Сверхвысоковакуумный клапан

 

СВЕРХВЫСОКОВАКУУ.М1-1!оИ1 КЛАП.АН, содержащий корпус, в к{)т()[)ом установлена с воз.можностью переменим!}!?! в направляюш.и.х онорная рама с размемкм!- ным на ней запорным органом, ме.ха1-:изм его перемещения перпендикулярно оси iipo.xo;;-iioi'o отверстия, \i:op, центрирующий запорный орган от110с!;те,'|Ь!н) проходного отверстия, и. привод, от.1и';аю!цпися тем, что, с iUMbio повышен!-;» !1адежностн герметиза- !1ии, корпус сна6>&!\сн дополните,чьным упо- p()^l. а мс\ан!1зм нерсмещсчп'.я запорного ор- !апа вь!!!о,тнеп в nii.ic шарппрпо-рычажного механизма, состоя!цего из размещенны.х вдол!) 1:родо,'1ьнон ОСИ опорной рамы ромбов с ooiiLHMii inapnnpaMii, npnHCN! один из край- !1их pO!\i6oB соединен с запорным органом, а ,!!1\ !'oii \станов,1ен с !K)3^lo>&^^нocтью взаимодс!1ствпя с до!!0,'1пительным упором, обнд.ий сгсто'.хжь: допол;!ите,'1ьпого учюра ншрннр :',ик'.)с-11леп на or.opnoii раме, ншрпиры одпо- !'() i!:i ix.iMOOB, распо.юженные по разные сто- iJO'ii-.i О'!' i;po;io;ihiioi'i оси oiiopHoi'i рамы, нод- 11;;\'х<инспы. iipH Э'юм направляющие кор- -iiyca вьлюлпень! с !п^cxoдя!пи^j в сторону п[К)ходн()го отверст!!я ук,'1оном, а рама соеди!чсь:а с при1;одо.м нодвнжпы.м inapHispoM.Ф(ЛАо •^со00to>&

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИ(-(ЕСКИ)

РЕСПУБЛИК

„,SU,„, 10798)12

;)(51) Г 16 1; 3 02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHQMV СВИДЕТЕП1;(;: ГВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21 ) 3534735, 25-08 (22) 04.01.83 (46) 15.03.84. Вюл. № 10 (72) В. T. 1epelii! Í, В. А. Арсл а нбе ко и

И. Н. Яцук и И. И. Галич (71) Опытное конструкторско-текнО,и) i!÷ñ", кое бюро с опытным производством Инстит)та металлофизики АН УО.Р (53) 62 !.646 (088.8) (56) 1. Авторское свидетельство L".(:(:Р № 779699, кл F 16 К 3 00, !978.

2. Авторское свидетельство (.(.(.Ð № 499432, кл. F 16 К 3, 00, 1974 (I:pот )тип) . (54 ) (5 7 ) С В В Р Х В> 1) С О 1 (,О В А К, ) . . >11 1 1)1 1 1

КЛАПАН, содержа(ций корпус, В HO) Of)0); установлена р B02ìîæ!!oñòbþ пере 1 pill((:ия в нгправляющик опорная рама с разче 1«иHbiM на ней запорныч органом, м x2I:è2. ег( перемещения перпендикулярно оси пр(и од—

Но о отве1)стия...Of,, пеитрирм)О(ций запорный Îpl ill- . От I(, !,ò>ëb!. О про;одного отвер(TиЯ, I! I I L! 2 Âîä, О 1 .11>-".Окн .1н()(. ? TP!(I, что. с

l L (., и> 10 и О В ы и 1(! и я H 2 (е ж н О с т и ге р м ет и 3 2ll li il. кори) с (н 2 б же .1;100 Ол ните, lbHbi .(1 ), 110роч. а чс аниз)1 Hpрс)(еи;ения запорного ор«на В H!Oëíсн в ви.ip i!i;iрнирнo-ры важного

ЧЕ;;1:Hb! i(I, POPTOß:!LPI Î ИЗ Р2ЗЧЕЦ(ЕННЫ

:п(оль иродольн(гй Opи опорной рамы ромбов

00I LH)!H lH2pHHp;!)н:., H H!чсч одиH из крайрочбов ОР3ННРН с запорным органоч, ) .! .)(Гой - С Г2НОВ,1>. H с ВО. )10жно(Tbl0 ВЗ2ИМОl(.1(-: вия (д() о i!ill lpльным спором, общий

L,iH0LH!li (,1)п(ого l I!Op2 шарнир

22.:)силен Hl! Опорной раме, шар)шры одноiI З 1): ОIО 0 В, Р2С110. 102!((>Ii Í1>l(. HO П2 3H hlP СTO00 li;, О", и 1)Одо,1 ьнои 01, подСК()(не 1(>1. ПРИ 2)ОЧ HciHI);IbËH,L)L!LHP КОР.:Г, (га ВЫ(10,11)ЕНЫ P HÈPÕO LH!ill!)l В СТОРОНУ

:if;()x0,н о:0 Отв(рс-.ия уклоноч, а ра)12 соеiH: на с приводом подвижным IH2pH!!ром.

Изобретение относятся; т;)убо":):,),(:

Hp!>faType 1t моя((т быть !! «! !О. !1, к)1:.:.! ): разделения све!Охвысоков()1;:)гх.! или отключения их of ат:!(.((!)С(>) >f, в сверхвысоковакуумных I!!. юз технологическо! О обору(ОВ;!)!1:;:

Известен высоковаку х:I:h! l! !1:-); пмсе которого хсгановл(ны 3; ". )! )ы:: на направляк1щих и меxBHff !,и (" О,".;, Ння. ЗВПОрНЫй Opi afi «Вя""rii «10!!(НЫМ МЕХаНИЗМОМ ПЕРЕ>МС(ЦС:il!H, .,;" га) установлен ), !Iop, цс!ггрир, Iol:! .::,и ).)))),! орган относители:о «с.f.7;f.

Наличие до! >Ол Интел ь!!OI () >i«., )!I I.i r! >I и

РЕМЕЩЕНИЯ ПОЗВО>7ЯСТ,!Сфо(>1!И:) БП", ч,,;„,; ным органом !;>Tepit;)л, ff,«07 и

С КВЖДЫМ РВЗОМ На BCC >!071>. il -, >:.:.. и с необходимым ycf:., «1!

Однако конструктии!«к Бь!НО",.„

ПО;IHHтЕЛЬНОГО М XBI)If:fff;- !ir PК>,.;. порногo оргBII t трсбуст !Бл! Bff>i .,) .«Н( ного (донолн)г!ег!ьно! О(If f)!ff)r) >ь, НЯСТ УПРав iPffH(. ИЗ БССT!f f f,i К Ill)i:) !!(.

НBHá0„7PP О. II13I(t;!I ности к предл i I г) емок!, я !.ля;: г«» вакуумный клапан, «Одер "(; и; !.": в котором установлс !а «во-,м()"(>);,::,:; ремещения в напpBB.IH!0:öff..(o: f:-. н с размегценным на ней за Ор! Вь механизм его перемещс пя и(: ь( оси проходного отвср(и: —...и(;р, ) -.: щий запорный оргBII of«:;». т(л!> ного отверстия, H Bp; B . к

КОН«тр КтИВНОС БЫщ)Л!!>. i>r перемещения 3-!по()l!OI совместить И«реме!ц (!!ц -.:.. ( в закрытое полож(нис;1;:", и

)катие его к cpä. I T .) О, .;I> привода I2j

Однако эт:)1:!Ик, ) .I !ы:

IIрименHTь В св(pхf31>i«Окr: Б !I мах для передачи круги!!)(О привода, так как; р!! И«:!О !!»(,Б, клапана в свср.(вi>ico,.оп:, необходим «верхи,., Ок(:Б!)к,, ч;

> ЦЕН >! ß . K 11, T H Ï (H (. >1 О М P! f f >f

H3BPCTHt КОНСтР, КЦ) и (»

BBK) »rtíых ВБО toB ! )i!Lr .!И..>

Д !Я Г10>1>К(ТИ Я 3il lfo(! 0«r) усилием, обе«пе;иваю r;Hм

НИя В УПЛОТНЕНИИ Метc).l.l lo >-с

TOЧНЫС Д;!и >10«7 :!Хи«НИ Я .. НОР . >i i(НОЙ плОтности Б За Бор> к, f il! I;) f

Цель изобретения >!ОБ»!«.. ..

НосТН герл1етизации.

Поставленная !Ip. ь 10(. 1, в свсрхвысоковакуумно: к,)::.; щсм корпус, ii которо, 1; !!(. можностью li(.реме цсilli;i . . н.-",: опорная рама . раз",)сп;.; лн)-. „ ным органом, механ),зм;! о перпендикулярно 0(.и чрo .(Ä;:»г(: . >, упор, центрирующпй заг.ср):!.!(! сительно !!poco

СВСрХВЬlсОК()Б ii .,, . !1<>! 00 p;I

В зà vfкрытом НО, ия . HI . кла!И3 ..

НЫЙ ОР Га И 5 ПО,(Жс! Г AII At >t i.:i) Й Р;3 Мои

Л)< 3, а Iiihtpfij!p !i(!- pi>I<(i!)V II I>I H .(!С()C.(1 (!Е);5(НИЗМ О I!d)(<)ДИ-.С-I !!ОД Си 1< Б(! .:

CT(ÁÈ (М ";i СТ 51! i "1, ) II Б! Б« с >!.!< > ..! <

) !, (() Г(.! H.,!51(TCH:- (.с i!

I!0 I. а (! <),".16 hi . . i! i :! Бс,10,< >. и j . 1 Я < ) Г К :. ) < т " . ", . I " IKH 35, I! Г)! ; !», (f1333 j)il "1 и") I! I:!, ) I (; > с

ИС>)С>IPj> с>(">, <, ., :!!i! (j)it t)ЛЕf! jj i<

f! 3К. ;(И ;>t,:1 .И, fя<0!I И>;,>4 !!

) <

> (с(1 -. И(ар<(яр . 12 (!с!)с .(с">псlс Г, >! (<) а ) ii. I (,CС I) C) t(

> !it " 0 < (,!. :Я i <>,:i i! М:-.t," !

Л

Т(<.0. ii»l: !ИЯ .;!!)I: !A

> (Н>Мбс> !< (it<;; I. - "Б I(.,; flp Ж(1 (О IiYHC !) ) . >,. ) („, <,(<О()

> ,По)t, -> )„» II>1;И(с:"1, ": И<

0(i0j)(I0t! р.>:((с .)<) . t: !, и.: р(.и:)< с>

Го Е)С 1УI! ;М:! :,,: I:. 13 „ici сЯ ромб < ((<;I II!i > .It t t, (t . i c!,! I,! Б

ОСИ 2 . (>!I<, () IA Я ; f) ..

Ж С Н И 5> И !(3 B H! t ": » . ! ., -"3;-t c ) )1 6 ñ!

И>1<<СГ::„),10:>tlhl! I )t) Ci,, (апра::..:;»Р > !(! .

И !О .)!i >(): >, :"cit I . Ii .iс c tt:!Б.ii ИИ :! .

Н(,т(3 t!« tt- > О (!(ОС О

t !! Г). 1!>() !>i<> <Г.. > .... . ...:.:!(.с! (! К !) .> .

i):а .> Б и I ñ! 5! . Ь, .", (:! О !, :,.: И,,(.(,, ! (>. ,i< Р;t >;; i. °,,,,t I),>;hl

НС I!0<:Поп ров j)(«", яьj, :;. j!!;: Бс I iii,(60Б.

I t

Б I.-h!:(>.i . ., <

П<:и f, t .:: .. :< с:, < с> c > (О 03 Б< рс»;Я ->t !((, I:(И, < О>-;;:

)(С>,<>jl:(31! A, i!Hj) I!IHf)Hjfj3031 !. Б дополнит(льный упор 32, у,l, °, я ..:t. tль 0(и " оп()рной рамы 4 в рс ь с c(6THIH3сн(ия шарниров 2(! и 3(3 ведр-! < е: <:;) О с! 6 а 8 1!i). 1:дс и с т Б и (> м и р > ж и н ы,3 .

> . l hIH ОР! II(. P(. >!С IH с>.,О,(НО! О i) ГВс РстиЯ 2 В нсlпРс(ВГIЯюи ((! ОпорнОН t) (3 .(Ib! 4. Опережая е(.. .;1, П>(. .1!:C >1 I .Е !Зt М(.(jjt НИ И OIIOPHOH Pij° i i I < ) j) (i hi 1 . О (3 Г 1 l И j) ñl (T C ß В > П 0 !Э O, (О шарнир 33 ромба !7 отрывастся, иитсс!Ьно(.О упора 32, а опорная pa-!

Ii;;),1(ЛЖ 3Я ПСр(МСI!IH ГЬсЯ В !3(3нравляЮ (и 3 k! > ), !1Г) и Ж И >! <(СT 3ij I!Op f1 bi H Ор Гс311 <)

3 с 1((Об)одич(!ч1 усилием. В резульAcг-!t())3 I . l! ; f>I3Hpà )-1 и Ilcðåìåj(jåjjèjj !

<,.!Ор >Ой t>;! мы 4 сои..!ccтно i. об!Ним шарни IС ;1 ii j!.! > (> ((сс! а;1Ы В с)СТСЯ ВДОЛЬ ОСИ

II. I!i j) i>! 2!< (!,5(!. j!ii 3,1!3H I а я с ь, ВЗБО:! !)(<к(: н,) . E) ".(1!3()> . I(), jAæcíии (сГС!а п а(3 и:,м(;)-рьшажиь)й псрсдаточный меИ::, ! .(1()И СИМОС И O Г С(Н)Т!(ОИIЕНИЯ P 13<с ..3, (< I A;I Бс.10" 11>.К j)0 (160(3. <3 ТВКЖ(с :<О(, И i) 1 1>ОГI И (СТ!3<1 j)C;10)j j>IX ро!>!-! I!:i ) Р (< I i i" (i I Ij (j C I п (. ) С >1 < 1! < (. Н !!С 3 а п 0 p I i 01 0 ,!,, c. - >. Г(,р(>(ТО< tt ПО, 1ОЖ(НИ я Б 3 с(К>рЬ(ТОС

> <, Р".1 < I!(t И i И !1(>РС >IЕIII C !I i! H И!ТОКа I!PH130Да !

it К()>,11>КО Р;-I;! )!CI(h(3!H jI, Чс:(1, 1И<3 ">(СТР

, 1 <) (> !":3(.")i. ТI< Я <". 1

» „., TВИ(. ПР(.,(,ii!1 c3(. МОГО КЛii(1(3Hа И

> A!! C Г i) >! (: I li с Б i< Р > Б Ь! СО КО 13 (3 !с > > >! г ., Ic" i :!>)i Бы по. 1!iсl!Ис эс!С>!снтОВ с< — О! . t. :.:",;;:"ÃГО iiсредатО >НОГО»ЕХ(3. lie :.i i!i (. i! В ;; >1 1 H ÷ ность и Ри В(., 1сГО Ор 3li и Ис".О;1НОЕ ПО !OЖСНИС. - к(>иом(:. ch (я 3(!)(!)сlcl i!(jíîñ(ь 3а(> (;()(3j>!I! IC !II:И р;IООТОСIIOCA6HACTH, Ж:(< с <: I (. р >(> Гih()1(!IH 1, 1 <111 (,10—

>-(,"., Б(>1<. 01> (. i, Б(! К >, 3! i!, (3 \ 3(Cf1 j>HIC НИ И

Ii(!He!).xI 0c геl и,арнирно< -.. с ..Iн,;;: Б ПС3 л(> атс чего

Н(, 1 Cß, <,ОС Г >, 11();j (CP<>f(ij Hi(51 С(3ЕР (.-,.)! ;О ;БВКСуМВ Б С!!СтЕМс, В EС!уЧИ!ЕН!(И .В .!i hl. i l0 i I! >()<33 НИ Ft К, (c!и:: На.

1079812

Щд .

Яу; J

Редактор Н. Кишту.шнеtl

За ка з 1 283, 32

Сос гавнтедь С. 11сстсренко

Тсхред И В рсс Корректор В Вутнса 1 нраж 913 Подписное

ВНИИПИ Государственног<, комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” -35, Раушская наб,, д. 4 5

Филиал ППП «Патент».:. Улсгэрод, ул. Проектная, 4