Устройство настройки электронно-оптической системы микрозондовых приборов

 

ОПИСАНИЕ 928466

ИЗОБРЕТЕНИЯ

CoIo3 Соввтския

Соцмапмстмчвскма

Рве убпми

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6l ) Дополнительное к авт. санд-ву— (22) Заявлено 25.09.80 (21) 2984324/18-21 (51)NL. Кл.

Н 01 J 37/24 с мрмсоедмненмем заявки М—

5еуиРстяевя4 кемитет

COCP ав двяам ямбратввяв и втяРьпвв (23)Приоритет

Опубликовано 15.05.82. Бюллетень М 18

Дата опубликования опмсамня 15.05.82 (53) УДК 621.385., 833 (088.8) В. В. Рыбалко, А. Н. Тихонов и В. М. Белоусов (72) Авторы изобретения

Московский институт электронного машиностроения (7l ) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО НАСТРОЙКИ ЭЛЕКТРОННООПТИЧЕСКОЙ

СИСТЕМЫ МИКРОЗОНДОВЫХ НРИБОРОВ

Изобретение относится к области электроннолучевых приборов, в частности. к микрозондовой технике, и может быть использовано для настройки и наладки зондоформирующнх систем, например, растровых электронных мик,роскопов.

Известно устройство настройки электроннооптических систем (ЭОС), предназначенное дпя их юстировки, состоящее из мультипольных линз, блоков питания секторов этих линз и регулирующего блока (1).

Недостатком этого устройства является низкая точность юстировки, обусловленная отсутствием коррекции тока фокусирующих линз, в частности формирующей линзы.

Наиболее близким к предпоженному по тех. 1% нической сущности является устройство, предназначенное для автоматической юстировки

ЭОС в установках электроннолучевой обработ; ки, которое содержит схему фокусировки

20 электронн го пучка, включающую блоки регистрации и влщеления характеристического сиг. нала в виде высокочастотной составляющей, функциональный преобразователь, блок улравпения током формирующей линзы, а также юстируилцие электроннооптические устройства, подключенные к управляемым источникам питания (2!.

Недостатком данного устройства является то, что для настройки ЭОС требуется специальный тест-объект, выполненный в виде пприховых меток из тяжелого металла, которые луч обегаег по заданной программе; процессы юстировки и фокусировки ведутся раздельно друг от друга и поэтому улучшение точности фокусировки не вызывает повышения точности юстировки и наоборот, что в целом снижает разрешающую способность приборов.

1 ель изобретения — повьццение разрешающей способноспи микрозондовых приборов эа счет обеспечения минимального диаметра зонда.

Указанная цель достигается тем, что в устройстве настройки ЭОС, содержащем схему фокусировки электронного пучка, включающую последовательно соединенные блок выделения высокочастотной составляющей видеосигнала с детектора вторичных электронов, блок управления током формирующей линзы, функци928466 опальный преобразователь, и юстирующие электроннооптические устройства, подключенные к управляемым источникам питания и установленные соосно с элементами ЭОС, функциональный преобразователь выполнен в виде программного устройства, подключенного к выходу системы выделения высокочастотной составляющей видеосигнала и соединенного через компаратор с блоком коммутации, который соединен через цифро-аналоговые преобразователи с управляемыми источниками питания юстирующих устройств и блоком управления током формирующей линзы.

На чертеже представлена блок-схема устройства.

Устройство содержит электронную пушку 1, блок1 2 конденсоров; формирующую линзу 3, отклоняющую систему 4, объект 5, детектор

6 вторичных электронов, усилитель 7, блок 8 выделения высокочастотной составляющей, блок 9 сравнения, задающий генератор 10, аналого-цифровой преобразователь 11, прогарммное устройство 12, блок 13, коммутации, цифро-аналоговые преобразователи 14, управляемые источники 15 питания юстирующих устройств, юстирующие электроннооптические устройства 16, блок 17 управления током формирующей линзы.

Устройство работает следующим образом.

Электронный пучок, генерируемый электронной пушкой 1, фокусируется блоком 2 конденсорных линз и формирующей линзой 3 и сканируется отклоняющей системой 4 по поверхности объекта 5. Поток вторичных электронов от объекта регистрируется детектором

6 и усиливается в усилителе 7. Сформированный таким образом видеосигнал попадает в блок 8 вьщеления высокочастотной составляющей видеосигнала. Далее выделенная составляющая поступает в блок 9 сравнения, где нроисходит сравнение частоты вьщеленной составляющей с заданным уровнем, величина которого определяется параметрами сигнала, поступающего с задающего генератора 10, затем сигнал сравнения через аналого-цифровой преобразователь 11 поступает в программное устройство 12, которое подает соответствующую команду на блок 13 коммутации, осуществляющий соответственно программе управление через цифро-аналоговые преобразователи 14 источниками 15 питания юстируюших устройств

16 и блоком 17 управления током формирующей линзы. Включаемые в заданной последо4 ватсльности блоком 13 коммутации источники питания юстирув цих устройств и блок управления током формирующей линзы осуществляют пошаговое изменение положения

*учка относительно оси ЭОС, а также пошаговую подфокусировку формирующей линзы.

При этом обеспечивается следующая последовательность настройки ЭОС: фокусировка пучка — включение и юстировка первого элек- °

1о троннооптического элемента ЭОС вЂ” подфокусировка пучка — включение и юстировка второго элемента и т.д.

Таким образом, предложенное устройство позволяет автоматизировать и существенно повысить точность настройки электроннооптической системы микрозондовых приборов и повысить их разрешающую способность.

Формула изобретения

Устройство настройки электроннооптической системы микрозондовых приборов, содержащее схему фокусировки электронного пучка, включающую последовательно соединенные блок выделения высокочастотной составляющей видеосигнала с детектора вторичных электронов, блок управления током формирующей линзы, функциональный преобразователь, и юстирую30 щие электроннооптические устройства, подключенные к управляемым источникам питания и установленные соосно с элементами электроннооптической системы, о т л и ч а ющ е е с я тем, что с целью повышения разрешающей способности мнкроэондовых приборов за счет обеспечения- минимального диаметра электронного пучка, функциональный преобразователь выполнен в виде программного устройства, подключенного к выходу системы выделения высокочастотной составляющей видеосигнала и соединенного с блоком коммутации, который соединен через цифро-аналоговые преобразователи с управляемыми источниками питания юстирующих устройств и блоком управления током формирующей линзы.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР 8Р 368675, so кл. Н 013 29/40; 1972.

2. Патент ГДР М 114316, кл. Н 013 37/30, опублик. 1975 (прототип).

9284бб

Составитель В. Гаврюшин

Техред Ж. Кастелевич

Корректор С. Шомак

Редактор Л. Веселовская

Заказ 3254/67

Подписное

Тираж 758

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/S

Филиал ППП "Патент". г. Ужгород, ул. Проектная, 4