Двухпозиционный предметный столик

 

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (504 G 02 В 21 26

1 ф;

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ASTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

j 1:- .1

ВМ"10

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3867043/24-10 (22) 15. 03. 85 (46) 07. 11. 86. Бюл. 1"- 41 (72) А. Н. Седов (53) 535.823(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 862103, кл. G 02 В 21/26, 1981

Микроскопы./Под ред. Н.И. Полякова, M.: Машиностроение, 1969, с.458. (54) ДВУХПОЗИЦИОННЫЙ ПРЕДМЕТНЫЙ СТОЛИК (57) Изобретение может быть использовано в измерительных приборах для контроля параметров полупроводниковых пластин. Для повышения оперативности установки контролируемых образ„.SU„, 1269075 А 1 цов в рабочее положение предметный столик состоит из верхней каретки 1, плавно перемещающейся относительно нижней каретки 3 с помощью механизма перемещения в виде винта 7 и гайки

8. Ступенчатое движение каретки осуществляется за счет выполненного в устройстве фиксатора, состоящего из шарика 9 и пружины 10. В крайнем положении каретка 3 удерживается магнитом, установленным на закрепленном на ней стержне 14 и взаимодействующим с регулируемым упором 11. Конструкция столика позволяет совместить операцию измерения и смены контролируемых образцов. 3 ил.

<О

1 12

Изобретение относится к области приборостроения, а именно к предметным столикам, и может быть использовано в измерительных приборах, например микроскопах, для контроля парамЕтров полупроводниковых пластин.

Целью изобретения является повышение оперативности установки контролируемых образцов в рабочее положение.

На фиг. 1 схематично изображен двухпозиционный предметный столик; на фиг. 2 — винт поперечной подачи, разрез; на фиг. 3 — каретка продольной подачи, разрез по механизму фиксации.

Двухпоэиционный предметный столик состоит из верхней каретки 1, на которой установлены два контролируемых образца, например полупроводниковые пластины 2, нижней каретки 3, основания 4, которое с помощью кронштейна 5 крепится к основанию микроскопа. Каретка 3 перемещается в поперечном направлении относительно основания 4 на шариковых направляющих 6.

На таких же направляющих в продольном направлении каретка 1 перемещается относительно каретки 3. Верхняя каретка 1 может перемещаться плавно относительно каретки 3 с помощью механизма перемещения, выполненного в виде винта 7 и гайки 8, и ступенчато — за счет фиксатора, состоящего из шарика 9 и пружины 10. Каретки и 3 с малым коэффициентом трения перемещаются относительно основания

4, причем крайнее положение кареток устанавливается с помощью переставляемых упоров, состоящих из корпуса 11 и микрометрического винта 12. В крайнем положении каретки удерживаются с помощью магнитов 13, закрепленных на стержне 14, жестко соединенном с кареткой 3, при этом винт 12 упирается в выступ 15. Усилие, с которым стержень 14, а следовательно, и каретка 3 притягиваются к микрометрическому винту 12, регулируется за счет выбора зазора А между магнитами, и кольцом 16, закрепленным на винте 12.

Двухпозиционный предметный столик работает следующим образом.

При подготовке к работе предметный столик устанавливают на микроскопе.

В гнезде верхней каретки 1 устанавливают контролируемые образцы 2, сори69075

40

Формула

35 ентированные по базовому срезу. С помощью механизмов фокусировки объектив микроскопа устанавливают на резкость изображения одной из пластин.

Нижнюю каретку 3 устанавливают в одном из крайних положений, на которое настраивают микрометрический винт

12. С помощью магнита 13 выступ 15 прижимается к микрометрическому винту 12. За счет того, что стержень

14 жестко связан с кареткой 3, она фиксируется в нужном положении. Вращая винт 12 и переставляя при необходимости корпус 11, а также перемещая каретку 1 и вращая винт 7, совмещают изображение контролируемой точки на образце с точкой, выбранной в поле зрения окуляра. Передвигают каретку 3 в другое крайнее положение, и с помощью другого винта

12 выбирают аналогичную точку на втором образце.

При работе с измерительным устройством во время, когда производится измерение параметров одного образца

2, установленного в одном гнезде, в другое гнездо устанавливается новый образец, который после окончания операции измерения первым перемещается на измерительную позицию. Каретка фиксируется в этом положении. Аналогичные операции проводятся с другим образцом. Совмещение по времени операций измерения и установки — съема контролируемых образцов и фиксации их в выбранном положении позволяет сократить время на установку выбранной точки образца с. необходимой точностью. изобретения

Двухпозиционный предметный столик преимущественно микроскопа, содержащий размещенную на основании нижнюю каретку, на которой установлена верхняя каретка с механизмом перемещения в виде пары винт-гайка, отличающийся тем, что, с целью повышения оперативности установки контролируемых образцов в рабочее положение, он снабжен двумя фиксаторами, выполненными в виде закрепленного на нижней каретке стержня, на одном конце которого, обращенном к верхней каретке, размещен подпружиненный шарик, взаимодействующий с пазами, выполненными на боковой ,поверхности гайки механизма переме! 269075 4 с установленными на основании регулируемыми упорами. щения, а на другом конце стержня закреплен магнит, взаимодействующий

Puz 1

Составитель О. Петров

Редактор Н. Егорова Техред JI.Îëeéíèê

Корректор С. Шекмар

Заказ 6031/48 Тираж 501

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, 11осква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4