Интерферометр для контроля выпуклых параболоидов

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для технологического и аттестационного контроля выпуклых параболоидов в оптическом приборостроении. Цель изобретения - расширение диапа зона контралируе и х поверхностей, вышение точности и производительности контроля благодаря тому, -что оптическая система позволяет направить в рабочую ветвь интерферометра световой пучок, отраженный всеми зонами

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4 G 01 В 11/24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTHA (21) 4217951/24-28 (22) 30.03.87 (46) 23.09.88. Бюл. У 35 (72) В.А.Феоктистов, М.И.Назмеев

А.Г.Хуснутдинов и Б.А.Алипов (53) 531. 715. 1 (088. 8) (56) Пуряев Д.Т. Методы контроля оптических асферических поверхностей.—

М.: Машиностроение, 1976, с. 98, рис. 38.

Инюшин А,И. и Шифферс Л.А. Интерференционный метод контроля выпуклых параболических поверхностей. — ОМП, 1966, В 8, с. 19-21, рис. °

„„Я0„„1425437 А1 (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВЫПУКЛЬХ ПАРАБОЛОИДОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для технологического и аттестационного контроля выпуклых параболоидов в оптическом приборостроении.

Цель изобретения — расширение диапа-. зона контралируемых поверхностей, по : вышение точности и производительности контроля благодаря томУ, что оптическая система позволяет направить в рабочую ветвь интерферометра световой пучок, отраженный всеми зонами

1425437

30! коггтролируемой поверхности. Таким образом, контроль выпуклых параболоидов с центральной рабочей зоной становится возможным проводить за один прием, исключив .дополнительную и менее точную операцию контроля центральной зоны с помощью пробного стек4 ла. Интерферометр содержит источник 1 монохроматического излучения и послеИзобретение относится к иэмери .тельной технике и может быть исполь,зовано для технологического и аттес тационного контроля выпуклых парабо лоидов в оптическом приборостроении.

Цель изобретения — расширение диапазона контролируемых поверхностей, повышение точности и производитель-. ности контроля благодаря тому, что световой пучок рабочей ветви направляется на контролируемую поверхность линзовым компонентом афокальной сис темы, фокус которого совмещен с фокусом поверхности. Это позволяет

poëHoñòüþ осветить контролируемую по» верхность и направить отраженный все" гги зонами контролируемой поверхности параллельный пучок в рабочую ветвь интерферометра, что дает возможность контролировать выпуклые параболоиды как с нерабочей, так и рабочей центральной зоной, а также благодаря тому, что поверхность контролируется за один прием, что позволяет исключить дополнительную менее точную операцию контроля центральной рабочей зоны с помощью сферического пробного стекла.

На чертеже изображена оптическая схема предлагаемого интерферометра.

Интерферометр для контроля выпук." лых параболоидов содержит источник 1 монохроматического излученИя и последовательно установленные по ходу излучения фокусирующую оптическую систему 2, диафрагму 3, объектив 4, светоделитель 5 для разделения иэлуче" ния на две ветви — опорную и рабочую, эталонное. зеркало, расположенное в опорной ветви и выполненное в виде двойного зеркала 6, состоящего из довательно установленные по ходу излучения фокусирующую оптическую снстему 2, диафрагму 3, объектив 4, светоделитель 5, двойное плоское зеркало

6, второй светоделитель 10, входной объектив 9 системы регистрации интерференционной картины, экран 11, афокальную систему, состоящую иэ линзовых компонентов 7 и 8 ° 1 ил. плоских зеркал, расположенных под . 4 углом 90 друг к другу, оптическую систему, выполненную афокальной и состоящую из двух полоюггтельных линзовых компонентов 7 и 8, расположенных по разные стороны светодетителя

5, систему (не чертеже не показана) регистрации интерференционной картины, включающую входной объектив 9, второй светоцелитель 10, экран 11.

Интерферометр работает следующим образом °

Свет от источника 1 монохроматического излучения фокусирующей опти ческой системой 2 направляется в диафрагму 3, установленную в фокусе объектива 4. Параллельный пучок, сформированный объективом 4 с помощью светоделителя 5, делится на опорную и рабочую ветви. Параллельный пучок опорной ветви, отраженный

pBOHHblM 3BpK33IoM 6, C помощью НТоро го светоделителя 10 направляется во . входной объектив 9 системы регистрации интерференционной картины. Параллельный пучок рабочей ветви проходит линзовый компонент 7 и направ.ляется на контролируемую деталь 12 с выпуклой параболической поверхкостью. Фокус параболической поверхl ности F„ совмещают с фокусом Гг линзового компонента 7, а оптическую ось параболической поверхности — с оптической осью афокальной системы.

35 Отраженный от параболической поверхности параллельный пучок проходит афокальную систему и, пройдя светоделитель 10, попадает во входной объектив 9. Интерференционную карти40 ну, возникающую в результате взаимодействия рабочего и опорного пучков»

- 1425437 наблюдают непосредственно глазом из .фокуса Рд или на экране 11.

Формула изобретения

Составитель Л. Лобзова

Техред М.Дидык Корректор М, Демчик

Редактор Л. Зайцева

Заказ 4756/35 Тираж 680 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул . Проектная, 4

Интерферометр для контроля выпуклых параболоидов, содержащий источник монохроматического излучения и последовательно установленные по ходу 10 излучения фокусирующую оптическую систему, диафрагму, объектив, расположенный так, что его фокус совмещен с диафрагмой, и первый светоделитель дпя разделения излучения на две вет ви — опорную и рабочую, эталонное зеркало, расположенное в опорной ветви, оптическую систему, расположенную в рабочей ветви, и систему регистрации интерференционной картины, э0 включающую входной объектив, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью расширения диапазона контролируемых поверхностей, повышения точности и производительности контроля, он снабжен вторым светоделителем, установ"ленным между оптической системой ра бочей ветви и входным объективом параллельно первому светоделителю, оптическая система рабочей ветви выполнена афокальной, состоит из двух положительных линзовых компонентов, расположенных по разные стороны первого светоделителя; и установлена так, что оптическая ось системы совмещена с оптической осью входного объектива, а эталонное зеркало выполнено в виде двойного зеркала, состоящего из плоских зеркал, расположенных под углом 90 друг к другу, и установленного так, что оптическая ось опорной ветви совмещена с оптической осью входного объектива.