Растровый фотоэлектрический преобразователь перемещений

 

Изобретеиие относится к измерительной технике. Целью изобретения является повышение точности. При нере.мещеиии иодвижного кориуса 3 относительно измерительного растра 2 индикаторным растром 5 модулируется световой ноток, нро.ходящий через растровое сопряжение и возникают э. ектрические сигналы, которые регистрируются отfs7 счетной частью 8. Для KOMiieiicaiLHii погреп,:- ностей измерительного растра доно. пштсльно неремеиинот каретку -i иидпкаторнсмч) растра относительно подвижного корпуса 3. Это перемещение осу иести.тяют от коррекцнониой линейки 4 через передаточный ibi- чаг 12. Подвеска каретки инднкаторион) растра вгзпюлнеиа в виде П-образного крон- .штейна с упруги.ми стоиками 6 и 7, к средним частям которы.х прикреплен приводной элемент каретки, вынолне1И1ЫЙ в 1;иде х пру- 1 ой нити 9. Передаточный f)bi4ar взаимодеГ)- ствует с нерекладиной 8 Г1-образиого кроннтейна. Теремешения перекла.дииы передаются приводному э. тементу через упругие стойки с масштабным умеиьи1е1И1ем. Поэтому коррекцио П1ая .шнейка м. б. выполнена в больн1ем масштабе, ч го позволяет уме)1ьшить влияние ее п.огреииюстей. Снижается также влияние погрешностей нере.1аточно1 о рычага. Выполнение приводного элеме1гга в виде упругой нити обеспечивает прижим каретки к из.мерительному растру даже в случае поворота сечений упругих стоек. 1 пл. // //J У/////// tf СО СП vj 05 00 О

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„30„„1357680 А1 (gt) 4 G 0! В 5, 02, 11 02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

163CF .- г: T q

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

13, Н АBTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ВА1 1 >.. счетной частью !8. !ля комис! «3цин по;рсп:— ностег! из)1,".plfTeльно! 0 l)3«траl де>по.тнит«11НО lit= РЕМ ЕЦ(ЕI!ОТ Кы РЕ ТК Il i! Tif IicfT() j> !If)I (> ра«Тра OTIIOCIITe;!ьно НО ТВИЖИ010 корпх Сы 3.

Это перемещсш>с o«i.ktecòitляк)г От ке>ррсг.— ционно!1 лине>!ки 4 через нсрсдг)те> пп!й рычаг 12. Пг>двескы !еа ретин и иди кат(>рне>гг> растра Ныне)«!Иена в виде 11-обрызнгн.о кронIiIтсй на с уг>р I If:> If стойкам и (> lt 7, к c pe .1нихl част51)! I)Topblx !1рик!>ellлсll Ill)If!30:ifloii элемент каретки, вг,!н<>лнспны>1! Ii ниде lip)гой н!Вги 9. Пспедаточный рычаг Вt;f«iioteit« >Вх eТ C I,Cpetel3;lit IIOii 8 П-001>азнОго кронштейна. Перемещения персклыдlfllû переда- ® к>тся приводному элемснтх !срез упругие р р стойки с мы«штабным умсншпснием. 11оэто- %Ф >г му коррекцисшная,п!Нейкы м. б. Выпол!Ецна ( в больп!см»3«I!IT It>c, и го 1!озволяет умсньВлпяние еf. Itol реп>но«тей. (Нггжастся также влияние п<>грег!>посте!! Иерсдаточ!>ого рычага. Выполнение приводног0 элемент;1 В

Виде мllp>, I ой нити Ооеси! !НВаст Iij)llжп. кареткlf к измерительному растру деlже В «лучас поворота сечении упругих стоек. Ifл. (21) 349468 j/25-28 (22) 27.09.82 (46) 07. 2.87. Бюл. № 45 (71) Вильнюсский филиал Эксперих!снтального научно-исследовательского института металлоре>ку!цих станков (72) А. Б. Щукис, Б. П. Бекерис и А. Ю. Каспарайтис (53) 531.717 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № !О!9211, кл. G О! В 5, 02, 198!.

Fet tigiInf>. ФРГ, 1974, ¹ 1, s. 24. (54) РАСТРОВЫЙ ФОТОЗЛЕКТРИЧЕСКИИ HPЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ПЕРЕМЕЩЕНИИ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является повышение точности. При перемещении подвижного корпуса 3 относительно измерительного растра 2 индикаторным растром 5 модулируется световой поток, проходящий через растровое сопряжение и возникают электрические сигналы, которые регистрируются от/1Ô j /,7

1357680

Форлула изобретения

Составитель В. Романов

Редактор Г. Гербер Техред И. Верес Корректор И. )рдсйи

3))каз 5496)36 Тираж 677 Подписное

ВИИИПИ Государственного комитеты СССР по делам изобретений и огкрытий

113035, Москвы,,?1(— 35, Рыугиская наб., д. 415

11р<>и )водств<. Illlo-и<>ли) р<игн) <сеl i)

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к средствам измерения перемещений на основе шкал с периодической структурой.

Целью изобретение является повышение точности измерений за счет лучшего исполнения коррекциогшых перемещений.

На чертеже схематически изображен

pdcTp0BbIH фотоэлектрический преобразователь.

Растровый фотоэлектрический преобра!

О зователь перемещений содержит основание 1 с неподвижным измерительным растром 2.

Вдоль растра может перемещаться подви?кный корпус 3 с кареткой 4 индикаторного растра 5. Упругая подвеска этой каретки выполнена в виде П-образного кронштейна с упругими стойками 6 и 7 и перекладиной 8.

Приводной элемент каретки выполнен в виде упругой нити 9, которая средней своей частью скреплена с кареткой индикаторного растра, а концами — со средними частями

20 упругих стоек через промежуточные утольники 10 и 11. С <ерекладиной П-образного кронштейна взаимодействует передаточный рычаг 12, который шарнирно связан с подвижным корпусом и несет на себе ролик 13, 25 взаимодействук?щий с коррекционной линейкой 14. 1(аретка индикаторного растра несет на себе также осветитель 15 и фотоприемники 16 и 17, которые соединены с отсчетной частью 18 преобразователя.

Растровый фотоэлектрический преобразователь перемегцений работает следующим образом.

При перемещении подвижного корпуса 3 с кареткой 4 вдоль измерительного растра 2 индикаторным Растром 5 модулпруется световой поток, поступа)огций от осветителя 15 на фотоприсмники !6 и 17. Периодическое изменение светового потока отмечается отсчетной частью, которая позволяет определить величину перемещения в целых и дробных частях шага растрового сопряжения. 40

Если измерительный растр 2 выполнен с погрешностями, приводящими к искажению результата измерения, и эти искажения могут быть определены с помощью других, более точных средств, то систематическая 45 часть ошибки измерения может быть полностью или частично устранена с помощью корректирующих перемещений каретки 4 индикаторного растра. Для этого коррекционной линейке !4 придают соответствующий профиль. При перемещении корпуса коррек- 50 тирующие перемещения передаются рычагом 12 на перекладину 8 П-образного кронштейна с уменьшением, определяемым соотношением плеч передаточного рычага 12.

Эти корректируюгцие переме1цения уменьшаются еще более упругим делителем перемещений, образованным упругими стойками 6 и 7 П-образного кронштейна. Перемещения упругой нити 9 тем меньше, чем ближе промежуточные угольники размещены к месту крепления упругих стоек б и 7 с подвижным корпусом 3. Незначительные перекосы промежуточных угольников 10 и !1 компенсируются упругой нитью 9. Эта же нить позволяет IlpH?KBTb каретку индикаторного растра к измерительному растру и обеспечить ее самоустановку. Для прижатия каретки к измерительному растру могут быть предусмотрены дополнительные пружины 19.

Благодаря дополнительной редукции перемещений, выполняемой упругими стойками, можно увеличить масштаб выполнения коррекционной линейки и обеспечить более высоку1о точность. 1(роме того, уменыпается влияние погрешностей передаточного рычага, что повышает точность преобразователя в целом.

Выполнение приводного элемента в виде упругой нити, скреплегнгой двумя концами с упругими стойками, позволяет избежать возникновения дополнительных погрешностей, вызванных поворотом средней части упругих стоек.

Растровый фотоэлектрический преобразователь перемещений, содержащий основание с закрепленным на нем измерительным растром, подвижный корпус с кареткой индикаторного растра, упругую подвеску этой каретки с приводным элементом, а также механизм коррекции с коррекционной линейкой и передаточным рычагом, отличающийся тем, ITo, с целью повышения точности, упругая подвеска каретки индикаторного растра выполнена в виде П-образного кронштейна с упругими стойками, концы которых скреплены с подвижным корпусом, приводной элемент каретки индикаторного растра выполнен в виде упругой нити и скреплен своими концами со средними частями упругих стоек, каретка индикаторного растра скреплена со средней частью плоской пру?кипы, а передаточный рычаг механизма коррекции взаимодействует с перекладиной П-образного кронштейна.

Растровый фотоэлектрический преобразователь перемещений Растровый фотоэлектрический преобразователь перемещений 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при замерах элементов горных выработок

Изобретение относится к измерительной технике

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для измерения толщины компенсатора, используемого при сборке изделий из деталей с глубокими отверстиями с труднодоступными поверхностями

Изобретение относится к технике линейных измерений, а .именно к преобразователям линейного перемещения в угловое

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в машиностроении при измерении наружных и внутренних линейных размеров

Изобретение относится к технике измерения линейных размеров на автоматизированных средствах измерения

Изобретение относится к машиностроению

Изобретение относится к техническим измерениям

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля размеров и формы глубоких отверстий малого диаметра, тонких нитей, шариков малого диаметра

Изобретение относится к измерительной технике

Изобретение относится к и.5мерительной технике , в частности к способам измерения ширины линий рисунка на объектах, содержащих прозрачныг ,и непрозрачные зоны, например на фотошгбгюнзх для литографии

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения линейных размеров объектов, в частности диаметров до нескольких десятков метров

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных размеров объектов

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения размеров и рельефа микрообъектов

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для использования в автоматических роторно-конвейерных линиях

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения.физических величин в измерительно-информационных и управляюп х комплексах

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к контролю формы объектов и рисунка на ни У-стройство позволяет повысить точность измерения фотошаблонов и полупроводниковых плат с различным качеством рисунков за счет изменения угла падения зондирующего пучка
Наверх