Герметичный ввод в вакуумную камеру

 

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано в электрических системах проводки вакуумных камер. Цель изобретения - повышение надежности . В корпусе установлены три изоляционных элемента, образующие две герметичные полости. Одна из них заполнена гелием, другая расположена со стороны вакуумной камеры и вакуумирована. Обе полости через штуцеры связаны с системой контроля и откачки. Устройство обеспечивает многоступенчатую герметизацию, контроль герметичности в процессе работы и поддержание определенного давления при помощи системы откачки. 1 ил. со сл 00

СОЮЗ СОВЕтСНИХ .

СОЦИАЛ ИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (58 4 Н 01 В 17 26

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3881297/24-07 (22) 11.04.85 (46) 07.12.87. Бюл. № 45 (72) P. Л, Портной (53) 621.315 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 455378, кл. Н 01 В 17/26, 1971. (54) ГЕРМЕТИЧНЫЙ ВВОД В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУ (57) Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано в электрических системах проводки вакуумных

„,Я0„„1358006 А 1 камер. Цель изобретения — повышение надежности. В корпусе установлены три изоляционных элемента, образующие две герметичные полости. Одна из них заполнена гелием, другая расположена со стороны вакуумной камеры и вакуумирована. Обе полости через штуцеры связаны с системой контроля и откачки. Устройство обеспечивает многоступенчатую гЕрметизацию, контроль герметичности в процессе работы и поддержание определенного давления при помощи системы откачки. 1 ил.

С::

CQ

Сд

CO

С0

1358006

Формула изобретения

Составитель Ю. Кротов

Редактор Л. Лангазо Техред И. Верес Корректор Л. Патай

Заказ 5507/52 Тираж 697 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г . Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к электротехнике, а именно к герметичным вводам проводников в вакуумные камеры.

Цель изобретения — повышение надежности герметичного ввода. 5

На чертеже представлено предлагаемое устройство, общий вид.

Герметичный ввод в вакуумную камеру содержит корпус 1, герметично смонтированный на вакуумной камере 2, в котором герметично установлены три изоляционных элемента 3, 4 и 5, образующие полости

А и Б. Полость А при помощи штуцера 6 через вентиль 7 соединен с подпитывающей системой гелия (не показана), а при помощи штуцера 8 через вентиль 9 — 15 с системой дренажа гелия. Полость Б при помощи штуцер а 10 через перекр ывное устройство 11 соединена с системой откачки вакуумной камеры 2 (не показана), а при помощи штуцеров 12 и 13 через вентили 14 и 15 — с течеискателем и прибором контроля давления (не показаны) .

Изоляторы выполнены из керамики (например, А Оз) и герметично соединены с проводником 16 и корпусом 1, например, при помощи пайки серебряным припоем.

Герметичный ввод работает следующим образом.

При помощи системы откачки вакуумируют вакуумную камеру 2 до заданного давления.

Открывая перекрывное устройство 11, 30 соединяют полость Б с системой откачки вакуумной камеры (например, с форвакуумным насосом), вакуумируют ее до заданного давления (например, 1 Па), после чего перекрывное устройство 11 закрывают.

Открывая вентиль 15, производят контроль 35 давления в полости Б.

Открывая вентили 7 и 9, соединяют полость А с подпитывающим устройством и системой дренажа и продувают полость А гелием, после чего вентили 7 и 9 закрывают. В полости А при этом создается атмосферное давление гелия.

Открывая вентиль 15, соединяют полость Б с прибором контроля давления и по повышению давления в полости проверяют ее герметичность.

Открывая вентиль 14, соединяют полость

Б с течеискателем и контролируют ее герметичность по отсутствию в ней гелия, который может проникнуть в полость при негерметичности изоляционного элемента 4.

На этом подготовку устройства к длительной работе заканчивают.

В процессе длительных вакуумных испытаний периодически производят откачку полости Б, открывая перекрывное устройство

11 и периодически проверяют ее герметичность при помощи течеискателя, открывая вентиль 14.

При очень длительных вакуумных испытаниях (месяцы, годы) производят периодическую подпитку полости А гелием, открывая вентиль 7.

Поскольку подпитка гелием, контроль давления и герметичности производят периодически, течеискатель, система подпитки и приборы контроля давления могут обслуживать несколько предлагаемых устройств.

Герметичный ввод в вакуумную камеру, содержащий корпус, два установленных в нем изоляционных элемента, охватывающих проводник и образующих полость, заполненную гелием и через штуцер связанную с системой контроля и откачки, отличаюи4ийся тем, что, с целью повышения надежности, между вакуумной камерой и одним из основных изоляционных элементов, установлен дополнительный изоляционный элемент с образованием дополнительной полости между ним и основным изоляционным элементом, при этом последняя вакуумирована и через дополнительные штуцеры связана с системой контроля и откачки.