов установки за счет умень щения площади полюсных наконечников.

Поставленная цель достигается тем, что иа пути влектронного луча введена дополнительная поворотная магнитная система, соединенная с первой магнитопроводом.

На фиг,1 схематично показано устрой20

ergo 0 o T К ; нафиг.2-вариант магнитной цепи.

В камере 1 устройства испарительный тигель 2 укреплен на подвижном крон636709 штейне 3. На боковых сторонах 4,5 тигля на некотором безопасном расстоянии находятся стержневые полюсные наконеч ники 6,7 изгибающего магнита, на которых укреп лены соответствующие катушки 8;

9. Стержневые полюсные наконечники и катушки имеют водяное охлаждение и ук,реплены на поворотных рычагах 10,11, выполненных иэ немагнитного материала.

Рычаги соединены с тигельным кронштей- «Ф ном 3 с помощью полой немагнитной поперечины 12. При смене тигеля посредством вращения поперечины полюсные наконечники 6,7 поднимаются и освобождают тигель 2. М

Концы катушек 13,14 в этом примере не соединены с магнитным ярмом, магнитная цепь замыкается через воздушные зазоры между полюсными наконечниками 6, 7 и концами катушек 13,14, поскольку камера установки для испарительного покрытия выполнена из немагнитного материала.

Возможны также устройства, в которых магнитная цепь замыкается через ярмо полюсных наконечников, например механизм отведения, Лалее магнитная цепь образуется дву:мя воздушными зазорами между концами катушек 13,14 и стенками 15-17 камеЗО ры, если камера выполнена из.магнитных материалов, Кроме того, магнитная цепь может быть выполнена как показано на фиг.2, где рычаги 10,11 и прерванная в области прохода электронного луча 18 поперечина 12 выполнены из магнитного материала. Свободные концы частей 19 и 20 поперечины выполнены как полюсные наконечники 21,22, а части 19 и 20 со40 единены с помощью бугеля 23.

Устройство работает следующим образом.

Электронный луч 18, выходя из электронной пушки, попадает сначала в область, 43 неоднородного магнитного поля между полюсными наконечниками 2l.,22, При BTQM он отклоняется вверх, т.е, от поверхности ванны в тигле 2, за счет неоднородности поля между полюсными наконечниками 21,22. Электронный луч с координатой(У/> 0 отклоняется вверх этой области сильнее, чем электронный луч с координатой/Y l 0.

Угол ввода корректируется почти исключительно посредством имеющегося между полюсными наконечниками 21,22 неоднородного магнитного поля.

Введение этих полюсов позволяет существенно сократить размеры полюсных наконечников 6,7, находящихся непосредственно вблизи тигля, что уменьшает вероятность попадания на них испаряемого материала.

Формула изобретения

Устройство для поворота луча, например, в электроннолучевой яапылигельной установке, содержащее магнитную поворотную систему, расположенную вблизи источника напыления, и магнитную отклоняющую систему, расположенную на выходе электронного луча из электронной пушки, отличающееся тем, что, с целью уменьшения габаритов эа сче. уменьшения площади полюсных наконечников, на пути электройного луча введена дополнительная поворотная магнитная система, соединенная с первой магнитопроводом, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Патент США М 3394217, кл. 13-33, 1968.

2. патент QP М 64635, М. кл. Н 01 J 3/32, 1967.

636709

lb 17

Составитель Е. Громов

Редактор Т. Орловская Техред Л. Алферова Корректор Н. Золотовскаа

Заказ 6961/44 Тираж 918 Подписное

UHHHlIH Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4