Способ измерения зазора между растрами фотоэлектрических растровых преобразователей перемещений
Изобретение позволяет повысить точность измерений перемещений фотоэлектрического растрового измерительного преобразователя путем юстировки его по значению величины зазора между растрами, образующими растровое сопряжение. Способ осуществляется следующим образом. Формируют два коллимированных пучка света и направля-. ют их на один и тот же участок растрового сопряжения под разными углами падения в плоскости, нормальной к плоскости сопряжения и штрихам первого ПС ходу пучков растра. Перемещают растры друг относительно друга, преобразуют мощности пучков, прошедших сопряжение, в электрические сигналы и регистрируют разность фаз этих сигналов . Изменяют угол is/ падения на участок растрового сопряжения одного из пучков света на величину л.о(, регистрируют изменение разности фаз ЛЧ электрических сигналов и опреде-г ляют величину зазора h по формуле h Т .AW/360rtg(oi -НдЫ) - tguJj, где Т - линейный шаг растров. 1 ил. (Л ю со ;о
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК сю 4 G 01 В l1/00 11/14
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ gRQ P p
ORHCAHNE HS0EPETEHHR t " . «/,/
/ д, - .ч
К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЗАЗОРА МЕЖДУ
РАСТРАМИ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ РАСТРОВЫХ
ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ (57) Изобретение позволяет повысить точность измерений перемещений фотоэлектрического растрового измерительного преобразователя путем юстировки
его по значению величины зазора меж(21 ) 3494746/24-28 (22) 27. 09. 82 (46) 15.06.86. Бюл. В 22 (71) Вильнюсский филиал Экспериментального научно-.исследовательского института металлорежущих станков (72) С.А.Бармаш, С.-А.Ю.Будгинас, Л.И.Герберене, Б.А.Кравченко и А.Т.Ушинскас (53) 531.717.1(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
У 1024701 кл. С Oi В 11/00, 1983.
„„SU,,12 7 04 А1 ду растрами, образующими растровое сопряжение. Способ осуществляется следующим образом. Формируют два коллимированных пучка света и направляют их на один и тот же участок растрового сопряжения под разными углами падения в плоскости, нормальной к плоскости сопряжения и штрихам первого по ходу пучков растра. Перемещают растры друг относительно друга, преобразуют мощности пучков, прошедших сопряжение, в электрические сигналы и регистрируют разность фаз этих сигналов. Изменяют угол Ы падения на участок растрового сопряжения одного из пучков света на величину ag, регистрируют изменение разности фаэ
hV электрических сигналов и определяют величину зазора Ь по формуле
h = Т лМ/360 t tg(a + ь Ы ) — tg 3, где
Т вЂ” линейный шаг растров. 1 ил.
1Р 179l)4 2 грических сиг валов в пред ляют величину зазора Ь по формуле
Т n +
360(cg(< + л ) — cg (5 где Т вЂ линейн шаг растров.
Г
ВНИИПИ Заказ 3271 41 Тираж 679 Подписное
Про изв.-попигр. пр--тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к контропьно-измерительной технике и может быть использовано, в частности, для измерения зазора между растрами при сборке и юстировке измерительных преобразоватепей линейных и круговых перемещений.
Целью изобретения является повышение точности измерения перемещений за счет измерения зазора между растрами
Ф
На чертеже изображена схема, поясФ. няющая способ измерения перемещении.
Способ осуществляется следующим l5 образом.
Формируют с помощью осветителей
1 и 2 два коллимированных пучка света, направляют их на один и тот же участок растрового сопряжения, обра- 20 зованного растрами 3 и 4 под разными углами М, и Ы. падения в плоскости, нормальной к плоскости сопряжения и штрихам первого по ходу пучков растра 3, перемещают растры 3 и 25
4 один относительно другого, преобразуют с помощью фотоприемников 5 и 6 мощности пучков, прошедших сопряжение, в электрические сигналы, регистрируют фазометром 7 разность фаз этих сигналов, изменяют угол ск падения на участок растрового сопряжения одного из пучков света на величину аж, регистрируют фазометром 7 изменение разности фаз л ч элек- ., 1
Ф о р м у л а и з о б р е т е в и я
Способ измерения зазора между растрами фотоэлектрических растровых преобразователей перемещений-, заключающийся в том, что формируют два коллимированных пучка света, направляют их на один и тот же участок растрового сопряжения под разными углами падения в плоскости, нормальной к плоскости сопряжения и штрихам первого по ходу пучков растра, перемещают растры друг относительно друга, преобразуют мощности пучков, прошедших сопряжение, в электрические сигналы, регистрируют разность фаз этих сигналов и определяют контролируемый параметр, о т л и ч а ющ и и с. я тем, что, с целью повышения точности измерения перемещении, изменяют угол с1 падения на участок растрового сопряжения одного из пучков света на величину ed, регистрируют изменение разности фаз л ч электрических сигналов и определяют величину зазора h по формуле
Т Ч.
360 (cg(d + d ) — c+) где Т вЂ” линейный ша г растров .
