Способ приготовления образца дифракционной решетки для исследования в электронном микроскопе

 

Изобретение относится к технике подготовки образцов для исследования методами электронной микроскопии. Цель изобретения - повышение качества образца. На поверхность дифракциоиной решетки напыляют углерод толш,иной 10-20 им. Углеродную реплику отделяют от поверхности решетки с помощью желатина. По высохшей поверхиости желатина делают разметку образца , одна из сторон которого параллельна линии перегиба, перпендикулярной направлению штрихов решетки. Затем образец отмывают от желатина в дистиллированной вою де и вылавливают на ребро сетки-подлож (Л ки, подводя ее снизу под плавающую углеродную реплику. При этом на ребре сетки-подложки образуется перегиб реплики, рельеф которого определяет профиль штрихов дифракционной решетки в электронном микроскопе. to sj tND

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБ ЛИК! д!!4 GOl N! 28

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К д ВТОРСКОЬ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

llO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3873002/24-21 ,(22) 22.03.85

:(46) 23.11.86. Бюл. № 43 (72) Г. П. Тихомиров, Л. В. Дегтева и Е. А. Сулабе (53) 62 !.385.833 (088.8) (56) гриммель Г. Методика электронной микроскопии. — М.: Мир, 1972, с. 120.

Верцнер В. Н., Дегтева Л. В., Харионовский Ю. С. Способ наблюдения профиля дифракционных решеток в электронном микроскопе. — Оптика и спектроскопия, 1957, т. Ш, с. 181 — 183.

ÄÄSUÄÄ 1272160 A (54} СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦА ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ ДЛЯ

ИССЛЕДОВАНИЯ В ЭЛЕКТРОННОМ

МИКРОСКОПЕ (57) Изобретение относится к технике подготовки образцов для исследования методами электронной микроскопии. Цель изобретения — повышение качества образца. На поверхность дифракционной решетки напыляют углерод толщиной 10 — 20 нм, Углеродную реплику отделяют от поверхности решетки с помощью желатина. По высохшей поверхности желатина делают разметку об, разца, одна из сторон которого параллельна линии перегиба, перпендикулярной направлению штрихов решетки. Затем образец отмывают от желатина в дистиллированной воде и вылавливают на ребро сетки-подложки, подводя ее снизу под плавающую углеродную реплику. При этом на ребре сетки-подложки образуется перегиб реплики, рельеф которого определяет профиль штрихов дифракционной решетки в электронном микроскопе, L

1272160

Формула изобретения

Составитель B. Гаврюшин

Редактор М. Бланар - Техред И. Верес Корректор А. Тяско

Заказ 6329/39 Тираж 778 Подписное

ВпИИПИ Государственного комитета СССР но делам изобретений и открытий

I 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент>, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к технике подготовки образцов для исследования методами электронной микроскопии, в частности к приготовлению реплик с дифракционных решеток, позволяющих наблюдать профиль их штрихов.

Цель изобретения — повышение качества образца за счет повышения точности перегиба реплики.

Сущность способа заключается в следующем. 10

На поверхность днфракциоиной решетки через заслонку в вакууме напыляют углерод толщиной 10 — 20 нм. Заслонка необходима для получения более прочного слоя.

Для уменьшения времени изготовления реплики желательно дополнительно напылить

15 углерод без использования заслонки такой толщины (30 — 40 нм), чтобы прн перегибе реплика не рвалась. После напыления углеродную реплику отделяют от поверхности решетки с. помощью желатина. По 20 высохшей поверхности желатина делают разметку образца, одна из сторон которого параллельна линии перегиба, перпендикулярной направлению штрихов решетки. Далее вырезают образец, отмывают его от желатина в дистиллированной воде и вылавливают на ребро сетки-подложки, подводя ее снизу под плавающую HH поверхности воды углеродную реплику параллельно базовой стороне образца. При этом реплика облегает сетку-подложку с двух сторон.

В результате на ребре сетки-подложки образуется перегиб реплики, рельеф которого определяет профиль штрихов дифракционный решетки в электронном микроскопе. Толщину углеродной реплики используют такую, что с одной стороны пленка прочная н не рвется прн перегибе, а с другой стороны остается прозрачной для электронов. Прн выполнении этого условия имеется возможность контроля качества перегиба по совпадению штрихов перегнутой petrлики. При полном совпадении штрихов делают вывод о достоверности изобретения профиля штрихов дифракционной решетки.

Для просмотра в электронном микроскопе сетку-подложку с перегнутой репликой вырубают так, что ее край располагается примерно по середине объектного патрончика. На удаленных от края ячейках сеточки практически всегда есть. участки, где реплика располагается в один слой, и можно наблюдать структуру поверхности решетки, что дает возможность получить микрофотографии профиля решетки и ее поверхности за один цикл.

Способ приготовления образца дифраяцнонной решетки для исследования в электронном микроскопе, включающий нанесение на поверхность дифракцнонной решетки пленки материала реплики, отделение реплики, вырезание образца и его перегибание по перпендикулярной к направлению штрихов решетки линии, отличающийся тем, что, с целью повышения качества образца за счет повышения точности перегиба реплики, в качестве материала реплики используют углерод, перед отделением реплики иа нее наносят слой желатина, по поверхности которого производят разметку образца, по крайней мере одна из сторон которого параллельна линии перегиба, вырезание образца осуществляют по разметке, растворяют слой желатина в воде, а перегибания образца производят путем извлечения реплики из воды на ребро сетки-подложки,