Способ измерения толщины покрытия и устройство для его осуществления

 

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения толщин эпоксидных покрытий. Цель - обеспечение возможности измерения толщины покрытия в технологическом потоке - достигается путем анализа отраженного от неоднородности включений в покрытии излучения. Дополнительная цель - обеспечение возможности измерения толщины покрытия в технологическом потоке - достигается путем создания условий для проведения измерений в технологическом потоке. Излучение от источника 1 линзой 2 вводится в гибкий световод 3, поляризуется поляроидо.м 4 и через окно 13 в корпусе 11 направляется на покрытие 5. Излучение , отраженное покрытием 5, собирается линзой 6 на торец конического световода 8. Поляроид 7 экранирует по попадания на приемник 9 отраженное от поверхности покрытия 5 излучение и пропускает обратнорассеянное слоем покрытия и деполяризованное излучение. Э.тектрические сигналы с приемника 9 поступают в блок 10 обработки сигналов, который определяет толщину покрытия. Пружина 14 обеспечивает контакт роликов 12 с поверхностью нокрытия 5, 2 с.п. и 1 з.п. ф-лы, 1 ил. Р (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5D 4 б 01 В 11/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4025882/24-28 (22) 24.02.86 (46) 15.11.87. Бюл. № 42 (71) Уральский научно-исследовательский институт трубной промышленности и Научноисследовательский институт интроскопии (72) Д. В. Латухин, В. М. Рябов, H. A. Валюс, А. А. Кеткович и В. И. Масычев (53) 531 — 717 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1128114, кл. G 01 В 11/06, 1984. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ

ПОКРЫТИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО

ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения толшин эпоксидных покрытий.

Цель — обеспечение возможности измерения толшины покрытия в технологическом потоке — достигается путем анализа отраженного от неоднородности включений в

„.Я0„„1352199 A 1 покрытии излучения. Дополнительная цель— обеспечение возможности измерения толщины покрытия в технологическом потоке— достигается путем создания условий для проведения измерений в технологическом потоке. Излучение от источника 1 линзой 2 вводится в гибкий световод 3, поляризуется поляроидом 4 и через окно 13 в корпусе 11 направляется на покрытие 5. Излучение, отраженное покрытием 5, собирается линзой 6 на торец конического световода 8.

Поляроид 7 экранирует Io попадания на приемник 9 отраженное от поверхности покрытия 5 излучение и пропускает обратнорассеянное слоем покрытия и депопяризованное излучение. Электрические сигналы с приемника 9 поступают в блок 10 обработки сигналов, который определяет толщипу покрытия. Пружина 14 обеспечивает контакт роликов 12 с поверхностью покрытия

5, 2 с.п. и 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

1352199

10

Формула изобретения

Состав стель А. Гордеев

Редактор Л. Г!овхан ехред И. Верес Корректор Л Патай

Заказ 5270!34 Тираж 677 Подписное

ВННН!!Н Государственного комитета СССР по делам изобретений и огкрь.тий ! 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения толщины антикоррозионных эпоксидных покрытий.

Цель изобретения — повышение точности измерения и обеспечение возможности измерения покрытия в технологическом потоке, Поставленная цель достигается путем анализа отраженного от неоднородности включений в покрытии излучения и создания условий для проведения измерений в технологическом потоке.

На чертеже представлена конструкция устройства, реализующего данный способ.

Устройство содержит источник 1 монохроматического излучения со встроенным измерителем мощности и расположенные последовательно по ходу излучения линзу 2, гибкий световод 3. и поляроид 4. По ходу рассеянного от покрытия 5 излучения последовательно расположены линза 6, поляроид

7, конический световод 8 и приемник 9 излучения, электрически связанный с блоком

10 обработки сигналов, который в свою очередь связан с измерителем мощности источника 1 излучения.

Оптическая система помещена в корпус

11, который имеет контактные ролики 12, окно 13. К корпусу 11 присоединен прижимной механизм — пружина 14.

Способ осуществляется при помощи устройства следующим образом.

Излучение от источника 1 линзой 2 вводится в гибкий световод 3, при выходе из которого линейно поляризуется поляроидом

4 и через окно 13 в корпусе 11 направляется на покрытие 5. Излучение, отраженное покрытием 5, собирается линзой 6 на входной торец конического световода 8. При этом поляроид 7 экранирует от попадания на приемник 9 ту часть излучения, которая отразилась от наружной поверхности покрытия

5, сохранив преобладающее направление поляризации. Другая часть отраженного излучения, обратнорассеянная слоем покрытия и деполяризованная, в основном проходит поляроид 7 и собирается световодом

8 на приемник 9. Пружина 14 обеспечивает контакт роликов 12 с покрытием 5, сохраняя неизменным расстояние от световода

8 до покрытия 5. Электрические сигналы с приемника 9 поступают в блок 10 обработки сигналов, который нормирует их на величину мощности излучения источника 1, В результате этого исключается влияние нестабильности источника 1 на точность измерения.

Пронормированные сигналы в блоке 10 сверяются с градуировочными зависимостями, по которым опр=деляется толщина покрытия.

1. Способ измерения толщины покрытия, заключающийся в том, что на покрытие направляют пучок монохроматического излучения, измеряют интенсивность рассеянного излучения и по градуировочным зависимостям определяют толщину покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, пучок излучения линейно поляризуют и направляют на покрытие нормально к его поверхности, экранируют излучение, отраженное поверхностью покрытия, а измерение интенсивности излучения, рассеянного слоем покрытия, осуществляют в направлении, обратном направлению падающего пучка.

2. Устройство для измерения толщины покрытия, содержащее источник монохроматического излучения и расположенную по ходу излучения оптическую систему, включающую приемник излучения и блок обработки сигналов, электрически связанный с приемником, отличающееся тем, что оно снабжено гибким световодом, расположенным по ходу излучения за источником, и двумя поляроидами, од4н из которых установлен на выходе гибкого световода, другой — перед приемником излучения, а оптическая система содержит конический световод, прикрепленный и приемнику излучения.

3. Устройство по п. 2, отличающееся тем, что, с целью обеспечения возможности измерения толщины покрытия в технологическом потоке, оптическая система заключена в корпус с окном и роликами, предназначенными для контакта объектом.

Способ измерения толщины покрытия и устройство для его осуществления Способ измерения толщины покрытия и устройство для его осуществления 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике, к техническим средствам экспресс-контроля количества пролитой нефти, используемым с борта судна, на буйках и с эстакады, и является усовершенствованием известного устройства по авторскому свидетельству № 1010523

Изобретение относится к измерительной технике

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины кристаллических пластин интерференционнополяризационного фильтра в процессе доводки

Изобретение относится к измерительной технике и является дополнительным к авт

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения распределения толщины пленок в интегральной оптике

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения толщины окисных пленок

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении линейных размеров протяженных объектов, в частности для бесконтактного оптического контроля геометрической толщины таких оптических деталей, как линзы со сферическими и асферическими поверхностями, плоскопараллельные пластины, светофильтры волоконно-оптические щайбы

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости
Наверх