Интерферометр для контроля качества поверхностей вращения второго порядка

 

Кл асс 42h, 34, Qo f 4ggf g

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа Ло 170

Д. T. Пуряев и Л. М. Кривовяз

ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТЕЙ

ВРАЩЕНИЯ ВТОРОГО ПОРЯДКА

Заявлено 27 декабря 1961 г. за X 757458/26-10 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» Ко 17 за 1962 r.

Известные устройства для контроля качества сферических поверхностей содержащие интврферометр, в одном из плеч которого установлена эталонная сферическая поверхность с центром кривизны, совмещенным с задним фокусом объектива, а в другом — контролируемая поверхность, центр кривизны которой совмещен с задним фокусом обьектива, идентичного объективу, стоящему в первом плече, не позволяют контролировать качество сферических поверхностей в широком диапазоне, например поверхностей одного вида с разными параметрами (эллиптические) .

В предлагаемом интерферометре для расширения диапазона конгролируемых поверхностей применено автоколлимационное зеркало. центр кривизны которого совмещен с фокусом контролируемой поверхности.

На чертеже показана оптическая схема интерферометра.

Источник 1 света через светофильтр 2 проектируется конденсором 8 в плоскость диафрагмы 4, установленной в фокусе коллиматорного объектива 5. Параллельный пучок света, выходящий из коллиматорного объектива, разделяется кубиком б на два пучка, один из которых, падая на объектив 7, образует в его заднем фокусе S изображение диафрагмы 4. Центр Oi кривизны эталонного зеркала 8 совмещен с задним фокусом объектива. Лучи света, падая нормально к поверхносги эталонного зеркала 8, отражаются от него и повторяют свой путь в обратном направлении.

Другая часть пучка, отраженная от полупрозрачной диагональной плоскости кубика б, и",дает на объектив 9. Объективы 7 и 9 одинаковы или отличаются по толщине возможно меньше, для того чтобы уравнять путь ",ó:÷åé в обоих ветвях интерферометра.

М 149910

Изображение диафрагмы 4 образуется в фокусе Sq объектива 9, который совмещен с одним из фокусов Fi контролируемой поверхности 11. С другим фокусом Р поверхности совмещен центр кривизны О автоколлимационного зеркала 10. Лучи света, идущие из фокуса,Sq объектива 9, отражаясь от контролируемой поверхности 11, падают нормально к поверхности автоколлимационного зеркала 10 и после отражения от него повторяют свой путь в обратном направлении. 0ба пучка встречаются на разделительной грани кубика б и интерферируют между собой. По возникающей интерферекциопной картине делают заключение о качестве контролируемой поверхности.

Путь лучей в воздухе в обеих ветвях интерферометра уравнивается путем перемещения объектива 7 совместно с эталонным зеркалом 8 (эталонный блок), при этом несколько нарушается условие яркости интерференционной картины и выдерживается условие контрастности. Чтобы одновременно выдерживать условия яркости и контрастности, необходимо, чтобы радиус эталонного зеркала 8 был равен длине хода луча от фокуса обектива 9 до поверхности автоколлимационного зеркала 10.

Автоколлимационное зеркало совместно с контролируемой поверхностью 11 составляет контрольный блок, который является сменным при контроле разных поверхностей. Вместо контрольного блока можно установить сферическую поверхность так, чтобы центр кривизны ее совпадал с задним фокусом объектива 9, в этом случае достигается взаимный контроль двух сферических поверхностей, одна из которых — эталонное зеркало 8.

В принципе на данном интерферометре можно контролировать и выпуклые сферические поверхности, радиус которых не превышает вершинное фокусное расстояние объектива 9.

Интерферомегр может работать и в абсолютной схеме контроля. В этом случае вместо эталонного блока устанавливается перпендикулярно параллельному пучку лучей плоское зеркало. При этом источник света должен быть достаточно монохроматичным.

С помощью настоящего интерферометра возможен контроль пе только различных видов поверхностей вращения (сферических, параболических, эллиптических и гиперболических), но и поверхностей одного вида, например гиперболических, с разными параметрами. Для этого в интерферометре меняется только контрольный блок, который в конструкции интерферометра предусмотрен сменным, а эталонный блок остается тем же самым.

При контроле сферических поверхностей можно при помощи одной эталонной сферической поверхности контролировать сферические поверхности с очень большим диапазоном радиусов, уравнивая при этом оптические пути лучей перемещением эталонного блока.

Предмет изобретения

Интерферометр для контроля качества поверхностей вращения второго порядка, в одном из плеч которого установлено эталонное сферическое зеркало с центром кривизны, совмещенным с задним фокусом объектива, а в другом контролируемая поверхность, один из фокусов которой совмещен с задним фокусом объектива, идентичного объективу, стоящему в первом плече, отличающийся тем, что, с целью увеличения диапазона контролируемых поверхностей, в нем примеыено автоколлимационное зеркало, центр кривизны которого совмещен с фокусом контролируемой поверхности. № 149910

Составитель описания Н. М. Халеикий

Редактор Л. Н. Гольцов Текред А. А. Камышникова Корректор T A. Медведева

Поди к печ. 10.1Х-62 г. Формат бум. 70Х 108 !и Объем 0,26 изд, л.

Зак. 9481 Тираж 650 Цена 4 коп

ЦБТИ Комитета по делам изобретений н открытий при Совете Министров СССР

Москва Центр, М. Черкасский пер., д. 2/6.

Типография ЦБТИ, Москва, Петровка, 14