Источник ионов дуоплазматрона

 

СОЮЗ СОВЕТСНИК

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

ÄÄSUÄÄ 1233714 (дР,1 Н 01 3 27/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

М

СО

СО 4 Вй

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTkPblTHA (46) 15.05.88. Бюл. У 18 (21) 2194347/24-25 (22) 01. 12. 75 (72) В. В. Нижегородцев (53) 62 1.385 (088.8) (56) Димов P.H, Савченко О.Я. Мощный импульсный источник нейтральных атомов и отрицательных ионов водорода.

Препрннт ИЯФ CO АН СССР. Новосибирск, 1967.

Габович И.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. М,:

Атомиздат, 1972, с.222. (54) (57) ИСТОЧНИК ИОНОВ ТИПА ДУОПЛАЗМОТРОНА,содержащий разрядную камеру с анодным блоком,вьггягивакиций электрод и экспандер с эмиссионной сеткой, отличающийся тем,, что, с целью повьппения яркости и стабильности пучка ионов, между эмиссионной сеткой экспандера и анодным блоком установлен блок сеток,выполненный в виде корпуса из диэлектрического материала, закрепленных в нем цилиндрических экранных электродов, апертуры которых закрыты сетками, при этом экранные электроды установлены со взаимным перекрытием и электрически изолированы друг от друга.

1233714

Составитель В,Обухов

Редактор Т.Иванова Техред И.Ходанич

Корректор В Синидкая

Заказ 3384 Тираж 74б Подпис ное

ВНИИПИ Государственно::; о к.мытета СССР по делам иэобрете .ннй i :- Открытий

313835, Москва, Ж-ЗЬ, Раужкая наб., д,4/5

Производственно-полиграфнческо; пр.. риятие, г. Ужгород, ул.Проектная,4

Изобретение относится к ускорительной технике и может быть использовано при разработке источников ионов для ускорителей.

Целью изобретения является ионышение яркости и стабильности пучка ионов.

На чертеже изображен источник ионов.

Источник ионов типа дуоплазмотрона содержитразрядную камеру 1 с анодным блоком 2, экспандер 3 с эмиссионной сеткой 4 на выходе, а также вытягивающий электрод 5. В экспаидере 3 установлен блок сеток, образованный корпусом 6 иэ диэлектрического материала, в котором закреплены изолированнъ е друг от друга цилинд рические экранные электроды 7. Апертуры электродов 7 закрыты сетками 8.

Экранные электроды 7 установлень. со взаимным перекрытием.

Источник работает следуккцим образом„

Плазма, получаемая в разрядной камере 1, истекает через контрагиру ющее отверстие в анодном блоке 2 и расширяется в экспандере Э. При этом плазма„ контактируя с каждой иэ сеток 8,, установленных в экспандере 3, заряжает их до определенного плавающего потенциала. В экспандере 3 устанавливается распределение потенциалоэ, соответствующее принципу минимальной внутренйей энергии плазмен-. ного столба, заполняющего экспандер.

Взаимная экранировка электродов 7 и защита ими корпуса б от выпадения на него ионов препятствует протеканию тока по стенкам корпуса.

В результате плазма при достижении эмиссионной сетки 4 имеет более иэкую, чем в известных устройствах, температуру ионов. По этой причине повышается яркость и стабильность ионного пучкао

Источник ионов дуоплазматрона Источник ионов дуоплазматрона 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к устройствам для получения ионных пучков с большим поперечным сечением и может быть использовано для различных технологических операций на базе ионно-лучевой обработки материалов в вакууме

Изобретение относится к устройствам для получения ионных пучков и может быть использовано для получения тонких пленок различных материалов, для ионного и ионно-химического травления и очистки поверхностей

Изобретение относится к вакуумно-плазменной технике, к источникам пучков большого поперечного сечения ионов и/или быстрых нейтральных молекул инертных и химически активных газов, а именно к плазменным эмиттерам ионов с большой эмиссионной поверхностью

Изобретение относится к технике получения плазмы и генерации интенсивных ионных пучков с большим поперечным сечением

Изобретение относится к технике получения плазмы и генерации ионных пучков с большим поперечным сечением

Изобретение относится к технике получения ионных пучков, в частности пучков многозарядных, высокозарядных и поляризованных ионов

Изобретение относится к технике получения плазмы и генерации ионных пучков с большим током

Изобретение относится к технике получения плазмы и генерации широких ионных пучков с большим током

Изобретение относится к ускорительной технике

Изобретение относится к газоразрядной технике и может быть использовано для получения тлеющего разряда (ТР) для различных целей, например для возбуждения активных сред газовых лазеров, для спектроскопии газов и их смесей для химического анализа, для создания плазмохимических реакторов и установок плазменного травления микросхем и др
Наверх