Устройство для нанесения металлических покрытий на диски внешней памяти

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ НА ДИСКИ ВНЕШНЕЙ ПАМЯТИ, содержащее установленные в вакуумной камерепервый и второй испарители со своими подвижными заслонками., два нагревателя дисков и дискодержатель, установленН1 с возможностью вращения и кинематически связанный с механизмом вращения, при этом нагреватели установлены по разные стороны дискодержателя , а подвижные заслонки между испарителями и ближайшим к ним из нагревателей, в котором выполнено первое радиальное отверстие, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности устройства и качества покрытия дисков за счет снижения времени между напылениями немагнитного и магнитного слоев диска, в устройство введен экран, причем в ближнем нагревателе выполнено второе отверстие, :экран установлен неподвижно между первыми и вторыми испарителями и отверстиями ближнего нагревателя, а ,расстояние между отверстиями вы .бирается из соотношения h MKi(B«inV; y -a т« k - расстояния соответгде и ственно между диског держателем и ближним нагревателем и между у последним и испарите« лем; tj, - допустимое время окисления металлического слоя магнитного покрытия; минимально допустимое Ч значение скорости вращения диска; минимальная ширина отМ«К 4 4 верстия , определяемая изсоотношения N9 jvMKrt «ин ri Макс где V - максимальная скорость конденсации покрытияJ Bf, - заданная толщина покрытия .

„„SU„„1 44142 A

COI03 СОВЕТСКИХ

СОЦ)4АЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСДУБЛИК

4(51) G 11 В 5/85 (21) 3712697/24-10 (22) 15.03.84 (46) 07.03.85. Бюл. 3 9

{72) Л.И. Олейник, В.В. Зорин и Н.А. Яковлев (71} Ордена Ленина институт кибернетики им. В.И. Глушкова (53) 681.84.083.84(088.8) (56) 1. Галахтер P.Ò. Кобальто-хромовое покрытие магнитных дисков.

"Электроника", 1981, т. 54, В 23, с. 15-16.

2. Жариков Г.п. и др. Запоминающие устройства. Киев, ИК АН УССР, t9S0, с. 53-57 (прототип). . (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ . МЕТАЛЛИЧЕСКИХ НОКРЫТИЙ НА ДИСКИ

ВНЕШНЕЙ ПАМЯТИ, содержащее установленные в вакуумной камере- первый и второй испарители со своими подвижными заслонками, два нагревателя дисков и дискодержатель, установлен: ный с воэможностью вращения и кинематнчески связанный с механизмом вращения, при этом нагреватели установлены по разные стороны дискодержателя, а подвижные заслонки— между испарителями и ближайшим к иим из нагревателей, в котором выполнено первое радиальное отверстие, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности устройства и качества покрытия дисков эа счет снижения времени между напылениями иемагнитного и магнитного слоев диска, в устройство введен экран, причем в ближнем нагревателе выполнено второе отверстие, . экран установлен неподвижно между .:первыми и вторыми испарителями и отверстиями ближнего нагревателя, а ,расстояние 3 между отверстиями выI . бирается из соотношения . — а ба мии " 1Амl4H ми у.где hu k расстояния соответственно между диско-. держателем и ближним нагревателем и между последним и испарителем; допустимое время окисления металлического слоя магнитного покрытия; минимально допустимое значение скорости вращения диска; минимальная ширина отверстия, определяемая из соотношения ф вин илии мин

"МНИ ll <

% макс где в „ — максимальная скорость конденсации покрытия", — заданная толщина покрытия.

ГОСУДАРСТВЕННЬ1Й КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬПИЙ с1

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1144142

Изобретение относится к технике магнитной записи, а именно к устройствам для покрытия магнитных носителей информации парами металлов.

Известно устройство для косого напыления металлических покрытий на основу внешних накопителей информации путем испарения в вакууме металла покрытия j1) .

В известном устройстве угол накло-10 на покрываемой подложки к оси потока испаряемого металла устанавливается с помощью кулачкового механизма.

Недостатком данного устройства является сложность механизма переме- 15 щения и наклона подложки и большие размеры вакуумной камеры, обусловленные необходимостью обеспечения сравнительно больших расстояний между испарителями и подложкой при косом . 20 напылении, необходимом для получения равномерной толщины и одинаковых свойств покрытия по всей площади покрываемой основы носителя информации. 25

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому является устройство, содержащее установленные в вакуумной камере первый и второй испарители со своими подвижными заслонками, два нагревателя дисков и дискодержатель, установленный с возможностью вращения и кинематически связанный с механизмом вращения, при этом нагреватели установлены по ра>ные стороны дискодержателя, а подвижные заслонки — между испарителями и ближайшим к ним из нагревателей, в котором выполнено первое радиальное 40 отверстие f2) .

Недостатком известного устройства является низкая производительность, вызванная наличием в нижнем, т.е ближайшем к испарителям,нагреваi 45 теле одного отверстия для конденса.ции на.основе диска покрывающих его ,металлов.По этой причине напыление магнитного слоя может начаться толь" ко после окончания процесса напыпения немагнитного слоя заданной толщины, т.е.. после совершения дискодержателем нескольких оборотов. За это время немагнитное покрытие успевает окислиться, что отрицательно сказывается на магнитных свойствах магнитного слоя диска, так как окислившееся немагнитное покрытие снижает величину коэрцитивной силы магнитного покрытия, "выращиваемого в виде эпитаксиального слоя из немагнитного слоя диска.

Цель изобретения — повышение про,изводительности устройства и качества покрытия дисков за счет снижения времени между напыяениямн немагнитного и магнитного слоев диска.

Цель достигается тем, что в устройство, содержащее установленные в вакуумной камере первый и второй испарители со своими подвижными заслонками, два нагревателя дисков н дискодержатель, установленный с возможностью вращения и кииематически связанный с механизмом вращения, при этом нагреватели установлены по разные стороны дискодержателя, а подвижные заслонки — между испарителями и ближайшим к ним из нагревателей, в котором выполнено первое радиальное отверстие, введен экран, причем в ближнем нагревателе выполнено второе отверстие, экран установлен неподвижно между первыми и вторыми испарителями и отверстиями ближнего нагревателя, а расстояние 0 между отверстиями выбирается из соотношения о M«q « «" QNLH« AA« где h и - расстояния соответственно между дискодержателем и ближним нагревателем и между последним и ис-. парителем; „ - допустимое время окисления металлического слоя магнитного покрытия

- минимально допустимое . значение скорости вращения диска; а „ц„ - минимальная ширина отверстий, определяемая из соотношения

"A ì«í омм«эа1

6 Маке .где М„ „©„ — максимальная скорость .конденсации покрытия;

3 — заданная толщина покры-, тия.

На фиг. 1 представлена схема устройства; на фиг. 2 - нагреватель с отверс гиями, разрез; на фиг. 3схема для вывода расчетных соотношений элементов устройства.

1144 разом

" мин о/мни = 4 „ а макс

Устройство содержит вакуумную камеру 1, в которой расположены первый испаритель 2 и второй испаритель 3, нагреватели 4 и 5 упомянутых испарителей, дискодержатель 6, механизм 7 вращения диска (не показан), кинематически связанный с дискодержателем 6, нагреватели 8 и 9 для диска, установленные по разные стороны дискодержателя 6, подвижные 10 заслонки 10 и 11, установленные между испарителями 2, 3 и ближайшим к ним (нижним по чертежу) нагревателем 9, в котором выполнены два одинаковых радиальных отверстия 12 и

-1

13 расположенные на расстоянии друг от друга, которое выбирается из соотношения

- 6 "ф,„„„ где П и k - расстояния соответственно между дискодержателем 6 и нагревателем 9 и между последним. и испарителем 2 или 3; — допустимое время окисления металлического слоя магнитного покрытия;

" мнн - минимально допустимое ,значение скорости вра", З0 щения .диска;

Q м„н — минимальная ширина отверстий, определяемая из соотношения .где Ч „,ид — максимальная скорость и макс конденсации покрытия;

Э„ — заданная толщина покры- 40 тия.

Отверстия 12 и 13 разделены экраном 14 для исключения возможности смешивания потоков испаряемых металлов на поверхности основы диска.

Устройство работает следующим о6разом.

После достижения в вакуумной камере необходимого давления включаются нагреватели 8 и 9 основы диска, закрепленной в дискодержателе 6 между нагревателями 8 и 9. Основа дис142 4 ка (не показана) нагревается до заданной температуры, после чего включаются нагреватели 4 и 5 испарителей

; 2 и 3 для плавления соответственно

1 немагнитного и магнитного металлов.

Далее включается механизм 7 вращения дискодержателя 6 с основой диска.

После расплавления указанных металлов производят конкретные замеры скоростей их испарения. Затем открывают подвижную заслонку 10 над испа. рителем 2 для покрытия основы немагнитным металлом, например хромом, через отверстие 12 в нагревателе 9.

Через время открывается заслонка 11 над испарителем 3 для напыления на основу магнитного материала.

Время аС вЂ” это время необходимое для поворота основы диска на расстояние а + k . Оно вычисляется следующим оба+С

Ч

А где g — скорость вращения основы диска, т.е. дискодержате ля 6; а — ширина отверстия 12 или 13; — расстояние между отверстиями 12 и 13 (фиг. 2 и 3) .

После достижения заданной толщины немагнитного покрытия заслонку 10 закрывают. Через время и после этого закрывают заслонку 11 и конденсация магнитного покрытия также прекращается, при этом достигается точное взаимное наложение плоскостей обоих покрытий. После отключения нагревателей 4, 5, 8 H 9 и остывания изготовленного диска выключают механизм 7 вращения дискодержателя 6.

Использование изобретения, т.е; отдельных отверстий для напыления каждого слоя дискового носителя информации, позволит сократить до минимума время между напылениями указанных слоев путем уменьшения размера а + 3 и резко сократить время окисления немагнитного (хромового, например) подслоя диска, что приведет к увеличению коэрцитивной силы магнитного покрытия диска.

g 7Ь8.,7

° °

Закат 937/4Z Тараи 584 ПорПвсаое

Эиавад Патевт, г. Уигород, уд.Проеатваа,4