Устройство для контроля качества поверхности зеркала

 

Изобретение относится к произ- . водству зеркал и повьшает точность контроля за счет исключения влияния промьшшенных вибраций на результаты контроля. Устройство содержит оптический квантовый генератор 2, свет от которого микрообъекти1вом 3 фокусируется на диафрагму 4, формирующую эталонный тест-объект, и диагональным зеркалом 5 направляется на контролируемую зеркальную поверхность I. Отраженное от поверхности I изображение тест-объекта с помощью зеркал 6 и 7 попадает на вращающийся случайный фазовый экран IО в виде волоконно-оптической шайбы и системой 8 повторного отклонения лучей возвращается на зеркальную поверхность I. Вторичное изображение тест-объекта наб- j людается микроскопом 9. I з.п. ф-лы, (Л 1 ил.

СО1ОЭ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛ ИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„267393

А1 дд 4 01 М Il/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3905069/24-10 (22) 02.04.85 (46) 30.10.86. Вюл. Р 40 (71) .Главная астрономическая обсерватория АН СССР (72) А.С. Дорофеюк и В.С. Корепанов (53) 535.824.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 712721, кл. G Ol М 11/02, 1978.

Авторское свидетельство СССР

9 637758, кл. G 01 M 11/02, 1977. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТ ВА ПОВЕРХНОСТИ ЗЕРКАЛА (57) Изобретение относится к произ" водству зеркал и повьппает точность контроля за счет исключения влияния промьппленных вибраций на результаты контроля. Устройство содержит оптический квантовый генератор 2, свет от которого микрообъективом 3 фокусируется на диафрагму 4, формирующую эталонный тест-объект, и диагональным зеркалом 5 направляется на контролируемую зеркальную поверхность I.

Отраженное от поверхности 1 иэображение тест-объекта с помощью зеркал 6 и 7 попадает на вращающийся случайный фазовый экран 10 в виде волоконно оптической шайбы и системой 8 повторного отклонения лучей возвращается на зеркальную поверхность I. Вторичное изображение тест-объекта наб" а людается микроскопом 9. I э.п. ф-лы, З

1 ил.

Формула изобретения

Составитель С. Соколов

Техред П. Сердюкова

Редактор Э. Слиган

Корректор Е. Рошко

Заказ 5753/36

Тираж 778

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

1 12671

Изобретение относится к производству зеркальных поверхностей и может быть использовано преимушественно для их контроля и аттестации.

Целью изобретения является повьппение точности контроля эа счет исключения влияния промышленных вибраций на результаты контроля.

На чертеже представлено устройство контроля качества поверхности зер- !0 кала.

Устройство для контроля качества зеркальной поверхности 1 содержит оптический квантовый генератор 2, микрообъектив 3, расположенный в фокусе 1 микробъектива диафрагмы 4 и диагонального зеркала 5, систему для отражения лучей, состоящую из расположенных под углом друг к другу принимающего

6, промежуточного 7 и возвращающего- ро. ся 8 зеркал, а также измерительный микроскоп 9, вращающуюся волоконнооптическую шайбу 10, расположенную в плоскости промежуточного изображения между зеркалами 7 и 8. 25

Устройство работает следующим образом.

Свет от оптического квантового генератора 2 с помощью микрообъектива 3 фокусируется на диафрагму 4, которая формирует эталонный тест-объектив в виде светящейся точки, затем попадает на диагональное зеркало 5, отражающее световой пучок на контролируемую зеркальную поверхность 1.

Создаваемое контролируемой зеркальной поверхностью 1 изображение тест93 объекта с помощью зеркал 6 и 7 попадает на входную торцовую поверхность вращающейся волоконно-оптической шайбы 10. Изображение переносится на выходную торцовую поверхность шайбы

10 и с помощью зеркала 8 световой пучок снова направляется на контролируемую зеркальную поверхность 1. Созданное зеркальной поверхностью 1 вторичное изображение тест-объекта наблюдается в измерительный микроскоп 9.

1. Устройство для контроля качества поверхности зеркала, содержащее источник света и расположенные по ходу луча тест-объект, устройство для направления светового пучка на поверхность контролируемого зеркала и измерительный микроскоп, о т л и ч аю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности контроля за счет исключения влияния промышленных вибраций на результаты контроля, устройство снабжено системой повторного отклонения лучей на контролируемую поверхность зеркала и случайным фазовым экраном с возможностью вращения, который расположен в плоскости промежуточного изображения тест-объекта.

2. Устройство по п.1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что случайный фазовый экран выполнен в виде волоконнооптической шайбы.