Способ изготовления турбомолекулярного насоса

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК и» 4 Г 04 D 19/04!.

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H ABTGPCH0MV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3718924/25-06 (22) 02.04.84 (46) 15.01.86. Бюл. Р 2 (72) В.С. Кондрашев, Л.М. Деев-Анисимов и Е.А. Петров (53) 621.527.8(088.8) (56) Каталог HU 200 фирмы LeyboldHeraeus 1979, разд. 5. (54) (57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО НАСОСА, включающий выполнение на статорных и роторных дисковых заготовках прорезей с образованием лопаток и соединительных колец, последующую закрутку лопаток, установку изготовленных статорных и роторных дисков в корпус и закрепление соединительньи колец последних на валу насоса, а статорных дис„,SU, 1204805 А ков — в корпусе, причем прорези на роторных дисковых заготовках .выполняют от периферии к центру с образованием .внутренних соединительных колец, отличающийся тем, что, с целью повышения быстродействия и эксплуатационной надежности, прорези на статорных дисковых заготовках также выполняют от периферии к центру с образованием внутренних соединительных колец, размещают их при установке в корпус с азорами относительно вала, эа" крепление статорных дисков в корпусе осуществляют путем крепления в нем концов лопаток, а закрутку последних производят в направлении, противоположном закрутке лопаток роторных дисков.

1 204805

2 с образованием внутренних соединительных колец 5, размещают их при установке в корпусе 1 с зазорами относительно вала 2, закрепле- ние статорных дисков в корпусе 1 осуществляют путем крепления в нем концов лопаток 3, а закрутку по" следних производят в направлении, противоположном закрутке лопаток 4

10 роторных дисков. При вращении вала

2 плотность потока газа в межлопаВН Г ПП Заказ 8506/34 Тираж 585 Подписное

Филиал IKH "Патент", г.Ужгород, ул,,Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к конструкциям турбомолекулярных насосов (ТИН;.

Цель изобретения — повышение быстроты действия и эксплуатационной над ляости4

"a фиг. 1 изображен ТМН, изготовленный предлагаемым способом, продольный разрез, на фиг. 2 — разрез

А-А на фиг. i.

ТМИ, изготовленный предлагаемым способом, содержит корпус 1 с размещенным в нем валом 2, закрепленные в корпусе 1 статорные диски с лопатками 3 и на валу 2 роторные диски с лопатками 4. Статорные и роторные лопатки 3 и 4 снабжены соединительными кольцами 5 и 6, С-.,îñoá изготовления ТМН включает выполнение на статорных и роторных ,цисковых заготовках прорезей с образованием лопаток 3 и 4 и соединительных колец 5 и 6, последующую закрутку лопаток 3 и 4, установку изготовленных статорных и роторных дисков в корпус 1 и закрепление соединительных, колец 6 ("..оследних из них) на валу 2 насоса, а статорных дис .сов — в корпусе 1, причем прорези на poTopHblx дисковых эаго товках выполняют от периферии к центру с образованием внутренних соединительных колец 6. Прорези на статорных дисковых заготовках также выполняют,от периферии к центру точном канале в направлении от входа к выходу насоса дифференцирована по радиусу. В первом приближении плотность потока пропорциональна скорости относительного движения роторных и статорных лопаток. Перенесение эоны закрутки в лопаток статорного диска с периферии насоса на меньший диаметр увеличивает среднюю плотность потока газа и площадь межлопаточного канала, что обусловливает увеличение потока газа в направлении

2», откачки, т.е. повышение быстроты действия насоса.

Наличие в предлагаемом насосе у статорных дисков соединительного кольца, связывающего между собой корни лопаток, резко увеличивает есткость статорного диска, что в свою очередь позволяет повысить эксплуатационную надежность насоса, особенно при прорывах атмосферы или аэродинамическом тор55 можении вала насоса, ф * Я