Способ подгонки тонкопленочных резисторов

 

Способ подгонки тонкопленочных резисторов, включающий грубую подгонку, стабилизацию параметров резисторов и точную подгонку, отличающийся тем, что, с целью повышения точности подгонки и стабильности резисторов, стабилизацию параметров осуществляют термообработкой резисторов на воздухе в течение 10 - 240 ч при температуре, не превышающей температуру кристаллизации резистивного материала и на 25 - 100oC выше рабочей температуры резисторов.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано в производстве тонкопленочных терморезисторов - датчиков температуры

Изобретение относится к микроэлектронике и электронной технике, в частности к технологическим процессам изготовления пленочных резисторов

Изобретение относится к электронной технике, в частности к тонкопленочной микроэлектронике

Изобретение относится к технологии изготовления резисторов, в частности к стабилизации и подгонке тонкопленочных резисторов, и может быть использовано при производстве металлопленочных тензорезисторных датчиков давления, силы, деформации и гибридных интегральных схем в радиотехнической и приборостроительной промышленности

Изобретение относится к прецизионным пленочным резисторам

Изобретение относится к прецизионным пленочным резисторам

Изобретение относится к области микроэлектроники, а также измерительной техники и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных микросборок, а более конкретно для конструирования и изготовления преобразователя температуры в напряжение электрического сигнала

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных микросборок, а более конкретно для конструирования и изготовления тонкопленочных резисторов на диэлектрических подложках
Наверх