Способ контроля процесса проявления шкал растровых мер

 

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССА ПРОЯВЛЕНИЯ ШКАЛ РАСТРОВЫХ МЕР, ширина непрозрачных элементов которых равна половине периода растра, включающий освещение в процессе проявления растровой шкалы когерентным неактиничным излучением и измерение световой энергии в различных порядках спектра, по величине которой судят о размере элементов растра, о тли чающийся тем, что, с целью повьшения точности контроля, измеряют экстремальные значения световой энергии в первом и более высоком порядках спектра, а процесс проявления прекращают в момент совпадения экстремальных значений световой энергии. (Л с и со

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

QRSUGD (51) 4 G 03 С 5/24, G 01 В 11/24

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ц

Н АВТОРСИОМЪГ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ь:-...;;;;"., ь

1 (21) 3757504/24 — 10 (22) 28.06.84 (46) 30. 11. 85. Бюл. У 44 (7i) Вильнюсский филиал Экспериментального научно-исследовательского института металлорежущих станков (72) А.-M.À.Баракаускас, Э.А.Даукша, В.Н.Кудрявцев и А.А.Барадокас (53) 771.43(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 643747, кл. С 01 В 11/24, 04.08.7? (54) (57) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССА

ПРОЯВЛЕНИЯ ШКАЛ РАСТРОВЫХ МЕР, ширина непрозрачных элементов которых равна половине периода растра, включающий освещение в процессе проявления растровой шкалы когерентным неактиничным излучением и измерение световой энергии в различных порядках спектра, по величине которой судят о размере элементов растра, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности контроля, измеряют экстремальные значения световой энергии в первом и более высоком порядках спектра, а процесс проявления прекращают в момент совпадения экстремальных значений световой энергии.

95329

Составитель Е.Вострикова

Техред А.Кикемезей Корректор Г.Рошко

Редактор H. Киштулинец

Заказ 7414/52 Тираж 447

ВНИИПИ Государственного. комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Н<-35, Раушская наб., p . 4/5

Подпис ное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,4

Ф

11

Изобретение относится к фотолитографии, а именно к способам проявления, и может быть использовано при изготовлении прецизионных растровых шкал.

Цель изобретения — повышение точности контроля процесса проявления.

На чертеже *оказана структурнофункциональная схема устройства для осуществления способа.

Устройство содержит лазер 1, кювету 2 с проявителем, в которой размещена заготовка 3 растровой меры, два фотоприемника 4, расположенные в направлении первого и более высокого порядка спектра, две схемы 5 поиска экстремумов и схему 6 совпадения.

Предлагаемый способ реализуется следующим образом.

В процессе проявления слоя фоторезиста, нанесенного на шкалу растровой меры, образуется фазовая решетка, на которой дифрагирует падающее на нее когерентное излучение.

При помощи фотоприемника 4, один из которых установлен в первом по-! рядке спектра, а другой — в более высоком порядке спектра, например в третьем, измеряют изменения световой энергии, обусловленные изменением размеров проявляемых элементов растра, и при помощи схем поиска экстремумов определяют экстремальные значения сигналов в обоих каналах. Одновременно экстремальные

I значения сигналов в обоих каналах наступают только при — = 0,5, где

Ь

 — ширина штриха растра, d — период растра, т.е. когда ширина штри15 ха равна половине периода растра.

В этот момент схема 6 совпадения выдает сигнал об окончании процесса проявления. С увеличением номера .используемого порядка спектра частота появления экстремальных значений увеличивается, при этом увеличиваI ется и чувствительность способа, так как уменьшается интервал изменения ширины штрихов между двумя экстре25 мальйыми значениями интенсивности порядка спектра, а пики экстремальных ,значений носят более острую форму.