Устройство прецизионного позиционирования

 

Изобретение относится к точному приборостроению. Устройство прецизионного позиционирования содержит основание 1, упругий элемент 2 в виде резиновой втулки, направляющую 5, предметный стол 3, под которым на основании 1 равномерно по окружности установлены электромагниты (ЭМ) 7. При одинаковой силе тока во всех катушках ЭМ 7 предметный стол 3 перемещается вниз - вверх, а при различной наклоняется относительно горизонтальной оси. При различных комбинациях силы тока возможно перемещение предметного стола 3 одновременно вдоль вертикальной и горизонтальной осей. Изобретение расширяет эксплуатационные возможности устройства за счет увеличения диапазона позиционирования . 3 ил. с (Л оо о оо ел 4 4 (Ра2.1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТ 1ЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Фиг.1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

llO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4040921/24-21 ,(22) 24 .03.86 (46) 30.12.87. Бюл. ¹ 48 (71) Каунасский политехнический институт им. Антанаса Снечкуса (72) С.П.Зикас, А.В.Бусилас и К.M.Ðàãóëüñêèñ (53) 621.3.016.34(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 752559, кл. Н 01 L 41/00, 21.04.78.

Авторское свидетельство СССР № 783892, кл. Н 01 L 41/00, 25.12.78. (54) УСТРОЙСТВО ПРЕЦИЗИОННОГО ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ (57) Изобретение относится к точному приборостроению. Устройство прецизионного позиционирования содержит ос„„SU„, 1363544 А 1 (51)4 Н 05 К 3/00, С 12 В Г/00 нование 1, упругий элемент 2 в виде резиновой втулки, направляющую 5, предметный стол 3, под которым на основании 1 равномерно по окружности установлены электромагниты (ЭМ) 7.

При одинаковой силе тока во всех катушках ЭМ 7 предметный стол 3 перемещается вниз — вверх, а при различной наклоняется относительно горизонтальной оси. При различных комбинациях силы тока возможно перемещение предметного стола 3 одновременно вдоль вертикальной и горизонтальной осей. Изобретение расширяет эксплуатационные возможности устройства за счет увеличения диапазона позиционирования. 3 ил.

1 13635

Изобретение относится к точному приборостроению и может быть использовано в оптико-механических приборах, в технологическом оборудовании

/ 5 микроэлектроники для прецизионного перемещения изделий в сборочном оборудовании, в робототехнике и т.д.

Цель изобретения — расширение эксплуатационных возможностей устрой- 10 ства за счет увеличения диапазона позиционирования.

На фиг.1 и 2 изображено устройство, разрез; на фиг.3 — узел шарнирно- го соединения предметного стола с направляющей.

Устройство содержит основание 1, на котором посредством упругого элемента 2 в виде резиновой втулки закреплен предметный, стол 3, к которому 2О посредством шарнира 4 прикреплена направляющая 5, размещенная в отверстии 6 основания 1. Под предметным столом 3 на основании 1 установлены равномерно по окружности электромаг- 25 ниты 7..Шаровой шарнир 4 размещен в геометрическом центре. предметного стола 3 и соединен с направляющей 5 кольцом 8, а с предметным столом— разьбовым хвостовиком шарнира 4 и 30 контргайкой 9.

Устройство работает следующим образом.

При включении питания любого элекЗБ тромагнита 7 он создает магнитный поток, который замыкается через основание, направляющую 5, шарнир 4, предметный стол 3 и воздушный зазор, а также через основание 1, упругий эле- О мент 2, предметный стол 3 и воздушный зазор. При одинаковой силе тока во всех катушках электромагнитов 7 появляющиеся электромагнитные силы равномерно перемещают предметный стол 3 вниз вдоль вертикальной оси

44 2 до тех пор, пока электромагнитные силы уравновешиваются восстановительной силой деформированного упругого, элемента 2. Цилиндрическая направляющая 5 перемещается вдоль отверстия 6. При уменьшении силы тока в катушках электромагнитов 7 предметный стол 3 перемещается вверх под действием восстановительной силы деформированного упругого элемента 2 до тех пор, пока эта сила не уравновесится электромагнитными силами. При изменении силы тока в отдельных катушках электромагнитов 7 создается вращающий момент из-за разницы электромагнитных сил, действующих на отдельные точки предметного стола 3. При этом стол 3 наклоняется на соответствующий угол, а, упругий элемент 2 соответственно деформируется. При различных комбинациях силы тока в отдель- ° ных катушках электромагнитов 7 осуществляется наклон предметного стола вокруг любой оси, находящейся в горизонтальной плоскости, с одновременным позиционированием вдоль вертикальной оси.

Формула изобретения

Устройство прецизионного позиционирования, содержащее размещенный на основании предметный стол и привод

его перемещения, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей за счет увеличения диапазона позиционирования, предметный стол соединен с основанием посредством упругого элемента, а привод перемещения предметного стола выполнен в,виде не менее трех электромагнитов, установленных на основании,под предметным столом равномерно по окружности относительно его геометрического центра.

1363544

Составитель Г.Падучин

Техред М.Ходанич Корректор С.Шекмар

Редактор Н.Киштулинец

Заказ 6385/57

Тираж 799 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r Ужгород, ул. Проектная, 4