Способ изготовления рентгеношаблона
1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕНТГЕНОШАБЛОНА, включающий формирование на подложке слоя прозрачного для рентгеновского излучения и получение на нем маскирующего рисунка из материала, поглощающего рентгеновское излучение, формирование мембраны и опорного кольца по периферии подложки путем избирательного травления подложки, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных рентгеношаблонов путем предотвращения разрушения мембраны, перед избирательным травлением подложки на слой мембраны с маскирующим рисунком наносят упрочняющий слой, а после травления упрочняющий слой удаляют.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала упрочняющего слоя используют медь. Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении дискретных полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Цель изобретения увеличение процента выхода годных рентгеношаблонов путем предотвращения разрушения мембраны. На фигурах 1-4 представлена последовательность операций изготовления рентгеношаблона способом согласно изобретению. На фигурах показана подложка 1 со слоем мембраны 2, на которой нанесен слой 3 из материала, поглощающего рентгеновское излучение, сформированный в соответствии с топологическим рисунком. На слой 3 нанесен упрочняющий слой 4. При избирательном травлении подложки на слое мембраны остаются недотравленные островки 5 материала подложки и опорное кольцо 6. При продолжении травления островки растворяются с формированием полости 7. П р и м е р. В кремниевой подложке 1 толщиной 0,5 мм с ориентацией (100) формировали слой мембраны 2 толщиной 2 мкм диффузионным легированием подложки бором до концентрации 
1020 см3. На этом слое формировали слой 3, поглощающий рентгеновское излучение, из золота толщиной 0,25 мкм. Затем нанесли вспомогательный упрочняющий пленочный слой 4 меди электролитическим осаждением толщиной 2.10 мкм (фиг.1). Травление полости 7 в кремниевой подложке проводилось в растворе этилендиаминпирокатехин вода при температуре кипения раствора. На первом этапе травления образуются островки 5 недотравленного материала (фиг.2), которые удаляются при последующем травлении (фиг.3). Медный подслой 4 удаляли в водном растворе хромового ангидрида и серонокислого аммония, в результате чего получали рентгеношаблоны с мембраной диаметром 80 мм с выходом годных 80-90% и более (фиг.4).
Формула изобретения
1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕНТГЕНОШАБЛОНА, включающий формирование на подложке слоя прозрачного для рентгеновского излучения и получение на нем маскирующего рисунка из материала, поглощающего рентгеновское излучение, формирование мембраны и опорного кольца по периферии подложки путем избирательного травления подложки, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных рентгеношаблонов путем предотвращения разрушения мембраны, перед избирательным травлением подложки на слой мембраны с маскирующим рисунком наносят упрочняющий слой, а после травления упрочняющий слой удаляют. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала упрочняющего слоя используют медь.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе
Номер и год публикации бюллетеня: 36-2000
Извещение опубликовано: 27.12.2000
