Способ работы высоковакуумного адсорбционного насоса

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

1 1> 4 F 04 В 37/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ.,13

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3781427/31-06 (22) 16.08.84 (46) 07.09.86. Бюл. № 33 (71) Омский политехнический институт (72) В. И. Миллер, Н. В. Шепелев, В. П. Демидов, В. Ю. Мартынов, В. В. Шалай и И. И. Миллер (53) 621.528.3 (088.8) (56) Куприянов В. И. и др. Адсорбционные вакуумные насосы. Обзорная информация.

Серия ХМ-6 «Криогенное и вакуумное машиностроение». М., ЦИНТИхимнефтемаш, 1980, с. 2.

„„SU„„1255743 А1 (54) (57) СПОСОБ РАБОТЫ ВЫСОКОВАКУУМНОГО АДСОРБЦИОННОГО НАСОСА, включающий поглощение газов путем адсорбции их на поверхности адсорбента, отличающийся тем, что, с целью снижения энергозатрат путем сокращения времени запуска и уменьшения теплопритоков, в качестве адсорбента используют вещество с фазовым переходом металл †полупроводник, адсорбцию осуществляют путем нагрева вещества до температуры, на 10 — 20 С большей температуры фазового перехода, а регенерацию — путем охлаждения вещества до температуры, на 5 — 10 С меньшей температуры фазового перехода.

1255743

Составитель В. Кряковкин

Техред И. Верес Корректор В. Бутяга

Тираж 586 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП <Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор С. 1ыжова

Заказ 4796/34

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к способам эксплуатации адсорбционных насосов.

Цель изобретения — снижение энергозатрат путем сокращения времени запуска и уменьшения теплопритоков.

Способ реализуется следующим образом.

В качестве адсорбента используют, например, двуокись ванадия VO, имеющую температуру фазового перехода 343К. Запуск насоса осуществляется путем нагрева двуокиси ванадия до 363К. При этой температуре двуокись ванадия находится в фазе

«металл» и интенсивно поглощает газы, поступающие в насос. При насыщении поверхности вещества адсорбентом осуществляют его охлаждение до температуры 338К, что приводит к переходу вещества из фазы

«металл» в фазу «полупроводник», в которой адсорбционные характеристики значительно хуже. В результате происходит десорбция газа с поверхности вещества, т.е. регенерация адсорбента в насосе. Далее цикл повторяется.

Диапазон температур обеспечивает полный переход вещества из одной фазы в другую, а небольшая разница в температурах адсорбции и десорбции позволяет снизить энергозатраты в процессе эксплуатации насосов, использующих в качестве адсорбента

15 вещество с фазовым переходом металл — полупроводник.