Микроскоп

 

МИКРОСКОП, содержащий расположенные в. корпусе проекционную оптическую систему и осветитель с узлом смены освещения, включающим полупрозрачное зеркало и формирователь кольцевого светового потока, отлинающийся тем, что, с целью упрощения управления, узел смены освещения выполнен в виде установленной в корпусе с возможностью перемещения параллельно оптической оси осветителя каретки, содержащей кронштейн с полупрозрачным зеркалом и. зубчатую рейку, кинематически связанную с зубчатьгм колесом, расположенным с возможностью вращения на коленообразном валу, жестко связанном с формирователем кольцевого светового пото ,ка и с водилом, входящим в секторный паз, вьтолненный на торце зубчатого колеса. сл

69) (И) СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

4(51) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН

Н АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3596229/24-10 (22) 26.05.83 (46) 23.01.85. Бюл. N 3 (72) В.И.Голуб, А.Ю.Кононович, И.P.Ïîäãàéñêèé и 10.Н.Луговик (53) 535.823(088.8) (56) 1. Скворцов Г.Е. и др. Микроскопы. Л., "Машиностроение",,1969, с 346.

2. Там же, с. 344 (прототип). (54)(57) МИКРОСКОП, содержащий расположенные в корпусе проекционную оптическую систему и осветитель с узлом смены освещения, включающим полупрозрачное зеркало и формирователь кольцевого светового потока, отличающийся тем, что; с целью упрощения управления, узел смены освещения выполнен в виде установленной в корпусе с возможностью перемещения параллельно оптической оси осветителя каретки, со-. держащей кронштейн с полупрозрачным зеркалом и зубчатую рейку, кинематически связанную с зубчатым колесом, расположенным с возможностью вращения на коленообразном валу, жестко, связанном с формирователем кольцевого светового потока и с водилом, входящим в секторный паз, выполненный на торце зубча- Pg того колеса.

1 1136094 2

Изобретение относится к оптико-ме- полнея в виде устан ханическим приборам и может быть се с возможностью и использовано для контроля дефектив- лельно оптической .о ности кристаллов полупроводниковых каретки, содержащей приборов. полупрозрачным зерк

Известен микроскоп металлогра- . реику, кинематическ фический, содержащий проекционную зубчатым колесом, р систему и осветитель, который ши- возможностью вращен роко используется для контроля ном валу, жестко св дефектности кристаллов,полупровод- . 10 рователем крльцевог никовых приборов f1) . . тока и с водилом., в

Недостатком данного .микроскопа торный паз, выполне является низкая производительность зубчатого колеса. работы с ним. На чертеже схема

Известен микроскоп, содержащий 15 предлагаемый-микрос расположенные в корпусе оптическую Микроскоп. содерж проекционную систему, состоящую из тительную систему, объектива, тубусной линзы, призм . пы 2, коллектора 3, бинокулярной головки и окуляров, и ческого зеркала. 4, осветительную систему, обеспечиваю- ческого зеркала (фо щую освещение по методу темного и цевого светового по светлого полей, состоящую из лам- сорной линзы 6, пол пы, коллектора, зеркала полупроз- . кала 7, кольцевого рачнога, зеркала кольцевого, .пара- раболического зерк болического отражателя, формирова- ную систему, состоя теля кольцевого светового потока 10, трубной линзы 1 (кольцевой диафрагмы с непрозрач- .панкратической сист ной центральной зоной), причем ме- 14, окуляра 15, уст. ханизмы ввода-вывода полупрозрач- ния типа освещения, ного зеркала и вывода-ввода форми- ручки 16, связанной рователя выполнены независимыми (2 зубчатой рейки 18, Недостатком известного микроско- . ной на каретке 17,. па является сложность и неудобство 19 с секторным пазо. управления, так как смена освещения посаженного на коле в светлом поле на освещение в тем- 21, водила 22, крон ном поле производится доочередным закрепленного на ка выведением полупрозрачного зеркала штейнов 24 и 25, .за и введением формирователя кольцево- валу 21,. упоров 26 го потока (кольцевой диафрагмы) с Микроскоп в реж помощью индивидуальных рукояток 4 поля работает следу управления. Неудобное управление Источник света значительно снижает производитель- коллектора 3 изобр ность, так как оператору приходится ности, а затем конд несколько сотен раз в смену манипу- и полупрозрачным зе лировать рукоятками смены освеще- 4 кости выходного зра

5 .ния, фокусировки и перемещения Световые лучи, про" кристаллов. концентрируются в и

50

Цель изобретения — упрощение управления и увеличение удобства работы.

Поставленная цель достигается тем, что. в микроскопе, содержащем расположенные в корпусе проекционную оптическую систему и осветитель с узлом смены освещения, включающим полупрозрачное зеркало и формирователь кольцевого светового потока, узел смены освещения выовленной в корпуеремещения паралси осветителя кронштейн с алом и зубчатую и связанную с

1 асположенным с ия.на коленообраз язанном с формио светового по-. ходящим в секнный на торце тично показан коп. ит корпус 1, освесостоящую из. лам,.кольцевого кониподвижного конирмирователя кольтока) 5, конденупрозрачного зерзеркала 8 и па - ала 9, проекционщую из объектива

1, призмы 12, емы 13, з еркала ройство переключесостоящее из с каретко и 1.7, жестко закреплензубчатого колеса м 20, свободно ноо6 >азный вал . штейна 23, жестко ретке 17, кронкрепленных на и 27 и пружины 28. име светового ощим образом. лампа 2 с помощью ажается в бесконеченсорной линзой 6 ркалом 7 — в плосчка объектива .10 ° идя объектив 10, лоскости предме. та 29, отразившись от плоскости предмета, лучи снова проходят объектив 10, полупрозрачное зеркало 7, тубусную линзу 11, призму 12, панкратическую систему 13, зеркало 14 и дают изображение предмета в фокальной плоскости окуляра 15 через который производится наблюдение кристалла или предмета 29.

При работе в темном поле световые лучи от лампы 2 через коллектор 3

1136094 4 а полупрозрачное зеркала 7 выйдет н зоны световых лучей, Согласование длины хода каретки 17 и угля поворота коленаобразнага вала 21 производится с помощью секторного паза 20 и всдила 22, Угол секторного паза 8 рассчитывается по формуле при условии, чт6 (с-Я z

Ь, 4 ат подвижного конического зеркала

5 и кольцевого конического зеркала

4, которые формируют (преобразуют) поток лучей с сечением в виде круга в лоток с сечением в виде кольца, попадают на кольцевое зеркало

8,. которое направляет на параболическое зеркало 9, которое концен.трирует.пучок лучей на поверхность предмета 29. Лучи, диффузно отражен- 1О ные на границах структурных состав- . ляющих, проходят объектив 10, тубус" ную линзу 11, призму 12, панкратическую систему 13, зеркало 14 и дают изображение в фокальной плоскости окуляра 15. Полупрозрачное зеркало

7 выведено из хода лучей;

Устройство переключения типа освещения работает следующим образом.

Для перевода освещения микроско1 па из режима светового поля в режим

1 темного поля необходимо ручкой 16 управления отвести каретку 17 с полупрозрачным зеркалом 7, закрепленным на кронштейне 22, зубчатая, рейка 18, 25 закрепленная на каретке 17, поворачивает зубчатое колесо 19, свободно посаженное на валу.21; до упора секторного паза 13 в водило 22, и при дальнейшем перемещении каретки 17 зубчатая рейка 18 поворачивает зубча" тое колесо -19 вместе с валом 21, кронштейном 24 и закрепленным на нем коническим зеркалом 5 и кронштейном

25 с прижимной пружиной 28 до. тех

Я пор пока коническое зеркало 5 из положения А не перейдет в положение Б, где 90 - .— угол поворота коленообразO. ного вала," — длина хода каретки, мм, — модуль зубчатога колеса;

2 — число зубьев зубчатого колеса.

Позиционирование конического 5 и полупрозрачного 7 зеркал обеспе гпвается упорами 26 и 27.

Использование предлагаемсч а миKpocI oIIn повышает удобства работы и уменьшает время на переключение освещения с темного поля на светлое и со светлого на темное, что повыша ет прои-водительнасть труда íà операциях визуального контроля кристаллов полупроводниковых приборов на

6-8Х, 1136094

Составитель Л.Мухина

Редактор Р.Пицика Техред А.Бабинец Корректор M.Ìàêñèìèmèíåö

Заказ 10280/33 Тираж 526 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытии

113035, Москва, Л(-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4