Устройство для разламывания полупроводниковых пластин на кристаллы

 

СООЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН а9г «г> (5гг 4 В 26 F 3 00,13

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н A ВТОРСМОМЪ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

3ь

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ HOMHTET GCCP пО делАм изОБРетений и ОтнРытий (21) 4198813/25-27 (22) 25.62.87 (46) 15.09.88. Бюл. гг- 34 (72) В.Ф.Ерхов .и С.Ф.Курносов (53) 621.967 (088.8) (56) Патент США В 3587955, кл. В 26 Г 3/ОО, 222-103, 1971. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАЗЛАИЫВАНИЯ

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН НА КРИСТАПЛЫ .t (57) Изобретение относится к обработке металлов давлением- и может быть использовано в приборостроении при производстве интегральных схем. Цель — повышение коэффициента использования материала путем обеспечения качества разделения. Устройство содержит станину 1 и эластичный ролик 2, расположенный над столом 4, поджатым к ролику 2 при помощи регулируемой пружины. Стол 4 расположен консольно с возможностью поворота относительно станины 1 и поджат к ролику 2 острой кромкой свободного конца основания, причем острая кромка расположена под роликом 2 по линии, проходящей через центр ролика 2 перпендикулярно плоскости стола 4. При прокатывании проскрайбированной пластины 8 между роликом 2 и столом 4 в момент схода полупроводниковой пластины 8, заключенной в вакуумный пакет из эластичного материала, происходит раскалывание пластины эа счет перепада давления в зоне излома, в результате чего пластина разделяется на кристаллы. 2 ил.

1423378

Изобретение относится к обработ ке материалов давлением и может быть использовано в приборостроении при

Производстве интегральных схем.

Цель изобретения — повышение ко+ ффициента использования материала утем обеспечения качества разделеия.

На фиг.f изображено устройство для 10 азламывания на кристаллы полупроводиковых пластин; на фиг.2 — зона изома пластины.

Устройство для разламывания пласины состоит из станины 1, на которой 15 становлен эластичный ролик 2, враающийся на оси 3, и стола 4, распооженного консольно с воэможностью ачения на оси 5 относительно станиы 1 и поджатого к эластичному роли- 20 у 2 острой кромкой свободного конца снования, причем острая кромка расоложена под роликом 2 по линии, проодящей через центр эластичного роли.а 2 перпендикулярно плоскости осно- 25 ания. Основание стола 4 поджато к ластичному ролику 2 при помощи пружины 6, регулируемой винтом 7, На толе 4 установлена проскрайбированая полупроводниковая пластина 8, за" 30 люченная в вакуумный пакет 9 из ластичного материала.

Устройство работает следующим о61 азом.

Полупроводниковая пластина 8, заключенная s вакуумный пакет 9 из ластичного материала, устанавливается а столе 4, качающемся на оси

5„ ориентируется в нужном направле- 40

«сии и подводится под эластичный ро 1ик 2, установленный на станине 1 и вращающийся на оси 3. Винтом 7 соз" ,Цается необходимое для разламывания

Усилие пружины 6. Затем пластина 45 т рокатывается между эластичным роликом 2 и столом 4. За счет эластичности эластичного ролика 2 создается перепад высот Н, в проскрайбированной полупроводниковой пластине 8 создается напряжение сдвига вдоль скрайберной линии и проскрайбированная полупроводниковая пластина 8 раскалывается на кристаллы. Так как на проскрайбированную полупроводниковую пластину 8 после выхода из зоны разламывания не действует снизу сила давления стола 4, то кристаллы получаются более качественными, не трутся друг о друга и на них не образуются сколы, трещины и не выкрашивается и»териал. Кроме того, в результате того, что концентрация давления на проскрайбированную полупроводниковую 8 пластину происходит вдоль линии касания эластичным роликом 2 острой кромки стола 4, исключается образование двойников и тройников кристаллов, что исключает дополнительную ломку, т.е. повЫшается выход годных кристаллов.

Формула изобретения

Устройство для разламывания полупроводниковых пластин на кристаллы, содержащее станину, на которой установлен с возможностью вращения ролик, и стол для укладки пластин, о т л и" ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения коэффициента использования материала путем обеспечения качества разделения, стрл одним концом шарнирно закреплен на станине и подпружинен относительно нее, а другой конец стола имеет острую кромку, параллельную оси ролика и расположенную под ним в плоскости, проходящей через ось ролика перпендикулярно плоскости стола, а ролик выполнен из эластичного материала.

1423378

Составитель Ю.Филимонов

Техред Л.Олийнык

Редактор М.Келемеш

Корректор А.Тяско

Заказ 4476/19

Тираж 639

ВПИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

)13035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4