Устройство для перемещения полупроводниковых пластин

 

Изобретение относится к области радиотехники. Устройство для перемещения полупроводниковых пластин (ПИП) содержит корпус 1 с направлянлцими прямоугольными отверстиями, в которых расположены Г-образные губки 2, 3, именщие на рабочей части У-образные ориентирующие канавки для размещения в них ППП 14. Г-образная губка 2 поджата пружиной 9, усилие которой через зубчатую пару воспринимает зластич- -ньш упор 10 на крышке 11 корпуса 1. Г-образная губка 3 связана с мембраной 12, образуклдей с крышкой 11 полость для подачи сжатого воздуха через штуцер 13. Устройство имеет простую конструкцию и расширенные эксплуатационные возможности. 1 з.п. ф-лы, 3 ил. /4 (Л фие.1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1 (19) (11) (51) 4 Н 05 К 13 02

KF.< : ц.) .Й4%

„l3,. l3

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

8п98 Х

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4039151/24-.21 (22) 17.01.86 (46) 15.11.87. Бюл. 9 42 (72) В.П. Ращинский, Н.Г. Федорин, Л.В. Лобиков, Г.И. Березников и С.П. Масленников (53) 621.396(088.8) (56) Патент США Ф 4465416, кл. 414/217, 14.08.84. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН (57) Изобретение относится к области радиотехники. Устройство для перемещения полупроводниковых пластин (ППП) содержит корпус 1 с направляющими прямоугольными отверстиями, в который расположены Г-образные губки 2, 3, имеющие на рабочей части У-образные ориентирующие канавки для размещения в них ППП 14. Г-образная губка 2 поджата пружиной 9, усилие которой через зубчатую пару воспринимает эластич-ный упор 10 на крьппке 11 корпуса 1.

Г-образная губка 3 связана с мембраной 12, образующей с крышкой 11 полость для подачи сжатого воздуха через штуцер 13. Устройство имеет простую конструкцию и расширенные эксплуатационные возможности. 1 s.n. ф-лы, 3 ил.

1 13526

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано для бездефектной перекладки полупроводниковых пластин с помощью манипулятора.

Цель изобретения — расширение эксплуатационных возможностей и упрощение конструкции.

На фиг. 1 показано устройство, общий вид; на фиг. 2 — то же, вид сверху; на фиг. 3 — сечение А-А на фиг. 1.

Устройство содержит корпус 1 с направляющими прямоугольными отверстия-. ми, в которых размещены подвижные

Г-образные губки 2, З,имеющие на рабочей части, выполненной из фторопласта, V-образные канавки 4. Губки 2 и 3 снабжены рейками 5 и 6, расположенными на направляющей частк гу- 2р бок, и связаны между собой зубчатым колесом 7, установленным на оси 8.

Губка поджата пружиной 9, усилие которой через зубчатую пару воспринимает эластичный упор 10 на крышке 11 25 корпуса 1. Губка 3 связана с мембраной 12, образующей с крышкой 11 корпуса 1 полость для подачи сжатого воздуха через штуцер 13. Пластина 14 опирается на V-образные канавки 4„ выполненные в нижней части поддержи.вающего элемента 15, закрепленного на корпусе 1.

Устройство работает следующим образом.

Устройство должно быть установлено на манипулятор. В устройство подается сжатый воздух через штуцер

13, подвижные губки 2 и 3 раздвигаются, преодолевая усилие пружины 9.

Устройство опускается, поддерживающий элемент 15 вводится в кассету таким образом, чтобы пластина 14 оказалась над Ч-образной канавкой поддерживающего элемента 15. Устройство с 5 поднимается, пластика 14, опирающаяся на дно канавки 4 губки 15, выводится из кассеты до уровня, когда

75 2 нижний край губок 2 и 3 оказется над поверхностью кассеты.

Сжатый воздух удаляется из устройства через штуцер 13, губки 2 и 3 сближаются, охватывая пластину V-образными канавками 4. Между пластиной

14 и губками 2 и 3 остается гарантированный зазор, так как ход губок 2 и 3 под воздействием пружины 9 ограничивается эластичным упором 10. Устройство поднимается, пластина 14 перемещается в лодочку и укладывается в гнезда в порядке, обратном описанному. формула изобретения

1. Устройство для перемещения полупроводниковых пластин, содержащее корпус, подвижно установленные в нем губки для захвата пластин, причем губки выполнены с зубчатыми рейками на направляющих частях и кинематически связаны между собой зубчатым колесом, и приводной механизм, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, оно снабжено подцерживающим элементом, размещенным между губками и неподвижно закрепленным на корпусе, причем губки. выполнены Г-образными, а на рабочих поверхностях губок и поддерживающего элемента выполнены

V-образные ориентирующие канавки.

2. Устройство по п.1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения конструкции, приводной механизм выполнен пневматическим, с мембраной, возвратной пружиной и эластичным упором, причем возвратная пружина соединена с одной из губок, эластичный упор установлен с возможностью взаимодействия с другой губкой, а мембрана размещена в корпусе между эластичным упором и второй губкой.

Составитель М. Чубуров

Редактор Н. Горват Техред Л.Сердюкова Корректор А. Тяско

Заказ 5579/58 Тирах 799 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ухгород, ул. Проектная, 4