Интерференционный способ измерения толщины тонких прозрачных пленок
Класс 42Ь, 12вв № 145756
СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Пог/пнгная группа Л0 1б4
В. Ф. Швец
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫИ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ
ТОНКИХ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК
Заявлено 4 апреля 1961 г. за ¹ 724856/26 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Опубликовано в «Бк ллетене изобретений» № 6 за 1962 г.
Известные интерференционные способы измерения толщины тонких прозрачных пленок с известным показателем преломления на интерференционном оптическом приборе, основанные на использовании поляризованного света путем сравнения измеряемой пленки с эталоном по цвету сложны и не обеспечивают высокой точности измерения.
В предлагаемом способе эти недостатки устранены тем, что для измерения используют отраженный свет от передней и задней (внутренней) поверхности пленки.
На фиг. 1 изображено сечение исследуемой пленки; на фиг. 2— схематическое изображение систем интерференционных полос, ооразованных белым светом.
В наблюдаемой интерференционной картине, образованной белым светом, падающим нормально к поверхности пленки и отраженным от наружной 1 и внутренней 2 ее поверхностей, измеряют расстояние между двумя парами ахроматических полос и между соседними полосами.
С этой целью измеряемую пленку устанавливают вместо одного из зеркал интерферометра.
i. (2ьй
Толщина пленки: d = — (К где л — длина волны света;
4„ h
n - показатель преломления материала пленки; Л6 — расстояние между двумя парами ахроматических полос; h — расстояние между соседними полосами.
Предлагаемый способ позволяет производить измерения c2мых licпрочны.; пленок, так как он является бесконтактным. Для осуществления описанного способа может быть использован, например м .кроинтерферометр МИИ-4, выпускаемый отечественной промышленность|о.
Ло 145756
lIpсдмет изобретения
Интерференционный способ измерения толщины тонких прозрачных пленок с известным показателем преломления на интерференционном оптическом приборе, отличающийся тем, что, с целью упрощения определения толщины пленки, в наблюдаемой интерференционной картине, образованной белым светом, падающим нормально к поверхности пленки и отраженным от наружной и внутренней ее поверхностей, измеряют расстояние между двумя парами ахроматических полос и между соседними полосами. — 1
<Риа. 1
xporramu vecкие по,ассы
Фиг 2
Рс:iëê.ор Н. С. Кутафина 1 етре.i A. А. Камышиикова Корректор В Андрианов
1Ч,, > Формат ми,, ОХ 108, JQ Г)бием 0,1К il зд.
Тираж 7ЗО Ilcíà 1 к, и
1(Б (И Комитета по делам изобретений H открытий ilpH Совете Министров СССР
Москва, Центр, М. Черкасский пер., д. 2, 6
Типография ЦВЕТИ, Москва, Петровка, 14.
