Пьезоэлектрический керамический материал
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
„„SU„„1217852 (ю 4 С 04 В 35/49
1 вссонщ;ц
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3819554/29-33 (22) 05.12.84 (46) 15.03.86. Бюл. 9 10 (72) О.С.дидковская, Н,С.Морозова, Г.Е.Савенкова, Г.В.Лунев, А.М.Гареев, Б.М.Попов, В.В.Климов, 3.И.Швец, В.А.Голосов и В.Г.Старенченко (53) 666.655(088.8) (56) Патент С1(1А 9 3502913, кл. 310-8,7,опублик. 1970.
Авторское свидетельство СССР
У 893959, кл. С 04 B 35/00, 1980, (54)(57) ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ КЕРАМИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ, включающий
РЪ(Его,вт- оба Тi,ü -о,<> )0 и сойеРжащую ZnO и МпО добавку, о т л и— ч а ю шийся. тем, что, с целью уменьшения флуктуации скорости поверхностной акустической волны и среднего размера пор, он содержит в качестве добавки ZnHi1(5$Ь1(Ип1(, 0 при следующем- соотношении компонентов, мас.7
98,62 (1(.п (03 1,38 (1(3
1,70
1217852
Изобретение относится к материалам, применяемым в радиоэлектронике, в частности, для изготовления пьезокерамических фильтров, работающих на поверхностных акустических волнах (ПАВ).
Целью изобретения является уменьшение флуктуации скорости поверхностной акустической волны и среднего размера пор. lO
Шихту готовят в шаровой или вибромельнице. Полученную шихту подвергают обжигу (в виде брикетов или порошка) .при 920+20 С в течение
2-3 ч. Прокаленный материал измель15 .чают в порошок с размером частиц не более 3 мкм, добавляют в качестве смазки водный раствор поливинилового спирта и прессуют заготовки, например в виде дисков требуемого
Э и размера при давлении 1-1,5 т/см
Спрессованные заготовки помещают на керамические подложки из диоксида циркония (или оксида алюминия), накрывают такой же подложкой. Затем
25 ,образцы в таком виде или в никелевом пакете загружают в печь и спекают при 1140-1200 С в течение 2-3 ч °
Скорость подъема температуры 15030
СодержаКр
4pp t мкм
Содержание цирко ната-тиv»%
1 ние добавки
ZnBi „ БЬ„ 3
1 1(03 таната свинца, мас.%
Pb(Zroçó Ti ь ц )О
0,15
1,54
98,46
98,46
98,47
0,13
1,54
Pb(Zrî 58 Tio к,у )03
РЬ(Его -о зз )03
0,17
1,53
98,48
0,11
1,52
РЬ(Ег Т „) 03
0,17
1,38
Pb(Zro Tiî 43 )О
98,62
98,30 ("уыу Tio „ 03
0,18
1,70 с рамическии материал с небольшои флук туацией скорости ПАВ на керамичес55 кой подложке g и уменьшенным раз1 мером пор й,рпри сохранении высоких значений механической добротности
Ц, коэффициента электромеханичесСостав цирконата-титанат свинца
Как видно из таблицы, введение комплексной добавки ЕпВх 1(ЯЬ, Мп4 03 в количестве 1,38-1,70 мас.% в цирконат-титанат свинца состава
РЬ(Его 5у о 65 Ti0o у o ) 03 позволяет получить пьезоэлектрический кес
200О/ч, охлаждение проводится вместе с печью. Возможно проведение спекания как в камерных печах, так и в туннельных. Кроме того, возможно применение среды кислорода при спекании..Спеченные изделия шлифуют до заданного размера, затем на них наносят электроды методом вжи1 гания серебряной пасты при 780+50 С в течение 15-30 мин. Поляризация изделий осуществляется в среде жицкого диэлектрика, например в полиэтилсилоксановой жидкости ПЭС-5 при 100-150 С в постоянном электрическом поле с напряженностью
3-4 кВ/мм. Измерения электрофизических свойств проводят на дисках диаметром 10+0,1 мм и толщиной
1,+0,1 мм по стандартным методикам.
Для определения среднего размера пор диски диаметром 50 мм после шпифовки подвергают полировке, а для определения флуктуации скорости ПАВ по подложке на те же диски с использованием фотолитографии наносят электроды встречно-штыревого типа и затем возбуждают ПАВ.
Результаты испытаний полученного материала приведены в таблице.
4 370 0,45 1570
3 350 0,41 1600
5 290 0,37 1900
4 250 0,27 2600
6 340 0,41 1300
7 320 0,42 1500
1217852
Составитель О. Самохина
Редактор М.Циткина ТехредЖ.Кастелевич Корректор М.Демчик
Заказ 1080/30 Тираж 640 Подписное
ВНИИПИ Государстненното комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж«35, Раушская об., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 кой связи К р и пониженной диэлектри- ческой проницаемости Е /Я . Tat кое сочетание свойств позволяет использовать этот материал для изготовления телевизионных фильтров УРЧЗ на DAB,а также для других целей.
