Способ изготовления сурьмянокалиево-натриевого фотокатода

 

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано, например, в аппаратуре для каротажа нефтяных и газовых скважин. Способ изготовления сурьмянокалиевонатриевого фотокатода (Ф) включает следующие операции: обезгаживание подложки для нанесения Ф при постепенном повышении температуры от 150 до 380°С и не менее 2 ч при 380°С, прогрев подложки в парах цезия до появления слоя со световой чувствительностью (СЧ) 0,2 мкА/лм, введение паров калия (К) до получения слоя со СЧ 1,15 мкА/лм, стабилизацию чувствительности Ф поочередным испарением сурьмы (С) и К, обработку Ф натрием при 235°С до получения максимальной чувствительности в синей области спектра, стабилизацию чувствительности поочередным испарением С и К и нагрев до температуры 240°С для достижения максимальной чувствительности Ф. Способ позволяет повысить термостойкость и долговечность Ф. 2 з.п. ф-лы, 2 табл.

Изобретение относится к электронной технике, в частности к способу изготовления термостойкого фотокатода для фотоэлектронного прибора (ФЭП), предназначенного для использования, например, в аппаратуре для каротажа нефтяных и газовых скважин. Целью изобретения является повышение термостойкости фотоэлектронного прибора до 230^оС и увеличение его долговечности при 200^оС. По предложенному способу изготовлены фотоэлектронные умножители с термостойким фотокатодом. Прибор, содержащий подложку для нанесения фотокатода, откачивался до давления ≈10^-5 Па, обезгаживался при постепенном повышении температуры от 150^оС до 380^оС и давлении не более ≈10^-4 Па. Обезгаживание при 380^оС проводилось в течение 2 ч. После остывания прибора обезгаживались источники калия, натрия и цезия. Затем температура прибора повышалась до 190^оС. Далее в прибор вводились пары цезия до появления на подложке фотокатода слоя со световой чувствительностью 0,2 мкА/лм. При 190^оС вводились пары калия до получения на подложке слоя со световой чувствительностью 1,15 мкА/лм. Дальнейшее формирование фотокатода проводилось по известному способу. На слой, полученный на подложке, испарялась сурьма до получения максимальной чувствительности. Поочередным испарением сурьмы и калия достигалась стабильная чувствительность фотокатода. Затем температура прибора повышалась до 235^оС и проводилась обработка фотокатода натрием до получения максимальной чувствительности в синей области спектра. Поочередным введением сурьмы и калия получали стабильную чувствительность фотокатода. После охлаждения прибор прогревался при 240^оС до достижения максимальной чувствительности фотокатода. Если при охлаждении прибора чувствительность фотокатода падала на 20-30% то после его прогрева при 240^оС проводилась доработка его сурьмой и калием с контролем по максимальной чувствительности. Были также изготовлены фотоэлектронные умножители, в которых после повышения температуры прибора до 190^оС подложка прогревалась одновременно в парах цезия и калия до получения на ней слоя со световой чувствительностью 1,15 мкА/лм. Далее процесс формирования фотокатода проводился по описанной технологии. Полученные согласно изобретению экспериментальные данные, подтверждающие повышение термостойкости ФЭП при 230^оС даны в табл. 1, а увеличение их долговечности при 200^оС, в табл. 2. Обработка подложки фотокатода в парах цезия со световой чувствительностью менее 0,1 мкА/лм приводит к снижению термостойкости ФЭП из-за недостаточного количества цезия в приборе. Рост световой чувствительности больше 0,3 мкА/лм свидетельствует об излишке цезия, что также приводит к снижению термостойкости. Получение при прогреве в парах цезия и калия на подложке фотокатода слоя со световой чувствительностью менее 0,8 мкА/лм свидетельствует о недостаточном количестве калия в приборе, что приводит также к снижению его термостойкости.

Формула изобретения

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СУРЬМЯНОКАЛИЕВО-НАТРИЕВОГО ФОТОКАТОДА, включающий прогрев подложки в парах щелочных металлов и поочередное напыление на горячую подложку слоев сурьмы, натрия и калия с последующим прогревом при 200 - 280^oС, отличающийся тем, что, с целью повышения термостойкости до 230^oС и долговечности при 200^oС, прогрев подложки в парах щелочных металлов ведут при 180 200^oС до получения на подложке слоя со световой чувствительностью не менее 0,8 мкА/лм, при этом в качестве щелочных металлов используют калий и цезий. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что прогрев подложки ведут сначала в парах цезия до получения слоя со световой чувствительностью 0,1 0,3 мкА/лм, а затем в парах калия. 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что прогрев подложки ведут одновременно в парах калия и цезия.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2

MM4A - Досрочное прекращение действия патента СССР или патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе

Дата прекращения действия патента: 05.10.2003

Извещение опубликовано: 10.07.2008        БИ: 19/2008

---