Устройство для изготовления многослойных датчиков

 

Класс 42/, 13е< вы% 1I97II

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

А. А. Васильковский

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕИИЯ МИОГОСЛОЙИЫХ

ДАТЧ И КО В

Заявлено 24 сентября 1958 г. за № 608302/26 в Комитет по делал изобретений и открытий при Совете Министров СССР.Опубликовано в «Бюллетене пзоорстешн1» № 9 за 1959 г, Для изготовления многослойных датчиков применяют устройства. состоящие из корпуса, металлической плити, стеклянного колпака, поворотной диафрагмы с фигурными вырезами и органов управления.

Предлагаемое устройство более совершенно, так как оно обеспечиВает получение надежного электрического контакта между проводящими слоями датчика при нх напыленип.

Это достигается тем, что в нем применен диск с фигурными отверстиями, экранирующий часть проводящего слоя датчика при напылении ,изолирующего слоя.

На фиг. 1 и 2 изображены две проекции предлагаемого устройства.

Устройство состоит из корпуса 1, экрана 2, поворотного диска 8, карусели 4, металлической плиты б, стеклянного вакуумного колпака б и электромагнитов управления (не показаны íа чертеже) . Подлежащие напылению датчики устанавливаются в обоймах 7, необходимая последовательность операций обеспечивается применением вращающихся деталей: диска 8 и карусели 4.

Диск 8 представляет собою трафарет, через который осуществляется напыление датчиков. В зависимости от конфигурации датчика и способа вывода его электродов расположение и форма отверстий в диске может изменяться, что позволяет простой заменой диска переходить и напылению датчика другой конфигурации.

Через отверстия 8 диска напыляют металл или полупроводник. Через отверстия 9 осуществляется напыление диэлектрика.

В начале процесса напыления датчиков диск 8 с помощью фиксаторов 10 устанавливается так, чтобы его отверстия 8 и 9 совпадали с огверстиями в экране.

Предмет изобретения

Устройство для изготовления многослойных датчиков, состоящее из корпуса, металлической плиты, стеклянного колпака, поворотной диафрагмы с фигурными вырезами и органов управления, о тл и ч а ю щ ее ся тем, что, с целью получения надежного электрического контакта между проводящими слоями датчика при их напылении, применен диск с фигурными отверстиями, экрапирующпй часть проводящего слоя датчика при напылении изолирующего слоя. чьаг1

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Редактор Л. А. Блатова Гр. 17З информационно-издательский отдел.

Объем 0,17 п. л. Зак. 4941

Поди. к печ. 11 VII-59 г.

Тираж 750 Цена 25 коп.

Типография Комитета Во делам изобретений 14 открытий при Совете Министров СССР

Москва, Петровка, 14.

Соответствующим образом устанавливается и карусель. В этом положении осуществляется напыление полосок металла или полупроводника на диэлектрические подкладки с выводами.

При повороте карусели на 90 подкладки оказываются над печками

11, распыляющими дцэлектрик. Для частичного напыления диэлектрика на металл отверстия в диске несколько смещены относительно отверстий экрана,