Способ измерения диэлектрической проницаемости плоскопараллельных диэлектриков

 

1. СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТИ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХ ДИЭЛЕКТРИКОВ, включающий облучение исследуемого плоскопараллельного диэлектрика с расположенной за ним металлической подложкой электромагнитной волной, фазовую модуляцию отраженной волны, измерение комплексного коэффициента отражения и расчет по измеренной величине диэлектрической проницаемости, отличающийся тем, что, с целью обеспечения локальности измерений, фазовую модуляцию отраженной волны осуществляют возбуждением ультразвуковых колебаний в контролируемом участке прижатого.к металлической подложке исследуемого, плоскопараллельного диэлектрика, нормально к его поверхности. 2. Способ ПОП.1, отличающийся тем, что, с целью контроля неоднородностей диэлектрической проницаемости плоскопараллельньгх диэлектриков , последовательно возбуждают § различные участки поверхности иссле (/) С дуемого плоскопараллельного диэлектрика и по изменениям модуля коэффициента отражения судят об изменениях диэлектрической проницаемости по поверхности исследуемого плоскопараллельного диэлектрика,

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

ÄÄSUÄÄ 11852 (5!)4 С 01 R 27/26

Д

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3735281/24-09 (22) 29.04.84 (46) 15. 10. 85. Бюл. Х -. 38 (?2) Б.П.Иванов и В.Н.Хаханин (71) Ульяновский политехнический институт (53) 621.317.335(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 480998, кл. G 01 R 27/26, 1975.

Авторское свидетельство СССР

N 885868, кл. G 01 N 22/00, 1981. (54) (57) 1. СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТИ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХ ДИЭЛЕКТРИКОВ, включающий облучение исследуемого плоскопараллельного диэлектрика с расположенной за ним металлической подложкой электромагнитной волной, фазовую модуляцию отраженной волны, измерение комплексного коэффициента отражения и расчет по измеренной величине диэлектрической проницаемости, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью обеспечения локальности измерений, фазовую модуляцию отраженной волны осуществляют возбуждением ультразвуковых колебаний в контролируемом участке прижатого.к металлической подложке исследуемого плоскопараллельного диэлектрика, нормально к

его поверхности.

2. Способ по п.1, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью контроля неоднородностей диэлектрической проницаемости плоскопараллельных диэлектриков, последовательно возбуждают различные участки поверхности исследуемого плоскопараллельного диэлек трика и по изменениям модуля коэффициента отражения судят об изменениях диэлектрической проницаемости по поверхности исследуемого плоскопараллельного диэлектрика .

1185269

Размер зоны локализации измерений определяется поперечными размерами

30 пьезоэлектрического преобразователя.

Для контроля неоднородностей диэлектрической проницаемости исследуемого плоскопараллельного диэлектрика

З последовательно возбуждают его различные участки поверхности и по изменениям модуля коэффициента отражения судят об изменениях диэлектрической проницаемости по поверхности ucgg следуемого плоскопараллельного диэлектрика.

Составитель В.Васильев.

Редактор К.Волощук Техред 0 Неце Корректор B Cèíèöêàÿ

Заказ 6360/42 Тираж 747 Подписное

ЬНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 6-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r.Óæãîðoä, ул.Проектная, 4

Изобретение относится к радиотехническим измерениям в диапазоне СВЧ и может быть использовано для измерения диэлектрической проницаемости плоскопараллельных диэлектрикоЬ и 5 для контроля ее неоднородностей.

Цель изобретения - обеспечение локальности измерений и контроль неод" нородностей диэлектрической проницаемости плоскопараллельных диэлектриков.

На чертеже гщедстаЬлена функциональная схема устройства, реализующего предлагаемый способ измерения диэлектрической проницаемости плоско- 15 направленных диэлектриков.

Устройство содержит генератор СВЧ 1, вентиль 2, направленный ответвитель 3, циркулятор 4, приемо-передающую антенну 5, регулируемый фазовращатель 6, 20 регулируемый а.т-нюатор 7, двойной волноводный тройник 8, детектор 9, индикатор 10, плоскопараллельный диэлектрик 11, металлическую подложку 12, пьезоэлектрический преобразователь 1 3, генератор 14 ультразвуковой частоты.

Способ измерения диэлектрической проницаемости плоскопараллельных диэлектриков реализуется следующим образом.

ПлоскопараллелЬный диэлектрик 11 облучают электромагнитной волной с помощью приемо-передающей антенны 5, возбуждаемой генератором СВЧ 1, через вентиль 2, направленный ответвитель 3 и циркулятор 4, В плоскопараллельном диэлектрике

1i возбуждаются ультразвуковые колебания с помощью пьезоэлектрического преобразователя 13, находящегося в контакте с металлической подложкой

12, к которой прижат плоскопараллельный диэлектрик 11.

Напряжение ультразвуковой частоты подается на пьезоэлектрический преобразователь 13 от генератора 14 ультразвуковой частоты.

Волна, отраженная от участка металлической подложки 12, где расположен пьезоэлектрический преобразователь

13, оказывается промодулированной по фазе с ультразвуковой частотой.

Она принимается приемо-передающей антенной 5 и через циркулятор 4, двойной волноводный тройник 8 поступает на детектор 9, на который одновременно поступает часть опорного сигнала от генератора СВЧ 1 через вентиль 2, направленный ответвитель

3, регулируемый фазовращатель 6 и двойной волноводный тройник 8. Индикатором 10 измеряется амплитуда переменной составляющей выходного сигнала детектора (определяющая коэффициент отражения, по которой судят о диэлектрической проницаемости).