Способ определения толщины пленок,напыляемых в вакууме
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК, НАПЫЛЯЕМЫХ В ВАКУУМЕ, заключающийся в том, что одновременно производят напыление пленки на рабочую подложку и свидетель, пропускают через свидетель излучение, регистрируют поток излучения, прошедшего свидетель, и определяют толщину пленки на рабочей подложке, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых толщин в процессе напьшения создают продольньш градиент толщины слоя, наносимого на свидетель, сканируют пучком излучения по поверхности свидетеля в направлении градиента толщины слоя и определяют толщину пленки , нанесенной на рабочую подложку, S по положению сканирующего пучка на поверхности свидетеля, соответствуСП ющему расчетному значению потока излучения, прошедшего свидетель.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН (! 9) (I )) (()4 G 01 В 11/06
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3527198/25-28 (22) 20. 12. 82 (46) 30.10.85. Бюл. Р 40 (71) Львовский ордена Ленина политехнический институт им. Ленинского комсомола (72) 3.Ю. Готра, М.В. Висьтак, И.В. Петрович и И.Я. Хромяк (53) 531.717.11(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
Р 235339, кл. G 01 В 11/06, 1971
Авторское свидетельство СССР
У 358613, кл. G 01 В 11/06, 1972. (54) (57) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ
ПЛЕНОК, НАПЫЛЯЕМЫХ В ВАКУУМЕ, заключающийся в том, что одновременно производят напыление пленки на рабочую подложку и свидетель, пропускают через свидетель излучение, регистрируют поток излучения, прошедшего свидетель, и определяют толщину пленки на рабочей подложке, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых толщин, в процессе напыления создают продольный градиент толщины слоя, наносимого на свидетель, сканируют пучком излучения по поверхности свидетеля в направлении градиента толщины слоя и определяют толщину пленки, нанесенной на рабочую подложку, по положению сканирующего пучка на поверхности свидетеля, соответствующему расчетному значению потока излучения, прошедшего свидетель.
1188526
Составитель M. Семчуков
Техред M.Ãåðãåëü Корректор Т.Колб
Редактор Е. Копча
Заказ 6732/40 Тираж 650 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения толщины слоя вещества, получаемого методом вакуумного напыления. 5
Цель изобретения — расширение диапазона измеряемых толщин., На чертеже изображено устройство, реализующее предлагаемый способ.
Устройство содержит рабочую подложку 1, свидетель 2, испаритель 3, лазер 4 и фотоприемный блок 5. Свидетель 2 установлен .под углом к направлению движения частиц напыляемого вещества. Лазер 4 и фотоприем- 15 ный блок 5 расположены по разные сто.роны свидетеля 2, жестко соединены между собой и установлены с возможностью перемещения параллельно поверхности свидетеля в направлении х, со- 20 ответствующем проекции прямой, соединяющей центры испарителя и свидетеля, на поверхность последнего.
Способ осуществляют следующим образом. 25
Производят одновременное напыление слоя вещества на рабочую подлож ку 1 и свидетель 2. За счет наклона свидетеля 2 к направлению движения частиц напыляемого вещества слой вещества, напыленного на свидетель, приобретает градиент толщины в направлении х. Закон распределения толщины слоя по поверхности свидетеля и ее отношение к толщине слоя на рабочей подложке 1 однозначно определяются геометрическими параметрами схемы и могут быть рассчитаны заранее. Также заранее известна и зависимость коэффициента пропускания свидетеля 2 от толщины напыпенного на нем слоя. Лазер 4 совместно с фотоприемным блоком 5 перемещают в направлении х до достижения рассчитанного значения потока излучения, прошедшего свидетель 2, и определяют положение пучка лазера на свидетеле 2, по которому на основе известных зависимостей судят о толщине слоя на рабочей подложке.
Расширение диапазона контролируемых толщин обеспечивается за счет возможности в широком диапазоне регулировать наклон и удаление свидетеля от испарителя, чем достигается изменение соотношения толщин слоев, напыпенных на свидетеле и рабочей подложке, и перепад толщины слоя на свидетеле.
