Устройство контроля профиля поверхности
УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ ПРОФИЛЯПОВЕРХНОСТИ , содержащее шаблон, электрод, расположенный по поверх ,.. ности шаблона, размещаемой к контролируемой поверхности, и измеритель емкости, отличающееся тем, что, с целью повышения точность и производительности контроля. Измеритель емкости вьтолнен в виде импульсного СВЧ-рефлектометра и согла сованного сопротивления, электрод выполнен в виде изолированного провода , один конец которого соединен с одним из входов импульсного СВЧрефлектометра , другой - с согласованным сопротивлением, а другие входы импульсного СВЧ-рефлектометра и согласованного сопротивления соответг ственно предназначены для соединения с объектом. со 00 Од 4 4
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСИИХ
РЕСПУБЛИК
4 (51) G 01 В 15/02
ГОсудАРственный кОмитет сссР . ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3642502/18-28 (22) 14.09.83 (46) 07,02.85. Бюл. У 5 (72) И.Г,Колкер, В.В,Минич, С.В.Гагин и А,Л.Седых (71) Новосибирский электротехнический институт (53) 531.717 (088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР
У 412467, кл. G Ol В 7/28, 1974.
2, Дубицкий Л.Г. Радиотехнические. методы контроля изделий, М., Машгиз, 1963, с, 188 - 189 (прототип). (54)(57) УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ ПРОФИЛЯ.
ПОВЕРХНОСТИ, содержащее шаблон, электрод, расположенный по поверх„SU„„1138644 A ности шаблона, размещаемой к контролируемой поверхности, и измеритель емкости, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точность и производительности контроля, измеритель емкости выполнен в виде им» пульсного .СВЧ-рефлектометра и согла" сованного сопротивления, электрод выполнен в виде изолированного провода, один конец которого соединен с Одним из Входов импульсного СВЧ» рефлектометра, другой — с согласованным сопротивлением, а другие входы импульсного СВЧ-рефлектометра и согласованного сопротивления соответственно предназначены для соединения g
O с объектом.
1138644
Редактор С.Саенко
Составитель И.Давыдов
Техред С Йовжий Корректор. М.Леонтик
Заказ 10674/30 Тираж 651 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к контроль- согласованным сопротивлением, а но-измерительной технике и может другие входы импульсного СВЧ-рефлекбыть использовано для контроля про- - тометра и согласованного сопротивлефиля поверхности крупногабаритных ния соответственно предназначены для иэделий. соединения с объектом.
Известен емкостной преобразователь На чертеже; изображено.предлагаедля контроля профиля поверхности, мое устройство контроля профиля посодержащий набор электродов, распо- верхности. ложенных над контролируемой поверх- Устройство содержит электрод, выностью, и измеритель емкости, между 10 полненный в виде изолированного прокоторыми размещен коммутатор ll 3, вода 1, расположенный на поверхносОднако необходимость поочередного ги шаблона 2, размещаемой к поверхпереключения емкостей для их измере- ности изделия 3, и образующий с ним ния снижает точность и увеличивает двухпроводную линию, измеритель 4 время контроля. tS распределенной емкости, выполненный
Кроме того, необходимо сравнивать в ниде импульсного СВЧ-рефлектометра, полученное распределение значений состоящего из генератора 5 коротких емкостей с заданным, что также уве импульсов и стробоскопического осличивает время контроля. циллографа 6. Один из концов изоли\
Наиболее близким к изобретению по 20 роваиного провода 1 соединен с одним технической сущности и достигаемому яз входов импульсного СВЧ-рефлекторезультату является устройство конт ° метра, другой — с согласованным сороля профиля поверхности, содержащее противлением 7, а другие входы имшаблон,электрод, расположенный по пульсного СВЧ-рефлектометра и соповерхности шаблона, размещаемой к 25 гласованного сопротивления 7 соедиконтролируемой поверхности, и измери- няются с изделием 3. тель емкости 21, Устройство работает следующим обНедостатками известного устройст» разом.. ва являются низкие точность и произ- Провод 1, расположенный на шабловодительность контроля,так как конт- З0 не 2 с заданным профилем, и поверхроль профиля производится по отдель. ность изделия 3 образуют двухпроводным точкам и возможны пропуски де- ную линию с определенным волновым софектов находящихся между электро;; противлением. При отклонении профиля
1 поверхности изделия 3 от шаблона 2
Цель изобретения - повышение точ- З5 волновое сопротивление линии станоности и производительности контроля. вится неоднородным. При подаче в
Поставленная цель достигается . двухпроводную линию коротких импультем, что в устройстве контроля про-, сов в местах неоднородностей вознифиля поверхности, содержащем шаблон, кают отражения этих импульсов, велиэлектрод- расположенный по поверх- : . чина которых пропорциональна величиЭ ности шаблона, размещаемой к конт- не отклонения профиля изделия 3 от ролируемой поверхности, и измери- шаблона 2. тель емкости, последний выполнен в Таким образом, контроль профиля виде импульсного СВЧ-рефлектометра производится непрерывно по всему кони согласованного сопротивления, 45 туру двухпроводной линии за аремя электрод выполнен в виде изолирован- распространения импульса от генератоного провода, один конец которого ра 5 до согласованног р о согласованного сопротивлесовдинен с одним из входов импульс- ления 7, что повышает точность и проного СВЧ-рефлектометра, другой . — с изводительность контроля.
