Интерферометр

 

Класс Q9h, Я „ № -130209 -"

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная гру>гпа Л6 170

Ю. В. Коломийцев и И. И. Духопел

ИНТЕРФЕРОМЕТР

Заявлено 22 июля 1955 г. за ¹ 576785/26

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 14 за 1960 г.

Известны интерферометры для контроля правильности изготовления сферических поверхностей путем наблюдения интерференционной картины в воздушном слое между контролируемой и эталонно" поверхностями.

Предлагаемый интерферометр отличается от известных тем, что его эталонная поверхность выполнена в виде концентрического мениска.

Такое выполнение интерферометра позволяет работать с одним его объективом при различнь1х величинах радиуса контролируемых поверхностей.

На чертеже изображена принципиальная оптическая схема предлагаемого интерферометра.

Светящееся тело монохроматического источника света 1 с помощью плоского зеркала 2 и конденсаторной линзы 8 проектируется в плос. кость отверстия 4 диафрагмы 5. Объектив 6 дает изображение отверстия

4 в точке 7, с котороЙ постоянно совмещен центр кривизны эталонной поверхности 8 мениска 9 и приблизительно совмещается центр кривизны проверяемой поверхности 10 линзы 11. При этом в воздушном промежутке между поверхностями 8 и 10 возникают интерференционные полосы. Если эти поверхности идеальны, то форма и ширина полос зависит только от взаимного расположения точек центров кривизны указанных поверхностей. При точном их совмещении поверхность 8 мениска равномерно освещена; при смещении центра кривизны проверяемой поверхности вдоль оптической оси на малое расстояние на поверхности 8 мениска наблюдаются кольца, аналогичнь|е кольцам Ньютона; при смещении центра кривизны поверхности 10 в направлении, перпендикулярном к оптической оси, — на поверхности 8 наблюдаются прямые полосы.

Кольца и прямые полосы деформируются, если проверяемая поверхность 10 имеет местные дефекты.

Для обеспечения совмещения центров кривизны эталонной v проверяемой поверхностей столик, на который накладывается проверяемая линза, может перемещаться в трех взаимно-перпендикулярных направлениях. Совмещение контролируется наблюдением в окуляр 12 автокол№ 130209 лимационных изображений 18 отверстия 4, полученных после отражения лучей от поверхностей 8 и 10 и полупрозрачной пластинки 14. Интсрферометр обеспечивает возможность изменения кривизны полос, т. е. точный контроль местных дефектов по искривлению прямых полос, астигматической разности радиусов кривизны поверхности в двух сечениях и отступления радиусов поверхности от номинального значения по числу наблюдаемых колец. Оценка отступлений производится невооруженным глазом, помещенным в точку 13, или с помощью телескопической лупы, снабженной сеткой или окулярным микрометром. Контрол, радиуса кривизны поверхности относительный.

Использование в интерферометре монохроматического источника света и диафрагмы 5 с малым отверстием позволяет производить контроль при воздушных промежутках между. поверхностями до 20 ия, а следовательно, контролировать поверхности с различными радиусами кривизны с помощью сравнительно небольшого числа эталонных менисков. Контроль вогнутых поверхностей с малыми радиусами кривизны может производиться по аналогичной схеме, но мениск с вогнутыми поверхностями должен быть заменен мениском с выпуклыми поверхностями и помещен над точкой 7. Для контроля вогнутых поверхностей больших радиусов кривизны более выгодно применить схему интерферометра с объективом, имеющим отрицательное фокусное расстояние.

Предмет изобретения

1. Интерферометр для контроля правильности изготовления сферических поверхностей наблюдением интерференционной картины в воздушном слое между контролируемой и эталонной поверхностями, о тл и ч аю щ и и ся тем, что, с целью обеспечения возможности работы с одним объективом интерферометра при различных величинах радиуса контро лируемых поверхностей, эталонная поверхность выполнена в виде концентрического мениска.

2. Форма выполнения интерферометра по п. 1, отличающаяся тем, что столик, на котором установлено контролируемое изделие, снабжен регулировочным устройством, позволяющим перемещать столик в трех взаимно-перпендикулярных направлениях.