Раствор для химического фрезерования нержавеющей стали

 

Изобретение относится к хими:ческой обработке металлов, в частности к химическому фрезерованию нержавеющих сталей, .и может быть использовано в различных областях : при изготовлении масок для фотохимического фрезерования. Цель изобретения - повышение качества обработки за счет получения более ровного края отверстия - достигаетсятем, что используется раствор, содержащий .соляную, серную и азотную кислоты , мездровый клей, активирующую добавку и воду. В качестве активирующей добавки используют ронгалит при следующем соотношении компонентов , мае. ч.: соляная к-та (d- 1,19 г/см) 8,58-39,1; серная к-та (,84 г/см) 6,83-13,43; азот-, ная к-та (,4 г/см) 9,09-45,0; мездровый клей 0,0093-0,8; ронгаi лит 0,093-0,78; вода 1,0-75,7. Неровность края для масок, изготов (Я ленных с помощью такого раствора, составляет мкм. Маски с мкм непригодны, так как резко снижается выход годных кварцевых резонаторов. 1 табл.

СОЮЗ СОВЕТСНИ)(СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) (5D 4!С 23 F 1/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPbITVM (21) 3852626/22-02 (22) 04.02.85 (46) 07. 11.86. Вюл. В 41 (7 1) Ярославское. научно-производственное обьединение "Электронприбор" (72) А.Н.Чебунин, А.А.Киселев и В.В.Смирнов (53) 621.794.42 (088.8) 156) Авторское свидетельство СССР

Ф 730787, кл. С 09 К 13/06, 1977.

Авторское свидетельство СССР

У 247002, кл. С 23 F 1/04, 1967. (54) РАСТВОР ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ФРЕЗЕРОВАНИЯ НЕРЖАВЕЮЩЕЙ СТАЛИ; (57) Изобретение относится к хими.,ческой обработке металлов, в частности к химическому фрезерованию нержавеющих сталей, .и может быть использовано в различных областях при изготовлении масок для фотохимического фрезерования. Цель изобретения — повышение качества обработки за счет получения более ровного края отверстия — достигается тем, что используется раствор, содержащий .соляную, серную и азотную кислоты, мездровый клей, активирующую добавку и воду. В качестве активирующей добавки используют ронгалит при. следующем соотношении компонентов, мас. ч.: соляная к-та (d- =

— 1, 19 г/см ) 8,58-39, 1; серная к-та (d=1,84 г/см ) 6,83-13,43; азотная к-та (d=1,4 r/ñè ) 9,09-45,0; мездровый клей 0,0093-0,8; ронгалит 0,093-0,78; вода 1,0-75,7. Неровность края для масок, изготовленных с помощью такого раствора, составляет R< 6 15 мкм. Маски с

Rq > 15 мкм непригодны, так как резко снижается выход годных кварцевых резонаторов. 1 табл .

1268636

25!

Изобретение относится к химической обработке металлов, н частности к химическому фрезерованию нержавеющих сталей мартенситного и переходных классов и может быть использовано в. различных областях при изготовлении масок для фотохимического фрезерования.

Цель изобретения является повьппение качества обработки. 10

Пример 1. Готовят раствор из 80 мп соляной кислоты (d=1 19), 40 мп серной кислоты (d=1,84) и 70 мп азотной кислоты (d=1„ 4), 810 мл воды с растворенным в ней О, 1 г мездрово- 15 го клея и 1 r ронгалита. Полученный раствор перемешивают и проводят процесс химического фрезерования заготовок из нержавеющей стали. Раствор имеет следующий состав, мас,ч.:

Соляная кислота (4=1, 19) 8,58

Сер ная кислота (d=1,84) 6,83

Азотная кислота (4=1,4) 0,09

Меэдровый клей О, 0093

Ронгалит 0,093

Вода 75,7

Процесс химического фрезеронания З0 заготовок иэ нержавеющей стали, нао пример масок, осуществляют при 60 С, скорости фрезерования 20 мкм/мин, продолжительности процесса 3-5 мин.

Ронгалнт представляет собой нат- З5 риевую соль формальдегидсульфоксиловой кислоты, растворимую в воце, и имеет формулу СН (OH)SO Na.

Качество понерхности и неровность края оцениваются визуально под мик- 40 роскопом. С каждым составом проводилось по 5 опытов фрезерования отверстий.

Маски, изготанливаемые с помощью 45 предлагаемого раствора, используются для создания электродной металлизации на камертонных кнарценых пьезоэлементах, напылением через них н вакууме., Неровность края R для та- 50 ких масок составляет 15 мкм. Маски с R< 15 мкм непригодны, так как резко уменьшается выход годных кварцевых резонаторов иэ-за замыкания напыпенных площадок. 55

Неровность края для масок, изготовленных с помощью раствора по примеру 1, составляет 14 мкм.

Пример 2, Раствор готовят аналогично примеру 1 из 380 мл соляной кислоты (d=1, 19), 70 мл серной кислоты (d= 1,84), 380 мп азотной кислоты (d = 1,4), 6 r мездрового клея, 5 г ронгалита и 170 мл воды.

Раствор имеет следующий состав, мас, ч.:

Соляная кислота 34,95

Серная кислота 9,95

Азотная кислота 41, 11

Мездроный клей, 0,46

Рон галит 0,39

Вода 13, 13

Неровность края R для масок, изготовленных с помощью раствора по примеру 2 составляет 10 мкм, Пример 3. Раствор готонят аналогично примеру 1 из 450 мл соляной кислоты (d=1,19), 100 мп серной кислоты (d=1,84), 440 мл азотной кислоты (d=.1,4), 12 г мездрового клея, 10 r ронгалита и 10,0 мп воды.

Раствор имеет следующий состав, hf3c вч

Соляная кислота 39,1

Серная кислота 13,43

Азотная кислота 45,0

Мездровый клей 0,8

Ронгалит 0,78

Вода 1,0

Неровность края R для масок, изготовленных с помощью раствора по примеру 3, составляет 11 мкм.

Для получения сравнительных данных параллельно проводится фрезеронание масок из нержавеющей стали известным раствором, в котором вместо ронгалита используется тропеолин

0001, Результаты сравнительных испытаний даны н таблице.

Как видно из таблицы, неровность края края отверстий при обработке н предлагаемом растворе меньше, чем при обработке в известном растворе, и находится в пределах допускаемой величины (К. < 15 мкм) . о

Формула изобретения

Растнор для химического фреэерования нержанеющей стали, содержащий соляную, серную, азотную кислоты, мездроный клей, активирующую добавку и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки, он в качестве активирующей

1268636

Азотная кислота (d=1,4 г/см ) 9,09-45,0

0>0093-0,8

0,093-0,78

1,0-75,7

Меэдровый клей

Pонгалит

Вода

6, 83-13, 43

-1Раствор Состав раствора для химического фреэерования

Вода

Азотная Мездро- Тропео- Ронгакислота вый лин лит (d=1,4) клей 0001

Серная кислота (d=1,84) оляная ислота

d=1, 19) Предлагаемый

10

Известныйй

75,7

13, 13

1,О

Составитель В.Олейниченко

Редактор Г.Волкова Техред А.Кравчук Корректор С.Черни

Заказ 5996/26 Тираж .8 78 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 добавки содержит ронгалит при следующем соотношении компонентов, мас.ч.:

Соляная кислота (d=1,19 г/см ) 8, 58-39, 1

Серная кисл та (d=1,84 г/см ) 8,58 6,83 9,09 0,0093

34,95 9,95 41, 11 0,46

39, 1 13,43 45,0 0,8

8,58 6,83 9,09 0,0093 0,004

34,95 9,95 41, 11 0,46 О, 137

39, 1 13,43 45,0 0,8 0,27

0,093 75, 7

0,39 13, 13

0,78 1,0

Неровность края К (усредненная), мкм