Интерферометр для измерения линейных размеров объектов

 

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения линейных размеров объектов, в частности диаметров до нескольких десятков метров . Цель изобретения - повышение точности измерения за счет независимого перемещения отражателей непосредственно по линии измерения, что не нарушает принцип Аббе. Перед измерением линейных размеров объекта 8 отражатели 4, 6 интерферометра перемещают по оси до соприкосновения друг с другом, при этом на фоторегистраторе 7 вводится нулевой отсчет. Затем отражатели 4, 6 разводят один относительно другого по оси на расстояние, соизмери-. мое с измеряемым размером объекта 8. При этом на фоторегистраторе 7 производится автоматический счет интерференционных полос, соответствующий расстоянию между отражателями 4 и 6. Контролируемый объект 8 вводят между отражателями 4 и 6 так, что линия измерения совпадает с осью, на которой на.кодятся отражатели 4 и 6. Отражатели 4 и 6 перемещают по оси до соприкосновения с контролируемыми точками поверхности объекта 8. После этого фиксируют отсчет на фоторегистраторе 7, соответствующий линейному размеру объекта 8. 1 ил. 2 (Л со ю 00 О5 О5 О5

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5!) 4 G 01 В 9/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 ил.

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (2! ) 3838295/24-28 (22) 07.01.85 (46) 07.08.87. Бюл. № 29 (72) Е. Н. Перунов, Л. Л. Зейгман и В. В. Леонов (53) 531.715.1 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 292056, кл. G 01 В 5/20, 1970.

Авторское свидетельство СССР № 227593, кл. G 01 В 9/02, 1967. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ ОБЪЕКТОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения линейных размеров объектов, в частности диаметров до нескольких десятков метров. Цель изобретения — повышение точности измерения за счет независимого перемещения отражателей непосредственно по линии измерения, что не нарушает принцип.,80 1328666 А 1

Аббе. Перед измерением линейных размеров объекта 8 отражатели 4, 6 интерферометра перемещают по оси до соприкосновения друг с другом, при этом на фоторегистраторе 7 вводится нулевой отсчет. Затем отражатели 4, 6 разводят один относительно другого по оси на расстояние, соизмери-. мое с измеряемым размером объекта 8. При этом на фоторегистраторе 7 производится автоматический счет интерференционных полос, соответствующий расстоянию между отражателями 4 и 6. Контролируемый объект 8 вводят между отражателями 4 и 6 так, что линия измерения совпадает с осью, на которой находятся отражатели 4 и 6. Отражатели 4 и 6 перемещают по оси до соприкосновения с контролируемыми точками поверхности объекта 8. После этого фикси- Ж руют отсчет на фоторегистраторе 7, соответствующий линейному размеру объекта 8. Vg

1328666

Формула изобретения

Составитель Л. Лобзова

Редактор О. Юрковецкая Техред И. Верее Корректор A. Зимокосов

Заказ 3474/43 Тираж 676 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения линейных размеров объектов, в частности диаметров до нескольких десятков метров.

Цель изобретения — повышение точнос- 5 ти измерения линейных размеров объектов и расширение диапазона измерения за счет независимого перемещения отражателей непосредственно по линии измерения, что не нарушает принцип Аббе.

На чертеже изображена оптическая схема интерферометра для измерения линейных размеров объектов.

Интерферометр содержит осветитель 1, дающий параллельный световой поток, разделяющийся на светоделительной пластине

2. Проходящая светоделительную пластину

2 часть светового потока зеркалом 3 направлена на отражатель 4, затем посредством зеркала 3, светоделительной пластины 2 и зеркала 5 — на отражатель 6, откуда посредством зеркала 5 направлена на светоделительную пластину 2, где совмещена с частью светового потока, отраженного от светоделительной пластины 2, и направлена на фоторегистратор 7. Отражатели 4 и 6 расположены параллельно друг другу на одной оптической оси и в одной ветви.

Интерферометр работает следующим образом.

Перед измерением линейных размеров объекта 8 отражатели 4 и 6 интерферометра перемещаются по оси до соприкосновения друг с другом, при этом на фоторегистраторе 7 вводится нулевой отсчет. Затем отражатели 4 и 6 разводят друг относительно друга по оси на расстояние, соизмеримое с измеряемым размером объекта 8. При этом на фоторегистраторе 7 производится автоматический счет интерференционных полос, соответствующий расстоянию между отражателями 4 и 6. Контролируемый объект 8 вводят между отражателями 4 и 6 так, что линия измерения совпадает с осью, на которой находятся отражатели 4 и 6.

Последние перемещают по оси до соприкосновения с контролируемыми точками поверхности объекта 8. После этого фиксируют отсчет на фоторегистраторе 7, соответствующий линейному размеру объекта 8.

Интерферометр для измерения линейных размеров объектов, содержащий осветитель, светоделительную пластину, предназначенную для деления светового потока на две ветви, зеркала, отражатели и фоторегистратор, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и расширения диапазона измерения, отражатели установлены в одной ветви на одной оптической оси с возможностью перемещения вдоль нее, а светоделительная пластина расположена так, что ее светоделительная поверхность параллельна этой оси.