Способ контроля диаметра микропроволоки

 

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для неразрушающего оптического бесконтактного контроля диаметра микропроволоки как в статике, так и в динамике. Цель изобретения - повьшение точности и упрощение процесса контроля. Устанавливают между источником 1 монохроматического параллельного потока света и выпуклой сферической дифракционной решеткой 2 параллельно ее штрихам контролируемую микропроволоку 4, направляют поток света на дифракционную решетку 2, регистрируют, отраженные от штрихов решетки 2 равноотстоящие лучи и по количеству затененных лучей судят о диаметре микропроволоки .4. 1 ил. Ф (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)4 G 01 В 11/10

-,1 МИ

% с

И

ЖЬЛ"-4, ""

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4087012/24-28 (22) 09.07.86 (46) 15. 12.87. Бюл. № 46 (71) Центральное проектно-конструкторское и технологическое бюро научного приборостроения АН УЗССР (72) И.И.Хаммадов (53) 53 1. 715,27(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 1026005, кл. С 01 В 11/10, 1981, Авторское свидетельство СССР

¹ 8598Ci7, кл. С 01 В 11/10, 1979. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ДИАМЕТРА МНКРОПРОВОЛОКИ (57) Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для

ÄÄSUÄÄ 1359667 А1 неразрушающего оптического бесконтактного контроля диаметра микропроволоки как в статике, так и в динамике.

Цель изобретения — повышение точности и упрощение процесса контроля.

Устанавливают между источником 1 монохроматического параллельного потока света и выпуклой сферической дифрак. ционной решеткой 2 параллельно ее штрихам контролируемую микропроволоку 4, направляют поток света на дифракционную решетку 2, регистрируют. отраженные от штрихов решетки 2 равноотстоящие лучи и по количеству затененных лучей судят о диаметре микропроволоки.4. 1 ил.

135966 формулаизобретения

Составитель Л.Лобзова

Техред М.Дидык Корректор M.Ìàêñèìèøèíåö

Редактор Э.Слиган

Заказ 6146/44 Тираж 677 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1t3035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул, Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для нвразрушающего оптического бесконтактного контроля диаметра микропро5 волоки из раэличнык непрозрачных материалов, используемых в изделиях. электронной техники, как в статике, так и в динамике.

Цель изобретения — повышение точ- fð ности и упрощение процесса контроля путем исключения погрешностей нестабильности источников, формированич и отсчета импульсов переднего и заднего фронтов, причем погрешность ав- 15 томатически задается условием выбора для микропроволоки соответствующей решетки.

На чертеже изображена принципиаль— ная схема устройства для осуществле- 20 ния способа контроля диаметра микропроволоки.

Устройство содержит источник 1 монохроматического параллельного потока света, например лазер, выпуклую 25 сферическую дифракционную решетку 2 и регистрирующий прибор 3.

Способ осуществляют следующим об,разом.

Направляют параллельный монохрома- 30 тический поток света от источника 1 на контролируемую микропроволоку 4, расположенную между источником 1 и выпуклой сферической дифракционной решеткой 2 параллельно ее штрихам.

Отраженный от решетки 2 поток формируется в виде равноотстоящих друг от друга лучей 5, которые направляют на регистрирующий прибор 3 в виде набора фотодатчиков, равноотстоящих друг от 40 друга на расстоянии, равном расстоянию между лучами. Затененный контролируемой микропроволокой 4 участок d потока света отображается на регистрирующем приборе 3.

Число штрихов дифракционной решетки 2 определяется заданной для контI

7 2 роля погрешностью. Например, при контроле микропроволоки диаметром.

100 мкм с заданной погрешностью «+ fX можно применить дифракционную решетку с периодом 1000 штрихов/мм. Радиус кривизны выпуклой сферической дифракционной решетки выбирается в зависимости от конструкции регистрирующего прибора 3 и расстояния между ним и решеткой 2, причем в контроле диаметра микропроволоки нет необходимости в определении радиуса кривизны и любых других геометрических параметров.

В случае, когда диаметр микропроволоки 100 мкм, а дифракционная решетка имеет 1000 штрихов/мм, участок будет содержать 100 затененных лучей, равноотстоящих друг от друга.с ценой деления 1 мкм. Отклонение на 1 мкм диаметра микропроволоки в ту или иную сторону даст участок затенения в 101 деление (в случае, когда проволока толще) или в 99 делений (когда проволока тоньше). Точность контроля составляет 1Х. Используя дифракционную решетку с другим числом штрихов на мм можно задать любую точность контроля.

Способ контроля диаметра микропроволоки, заключающийся в "roM что направляют световой поток на микропроволоку и судят о ее диаметре, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения процесса контроля, устанавливают на пути светового потока после микропроволоки выпуклую сферическую дифракционную решетку так, что ее штрихи параллельны микропроволоке, регистрируют отраженные от штрихов решетки лучи и по количеству затененных проволокой лучей судят о диаметре микропроволоки,