Лазерно-плазменный источник электронов

 

ЛАЗЕРНО-ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК ЭЛЕКТРОНОВ, содержащий анод, .катод и лазер, луч которого сфокусирован на поверхности катода, отличающийся тем, что, с целью уменьшения анодного напряжения при сохранении значений тока, анод выполнен в виде сетки и расположен перпендикулярно катоду, введен металлический плоский экран, ус тановленный на поверхности катода между точкой фокусировки лазерного луча и анодом параллельно последнему , при этом свободный край экрана снабжен козырьком со стороны, противоположной аноду, причем внешняя § кромка козырька лежит в плоскости, (Л проходящей через точкуфокусировки лазерного луча параллельно аноду.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (51)4 H 01 J 37 24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3524886/18-25 (22) 17, 12. 82 (46) 23, 11. 87. Бюл. 1Ф 43 (71) Физико-технический институт им. А, Ф. Иоффе (72) А. В. Голубев и Л. А. Ц маенок (53) 533.9(088.8) (56) Коваль Б. А. и др. Генерация сильноточных наносекундных низкоэнергетических электронных пучков..

Письма в ЖТФ, 7, в. 20, с. 1227, 1981.

Богданкевич О, В. и др. О воэможности использования излучения лазера для создания мощного источника электронов. "11(урнал технической физики", 35, в. 11, с. 2052, (54)(57) ЛАЗЕРНО-ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК ЭЛЕКТРОНОВ, содержащий анод, катод и лазер, луч которого сфокусирован на поверхности катода, о т— л и ч а ю шийся тем, что, с целью уменьшения анодного напряжения при сохранении значений тока, анод выполнен в виде сетки и расположен перпендикулярно катоду, введен.металлический плоский экран, ус» тановленный на поверхности катода между точкой фокусировки лазерного луча и анодом параллельно последнему, при этом свободный край экрана снабжен козырьком со стороны, противоположной аноду, причем внешняя кромка козырька лежит в плоскости, проходящей через точку- фокусировки

1лаэерного луча параллельно аноду.

1102407

Изобретение относится к электротехнике, в частности, к технике сильнрточных импульсных источников электронов.

Известны импульсные сильноточные источники с катодами на основе нестационарных плазменных образований. В этих источниках достигают значений тока I = 10 А при напряженияхU))04

Недостатком этих плазменных источников является трудность снижения анодного напряжения до значений

U 10 В при сохранении значений то0 ка I - 10 А. В искровом источнике и источнике со скользящим разрядом причина состоит в невозможности обеспеченйя достаточно малой ширины промежутка катод-анод d(d 1 мм), отвечающей указанным значением I u

110, В источнике взрывоэмиссионного типа наличие высокой напряженности в диодном промежутке (Е 8 1О В/см, т.е, U + 10 В при d «< <1 мм) Ърин4 ципиально необходимо для Осуществления взрывной эмиссии электронов, Наиболее близким техническим решением к данному изобретению является лазерно-плазменный источник электронов, который содержит плоские катод и анод, лазер, луч которого сфокусирован на поверхности катода, а эмиттером электронов служит лазер" ная плазма-плазма, создаваемая на поверхности катода, на оси анодного отверстия, сфокусированным пучком излучения импульсного лазера. Сгусток плазмы, появившийся в точке фоку" сировки, распространяется по направлению к аноду, при этом ширина диодного промежутка уменьшается, и возрастает ток. В лазерно-плазменном источнике достигнуты пиковые значения анодного тока I- = 500 А при з напряжении Uö = 6 «10 В.

Катод помещен в специальную экранирующую камеру с отверстием, соосным с отверстием анода, Эта камера уменьшает ток прямого разряда через диодный промежуток, возникающий при его замыкании расширяющейся катодной плазмой.

Ъ

Недостатком этого лазерно-плаз" менного источника электронов является то, что эмиссионная поверхность плазмы, расширяющейся по направлению к аноду, имеет выпуклую форму, Это обстоятельство в сочетании с заметным "провисанием" анода в области отверстия, препятствует достижению малых значений ширины промежутка

5 катод-анод одновременно для всех то.чек эмиссионной поверхности, а следовательно и достижению более низких значений анодного напряжения при сохранении значений тока, Этот недостаток ограничивает применение известного лазерно-плазменного источника в физике электронно-атомных и электронно-ионных столкновений, экспериментах по взаимодействию элек-

15 тронных пучков с плазмой, технике поверхностного .нагрева металлов, Целью изобретения является уменьшение анодного напряжения при сохранении значений тока.

2р Указанная цель достигается благодаря тому, что в лазерно-плазмен" ном источнике электронов, содержащем плоские анод и катод, лазер, луч которого сфокусирован на поверх25 ности катода, анод выполнен в виде сетки и расположен перпендикулярно катоду, введен метаплический плоский экран; установленный на поверхности катода между точкой фокусировч0 ки лазерного луча и анодом параллельно последнему, при этом свободный край экрана снабжен козырьком со сторОны, протиВОполОжнОИ аноду, причем внешняя кромка козшрька лежит в плоскости, проходящей через

35 точку фокусировки лазерного луча параллельно аноду, I

На чертеже представлено предлагаемое устройство.

40 Лазерно-плазменный источник электронов содержит катод 1 анод 2, экран 3 с козырьком, на катодв рас" положена точка А фокусировки лазерного луча, д5 В изобретении благодаря взаимноперпендикулярному расположению ка-, тода и анода ось симметрии. разлета плазменного сгустка параллельна аноду, Это дает возможность путем вве50 дения в источник специального экрана с козырьком, кромка которого. расположена в плоскости, проходящей через точку фокусировки параллельно аноду, и используя известное свойство лазер55 ной плазмы (разлет ионов по радиальным направлениям) сформировать плоскую плазменную. эмиссионную поверхность, параллельную аноду. Образо-. вание такой поверхности в, сочетании

1102407 с использованием сетки в качестве анода позволяет уменьшить ширину диодного промежутка до десятых долей миллиметра (одновременно для всех участков эмиссионной поверхности), что приводит к увеличению пропускной способности промежутка, достижению более низких, по сравнению с прототипом, значений анодного напряжения при прежних значениях тока и, в ито- tp

re, к расширению функциональных возможностей источника, При воздействии сфокусированного импульсного лазерного луча на поверхность катода в точке фокусировки 15 образуется сгусток плазмы, расширяющийся симметрично относительно перпендикуляра к поверхности в этой точке. Ионы лазерной плазмы на расстояниях от точки фокусировки, превы-20 шающих 0,1 мм (в зоне так называемого асимптотического разлета плазмы) движутся строго по> радиальным нап-. равлениям, Экран с козырьком З.задерживает на небольшом расстоянии от 25 точки фокусировки часть расходящегося плазменного пучка. Остальная часть пучка (сгустка катодной плазмы) распространяется в телесном углу, ограниченном со стороны анода 30 плоскостью проходящей через точку А фокусировки и внешнюю кромку козырька, т.е. параллельной аноду., Таким образом, за пределами экрана 3 формируется плоская граничная поверхность расширяющегося плазменного сгустка, параллельная аноду и удаленная от него на расстояние d .равное расстоянию от анода до точ,ки А, Эта поверхность служит эмис- 4р сионной поверхностью катодной плазмы в предлагаемом лазерно-плазменном источнике электронов, Благодаря ее плоскостности расстояние Й может . быть малым, вплоть до десятых долей 4g миллиметра. При таких значениях d как следует из известной эависимось. зР г ти плотности тока j Ф 2,33 ° 10 Uä/d обеспечивается пропускная способность вакуумного диодного промежутка gp в десятки ампер на квадратный сантиметр уже при анодном напряжении U 1 кВ,.

Анод лазерно-плазменного источника электронов изготовлен из мелкоструктурной никелевой сетки с размером ячейки h = 30 мкм и прозрачностью 90 . Точка фокусировки лазерного луча на катоде — пластинке из алюминия расположена на расстоянии

d = 0,3 мм от плоскости анода, при этом выполняется обычное для электронных источников условие d» h.

Экран, изготовленный из танталовой фольги толщиной 0,1 мм имеет форму полукруга радиусом 4 мм с выступом (козырьком) по полуокружности высотой 0,1 мм. Экран примыкает по диаметру к катоду и изолирован от анода фторопластовой пленкой толщиной

0,1 мм. Плазма создается пучком излучения неодимового лазера с модулированной добротностью, сфокусированным на катоде в пятно диаметром

50 мкм. Энергия лазерного импульса составляет 0,2 Дж, длительность

45 нс. К электродам источника подключен накопительный конденсатор.

Ток электронов за анодной сеткой измеряется коллектором, При испытании источника анодное напряжение равно

1 кВ. В импульсе электронного тока, длительность около 300 нс достигается пиковое значение тока Х „=480 А.

Площадь поперечного сечения пучка на аноде составляет при этом 6 см

Плотность тока j „= 80 А/см, определяется пропускной способностью диодного промежутка, так как эмиссионная способность сгустка лазерной плазмы, расширившегося до размеров 2 см, превышает 100 А/см

Результат испытаний показывает, что предлагаемое изобретение позволяет снизить анодное напряжение, при котором ток достигает ? „ 500 А, 6 к — 1 кВ.

Лазерно-плазменный источник электронов может быть эффективно и спользован в атомной физике: в эксперимен,тах по электрон-атомным и электронионным столкновениям, в исследованиях по физике плазмы, связанных с взаимодействием электронов с плазмой, а также в технике поверхностного нагрева металлов.

Лазерно-плазменный источник электронов Лазерно-плазменный источник электронов Лазерно-плазменный источник электронов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к трехэлектродным электронным пушкам и может быть использовано для обработки материалов, предпочтительно, в вакууме

Изобретение относится к области приборостроения, в частности к системам питания, защиты и управления лучевыми исследовательскими физическими и технологическими установками, а также к системам электропитания СВЧ генераторных приборов, таких как клистроны, лампы бегущей и обратной волны, магнетроны, гиротроны и др

Изобретение относится к области электронного приборостроения, а более конкретно - к конструкции детекторов электронов, и может найти преимущественное использование в электронных микроскопах

Изобретение относится к электронно-оптическому приборостроению

Способ и устройство предназначены для контроля интенсивности электронного луча при проведении исследований образцов. Способ контроля интенсивности электронного луча, образующего плазму при своем распространении, при котором обнаруживают и анализируют электронное излучение или электромагнитное излучение, создаваемое непосредственно или косвенно электронным лучом, при этом для измерительной регистрации электронного или электромагнитного излучения, создаваемого непосредственно или косвенно электронным лучом, предусмотрен детектор, который направляют через стенку прозрачного или просвечивающего упаковочного материала на плазму. Технический результат - дезинфекция внутренней поверхности тары при исследовании биологических образцов. 2 н. и 23 з.п. ф-лы, 2 ил.

Система литографии элементарными пучками заряженных частиц для переноса шаблона на поверхность мишени содержит датчик для определения одной или нескольких характеристик одного или нескольких элементарных пучков заряженных частиц. Датчик содержит элемент (1) преобразователя для приема заряженных частиц (22) и генерации в ответ фотонов. Этот элемент преобразователя содержит поверхность для приема одного или нескольких элементарных пучков заряженных частиц, причем эта поверхность снабжена одной или несколькими ячейками для оценивания одного или нескольких индивидуальных элементарных пучков. Каждая ячейка содержит заданный шаблон (18) блокировки из одной или нескольких структур блокировки заряженных частиц, образующих множество режущих краев в переходах между областями блокировки и областями без блокировки вдоль заданной траектории сканирования элементарных пучков по поверхности элемента преобразователя. Поверхность элемента преобразователя покрыта слоем покрытия (20), по существу проницаемым для упомянутых заряженных частиц и по существу непроницаемым для внешнего света. Электрически проводящий слой (21) расположен между слоем покрытия и структурами блокировки. Технический результат - повышение точности датчика, измеряющего свойства элементарных пучков. 4 н. и 22 з.п. ф-лы, 3 ил.

Предложены устройство и способ определения характеристик пучка частиц, при которых обеспечивают прием пучка частиц в центральной области кожуха с пониженным давлением; воздействуют принятым пучком на ударную пластину для пучка, которая термически изолирована от кожуха; измеряют изменение температуры ударной пластины для пучка за счет воздействия пучка измеряют изменение давления в кожухе за счет приема пучка; и обрабатывают измеренное изменение температуры и измеренное изменение давления, чтобы определить характеристики пучка. Технический результат - улучшение дозиметрии для управления обработкой детали. 3 н. и 21 з.п.ф-лы, 8 ил.
Наверх