Способ получения фотоакустических топограмм

 

COOS СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (5114 G 01 N 29 06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3752814/25-28 (22) 08.06.84 (46) 23.01.86. Бюл.¹ 3 (71) Киевский ордена Ленина государственный университет им.T Ã.Шевченко (72) А.Б.Орлинский, P.М.Бурбело и А.В.Золотарь (53) 620.179,16(088,8) (56) Mong I.Í., Thomas R.L., Hawking G.T. Surface and subsurface

structure .of solids by laser photoacoustic spectrosñoðó. — Appl.Phys.

Lett., 1978,v.32, № 1, р.538 °

Busse G. 0ptoakustische abbil-

dung und mikroskopie.- Naturwissenschaft1iche Rundschau, 1981, 34, Jahrg, Heft 6, $. 237-244.

I (54) (57) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОАКУСТИЧЕСКИХ ТОПОГРАФ, заключающийся в том, что поверхность исследуемого объекта сканируют лазерным лучом, который модулируют по амплитуде двумя частотами f, и f,,регистрируют амплитуды акустических сигналов для тех же частот и строят зависимость амплитуды разностного сигнала от глубины исследуемого слоя материала, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, лазерный луч модулируют одновременно двумя частотами и fz

1206694

Составитель К.Леонов

Техред Л.Микеш Корректор Л.Патай

Редактор А.Шишкина. й

Заказ 8704/46 Тираж 778 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам Изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r.Óæãîðîä, ул.Проектная, 4

Изобретение относится к фотоакустической микроскопии и может быть использовано для визуализации струк-. турной однородности широкого класса веществ, в том числе оптически непрозрачных.

Цель изобретения - повышение производительности и достоверности контроля.

На чертеже представлено устройство, реализующее способ получения фото акустических топограмм.

Устройство содержит лазер 1, модулятор 2, поворотное зеркало 3, фокусирующую линзу 4, фотоакустическую ячейку 5 с микрофоном 6, резонансные усилители 7 и 8, синхронные . детекторы 9 и 10, задающие генераторы 11 и 12 модуляции, дифференциальный усилитель 13.

Предлагаемый способ осуществляют следующим образом.

Луч лазера 1 модулируют с помощью модулятора 2 одновременно двумя частотами f и Е . Далее лазерный луч с помощью зеркала 3 направляют на поверхность контролируемого образца 14. Возникающие в результате поглощения электромагнитного излучения объекто термические волны порождают акустические колебания в фотоакустической ячейке 5, которые регистри1 руют микрофоном 6. Далее сигнал поступает на резонансные усилители

7 и 8, настроенные на частоты f< и

f задающих генераторов 11 и 12 модуляции соответственно. С выходов резонансных усилителей сигналы поступают на входы синхронных детекторов 9 и 10, а затем в дифференциальный усилитель 13, который произво10 дит их вычитание, и строят зависимость амплитуды разностного акустического сигнала от координаты.

Производя сканирование модулированным таким образом лучом по по15 верхности объекта, получают дифференциальную фотоакустическую топограмму слоя, лежащего на определенной заданной глубине от поверхности, по которой судят о структурной однова родности искомого слоя.

Г

Изобретение позволяет сократить более .чем в два раза время, необходимое для получения топограмм, повысить достоверность полученных результатов, так как исключает неопределенность в координате точки объекта посколъку получение дифференциальных фотоакустических топограмм происходит в одном цикле сканирования лазерного луча по поверхности

Г объекта.