Энергоанализатор

 

Изобретение относится к электростатическому анализу по энергиям. Может быть использовано для анализа энергетических спектров потока заряженных частиц из радиоактивных источников, в космическом пространстве , унругорассеянных и вторичных ионов и электронов, для монокииетизации пучков заряженных частиц, вытягиваемых из источников. Цель изобретения - увеличение чувствительности и разрешающей способности по энергиям и углам рассеяния энергоанализатора тина Юза-Рожанского за счет сепарации в ноле дополнительного конденсатора. Для этого между мишенью и входной диафрагмой введен дополнительный цилиндрический конденсатор 1 с внутренней 2 и внешней 3 обкладками, кроме того, устройство содержит диафрагмы 4, 5 и 6, ш,ель 7 на диафрагме 4, щели 8 на диафS рагмах 5 и 6, детектор 9. Повышение разре1паюн1ей способности достигается за счет (Л сужения щелей на диафрагмах 5 и 6. 2 з. н. ф-лы, 1 ил. N3 О5 СО Oi

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (5!) 4 H 01 J 49 48

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3791300/24-2! (22) 13.09.84 (46) 07.11.86. Бюл. № 41 (71) Институт электроники им. У. А. Арифона (72) Д. Д. Груич, С. В. Пичко, Ю. М. Суровцев и М.-М. А. Тухтаев (53) 621.384 (088.8) (56) Hogstrum Н. D., Pvetzer D. D., Takeiski I. Focused Slow I on Beam for Study

of Electron Ejection from Solids.— Rev. Sci.

Instr., 1965, vol. 36, №8, 1183.

Eckstein W., Verheek Н., Backscattering

of Hydrogen and Rare Gas lons from Metal

Surfaces.— J. Vac. Sci. Technol., 1972, vol. 9, № 2, 612.

Smith D. Р. Scattering of Low-Energy

Noble Gas I ons from Metal Surfaces.—

Appl. Phys., 1967, vol. 38, № 1, 340. (54) ЭНЕРГОАНАЛ ИЗАТОР (57) Изобретение относится к электростатическому анализу по энергиям. Может быть » 1269216 А 1 использовано для анализа энергетических спектров потока заряженных частиц из радиоактивных источников, в космическом пространстве, упругорассеянных и вторичных ионов и электронов, для монокинетизации пучков заряженных частиц, вытягиваемых из источников. Цель изобретения -- увеличение чувствительности и разрешающей способности по энергиям и углам рассеяния энергоанализатора типа Юза-Рожанского за счет сепарации в поле дополнительного конденсатора. Для этого между мишенью и входной диафрагмой введен flonoënèòeëüный цилиндрический конденсатор 1 с ннутренней 2 и внешней 3 обкладками, кроме того, устройство содержит диафрагмы 4, 5 и 6, щель 7 на диафрагме 4, щели 8 на диафрагмах 5 и 6, детектор 9. Повышение разре- ® шакнцей способности достигается за счет сужения щелей на диафрагмах 5 и 6. 2 з. и. Ц / ф-лы, ил.

126!) 216

В1< И И П И:3<) к()! з <)(<13 55 t a <>гн< 1103ï Hc H! K

Филиал П(! Г1 «Г!ате<<т», г. Ужго!)(>, (, (л. (1ро(ктна(<, 4

И;3 О О Р с (. н и (О!1 О с и т (H к с I I (K Г f ) »i! к О н и и, В чы Tllo(Ги к >лектростытичссKoMó; нылизу

llO ЭН(«р ГИ 5< vl, И XI!)iKCТ О 1><Т1> kl(. ПОЛЬ 3013

)!. Я Hi< i!. I HAii ЭНС РГ И I (С КИ Х C I I(K(till blx части II и.) ()H;EH»35) 1 и 131 в к(>смич(ском нрострзн TB(., унруп>рассеянны.(и вторичны.(ионов и элск<ронов, Вс ill!д(йс"п<ии

l1OT0KOt3 3 Гслы, для монокинетиз IILHH ny IKoB

ЗHPЯ ж< I! IIE)I Х I«!С 1 И 1<, B!)ITß< И Вd<. .M Ь<Х ИЗ ИС—

ГОЧ Н И КО В.

1 1(л ь изобр(I (н ия у В(..:<ич(Il H(. ч > В(ГГвителш<ости разрсшак>;пей способ!н)сти il»

ЭIIÑ f)I ИЯ 1 И УГ. 1 с3М РЫС((HIIИ51 ЭI<ЕРГО31<;i 1И— !

33 1 Оры 1 и на f()33 -1 Ожсl н KOI О Зсl С)I(1 С(11315 р»EHH I3 пол нитсльного конде»(зторы.

113 lc рг< >K(. привсдс!«) устройство, 0()ll»IH вид.

:-)нс р! оынз IH IHSEKHM и с рыдиуcoM кривизны R i рд

i l (с > с о < ) г Б с Г с 1 в с I » l o и 1 p c м Я I H it (() р 3 Г xl HMH 4 (>. 1 1<1 ди 1(рры! МС> 4 lldXOjlHTCЯ III E I k> 7.

Ог сс нло!цыди Л>с. (l и Л!с . Длина и ширины п(сг!и соогвстсTBcнно) зависит проН )>) С K I i;l 5< (I I 0(. О б Н ОС Г Ь И Ч у В(Т B H T Cv t t> I I 0 CТ Ь

>нс р 0

;IHHàòîðH. >!(,Иыфра!"vit>l 4 и 5 ограничивают

I3 нем сск I op в 63,6", H дизфрагMbl 5 и 6 сектор с углом раствора (), соотвстствук)щим конкретно Bl>l()pHI»10MV энергоынализатору. з<)

113 !<ь!ходе энергоанализытора за диафрагмой 6 расположен детектор 9 HIIHГ!Нз><руемыл

IIO HtICPI H 5< M Зсl Ря Ж()Н Н1>1 Х Ч ЫСТИ Ц.

Устройс!во работает следу!оп<им образо vl.

J1sIH HcI1pH <3kloH рзб01 bl (I О раснол 3 ГÇK)T в вакууме с давлениеM не прсBb»IIHK)lliliM р(1 10 Гор. 11арыллсльный пучок знали3 И Р У С М Ь! Х 3 <1 Р Я Ж С Н Н Ы Х Ч 3 СТ И Ц С С Ч Е l! H (. М, Огрыничсklным плснцыдьнэ !.Л)с. щс„IH 7 ны колл и м ирукшц и диаф ры гме 4, перпендикулярно к ll. IÎñêOcò è и<ел и 7 ВхОдит 13 н,ил инд-

13 IISIOCICO(. .1 И, <Иаф Р с)ГMbl ) И ItPOXO,)EHT ЧЕРС 3 с<> !цс lb 8 ll 10IIEHS(bio (Л>(> 130 BTopo(с KTop»o(. э. lc. KTp!1 1<,c КО, llosl<> <,!.ранич< tili0(. Си;<фр;3! 45 мыми 5 и 6, с углом раствора с), соответстВук)!ци м Кон Кр TIIÎ I3 t)IF>pH tt k<0M V 3II("pl 03 113. лизатору. Из него чсрсз щель 8 ttjioùH,(ütO (Л) С 1! ы ДI! афр 3 Ã M ñ 6, Е3 кото пои 113 хОдитс я второе фокыльнос пятно, пучок проынылизиpoВ3нlIых I1О эl<еf)Гиям 33ряжcн

50 попадает в детск Гор (вторично-электронный умножитель) 9.

Увеличение разрешак)!цей способности

13 предлагаемом энсргоанализыторе за счет сужениЯ H(c)tcÉ 8 HH иром<..>Kуточной 5 H Bb< ходной 6 диафрагмах (без у!церба для его нр(н!ускной способное! и и, следовательно, <х всTBH <сг!ьнос1 и ) цел сообразно до размеры фокзльног > пятна энергоанализатора. !!1ирины lit(. ëåé 8 ны диафрагмах 5 и 6 при это>1 м Ож< T б ЫТ Ь 131 l <) p ii H 3  — 1 00 p33 M C .Il b»iñ, чем у известного хсгройствы.

I fðot3c;EcI<íütc испытания показали, llо при выборс параметров энсргоанзлизатора, Ri+Ri

t«»l p HMcp, = 150 м м; R> R i =—

= — 10 мм; ER. = —: 5;к,5 мм- ; !Л!с = 5 0,05 мм, р<3:<рс III 2 K)li(351 CIIOCO<)1<00 энсргоана IН 333Е торы составляет == 0 0006. У<)сличение

r I vВСТЕ3ИТ(СГ1 ЬНО(! И ЭН(<Р< C)3 lid.!ИЗЗТОР3 СОСТаВI5(= 100. 11ри ->3п>м ширина Л/с =

lМ„

l

== 0,05 мм п<(,t(. и 8 нз диафрагмах 5 и 6

ll(ОГР<<ничи васT II()ÎõOiK, lc ни(. ч(P(3 энс Р<.OHlIKcнньl х частиц.

Таким образом, в нрсдлагаемом энергоынализыторс 110 срывн(ник> с известным ОдНОВРЕMС. ННО И Н(ЗЫВИСНМО V13E .I H× 112 РЗЗРСiiiHþ»EHH способность на 1,3 порядка, а про!

1 > СКН ЗЯ С lt()СО6Н ОСТЬ И, С;I!> <ОВсIТЕ ЬIIО, ЧV В(Т—

В ИТ(.,1 Ь НОСТЬ I I H ДВЗ llOP ßÄÊñl.

Формула изобретсни><

1. .Энерго<<нылизатор, содсржыпсий пилиндрический конденсатор с углом раствора (), ВХОДНУЮ И ВЫХОДНУК> ДИЗфРатvkl>l CÎ Щс;iям и ОдинакОВОГО Ilp»($) иля ill èðííÎí >R, мишень для рассеивания ионов, рзсположеннук) с(7 стороны входа, и детектор ионов, расположс нный сÎ сlоронl>1 выходы, отли<саюи(ийся тем, что, с целью увеличения чувствительности, разрешающей спо 00ности

Iio энергиям и углам рассеяния, между ми»lcíüê> и входнои диафрагмой введен дополнительный цилиндрический конденсатор, Огрыниченный с торца, с0 стороны мишени, коллимируlolilcé диафрагмой со щельк>, ширина которой выбрана в пределах Л!(. =

= (0,7 09) ()с> — Ri), где (Rz Ri) расстояние между внешнсй и внутренней обкладками дополнительноп> цилиндрического кондс нсатора с радиу) а ми криви:3ны г(г и Ri соответственно, а с ll f)oTH130110ложного торII3 — <зходной диафрагмой со щелью шириной Л!с, являющейся общей с цилиндрическим конденсатором с углом раствора (-).

2. Энергоана !и 33 IOp»0 и. 1, отличаюи(ийся тем, что вы><одная диафрагма с0 щелью ширинои Л!с расположены на расстоянии от торца дополнительного цилиндрического конденсаторы, соответствующем положеник> фокуса.

3. Знсргоаныли:3<3! Ор по н. 1, от гича<ои(ийся тем, что угол раствора () цилиндрического конденсатора выбран равным 63,6 .