Интерференционный способ измерения толщины пленок

 

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для измерения толщины пленок и слоев. Цель изобретения - повышение точности и диапазона измерений достигается использованием рассеянного когерентного света для облучения измеряемой пленки. Измеряемую пленку облучают когерентным рассеянным светом. Перемещая интерференционную головку микроинтерферометра в направлении , перпендикулярном поверхности пленки, определяют расстояние между системами интерференционных полос, возникающих при интерференции падающего света и отраженного от наружной и внутренней поверхностей нленки, а толщину пленки d определяют tio формуле d n-h, где п - показатель преломления пленки; h - расстояние между систе.мами интерференционных полос.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (50 4 G 01 В 11/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (2! ) 4123773/25-28 (22) 16.06.86 (46) 07.06.88. Бюл. ¹ 2! (71) Черновицкий государственный университет (72) В. П. Пашкуденко, М. П. Бандура и М. Т. Стринадко (53) 531.717.11 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 145756, кл. G 01 В 11/06, 1962. (54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ

ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК (57) Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для измерения толщины пленок и слоев. Цель изобретения — повышение точ„„SU„„1401266 А 1 ности и диапазона измерений достигается использованием рассеянного когереHTHol света для облучения измеряемой пленки. Измеряемую пленку облучают когерентным рассеянным светом. Перемещая интерференционную головку микроинтерферометра в направлении, перпендикулярном поверхности пленки, определяют расстояние между системами интерференционных полос, возникающих при интерференции падающего света и отраженного от наружной и внутренней поверхностей пленки, а толщину пленки d определяют по формуле d = и h, где n — показатель преломления пленки; h — расстояние между систем ам и и нтерферен пи он и ы х полос.

1401266

Формула изобретения

Составитель Б. Тимофеева

Редактор О. Головач Техред И. Верес Корректор А. Зимокосов

Заказ 2532/38 Тираж 680 Г! одни си ое

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий !! 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектвая, 4

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины пленок.

Цель изобретения — повышение точности и расширение диапазона измерений путем использования рассеянного когерентного света для облучения измеряемой пленки.

Способ осуществляется следующим образом.

Измеряемую пленку облучают когерентным рассеяным светом перпендикулярно ее поверхности, с помощью микроинтерферометра регистрируют интерференционную картину, образованную светом, падающим перпендикулярно поверхности пленки и отражен-!5 ным от ее наружной и внутренней поверхностей по перемещению интерференционной головки микроинтерферометра в направлении, перпендикулярном поверхности пленки, определяют расстояние между системами интерференционных полос, а толщину пленки d определяют по формуле d = и- h, где и— показатель преломления пленки; h — расстояние между системами интерференционных полос.

Предлагаемый способ позволяет сущест- 25 венно расширить диапазон и повысить точность измерений вследствие использования когерентного излучения с известной длиной волны, а также расширить класс исследуемых материалов пленок путем использования излучения с длиной волны, соответствующей обл асти п розр а ч ности м атер и ал а пленок.

Интерференционный способ измерения толщины пленок с известным показателем и преломления, заключающийся в том, что измеряемую пленку облучают когерентным светом перпендикулярно ее поверхности, регистрируют с помощью микроинтерферометра интерференционную картину, образованную светом, нада ющим перпендикулярно поверхности пленки и отраженным от ее наружной и внутренней поверхности, и измеряют расстояние h,между системами интерференционных полос, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и расширения диапазона измерения, для облучения пленки используют рассеянный свет, расстояние между системами интерференционных полос определяют по перемещению интерференционной головки микроинтерферометра в направлении, перпендикулярном поверхности пленки, а толщину d пленки определяют по формуле d = и.h.