Френелевский анализатор для контроля геометрических параметров изделий
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля геометрических параметров изделий. Цель изобретения - повышение точности измерения геометрических параметров изделий - достигается за счет использования оптического увеличения дифракционной картины . Микрообъектив 2 и точечная диафрагма 3 формируют расширенный пучок , куда помещается контролируемая деталь 14. Дифракционная картина получается на неподвижной щели 5, Щель 5 выделяет участок картины для сканирования . Подвижная каретка со щелью 7 осуществляет сканирование вдоль дифракционной картины. На графопостроителе 13, на вход которого подается сигнал с ФЭУ 12, регистрируется рас- ; пределение светового поля. 1 ил. (Л
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
41 А1
„„SU,„, 14 (51) 4 С 01 В 11/24
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
H ДBTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4137894/24-28 (22) 04.08.86 (46) 15.10,88. Вюл, У 38 (71) Симферопольский государственный университет им.М.В.Фрунзе (72) В,В.Паненко и N.Ë,Âàéëü (53) 531.717(088.8) (56) Крылов К,И,, Прокопенко В.Г,, Митрофанов A С. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении.
Л.: Машиностроение, 1978, с.264-278. (54) ФРЕНЕЛЕВСКИЙ АНАЛИЗАТОР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля геометрических параметров изделий. Цель изобретенияповышение точности измерения геометрических параметров изделий — достигается за счет использования оптического увеличения дифракционной картины. Микрообъектив 2 и точечная диафрагма 3 формируют расширенный пучок, куда помещается контролируемая деталь 14. Дифракционная картина получается на неподвижной щели 5. Щель 5 выделяет участок картины для сканирования, Подвижная каретка со щелью 7 осуществляет сканирование вдоль дифракционной картины, На графопостроителе 13, на вход которого подается сигнал с ФЭУ 12, регистрируется распределение светового поля. 1 ил.
1430741
HIMHIIH Заказ 5330/40 Тираж 680 (îäïè<. яос
Произв.-полигр, пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля геометрических параметров иэделий и измерения взаимного расположения частей изделия с разной геометрией.
Цель изобретения †повышение точности измерения геометрических параметров иэделий — достигается за счет 0 использования оптического увеличения дифракционной картины.
На чертеже показана функционалылая схема анализатора, Лнализатор содержит когерентный ис-15 точник 1 излучения и последовательно расположенные по ходу его излучения микрообъектив 2, точечную диафрагму 3 и сканирующее устройство 4, состоящее из щели 5, основания 6, второй щели ъ0
7, установленной на подвижной каретке (не обозначена), имеющей воэмойность перемещения вдоль всей плоскости дифракционной картины и приводимой в движение приводом 8, микровинта 9, милли-15 метровой шкалы 10, нониусной линии
11, фотоумножителя (ФЭУ) 12, а также блок регистрации, выполненный в виде графопостроителя )3, электрически связанного с выходом сканирующего уст- 30 ройства.
Оптический анализатор работает следующим образом, Когерентный источник 1 излучения формирует поток излучения, который при прохождении через микрообъектив
2 и точечную диафрагму 3 становится расходящимся. При помещении контролируемой детали 14 в этот расходящийся поток на неподвижной щели 5 об- р разуется дифракционная картина исследуемой детали, Щель 5 выделяет участок дифракционной картины для сканирования. Установленная на основании 6 подвижная каретка со щелью
7 при помощи привода 8 и микровинта
9 производит сканирование вдоль плоскости дифракционной картины, Каретка снабжена миллиметровой шкалой 10, а микровинт 9 — нониусной головкой
11 для регистрации с погрешностью
+0,005 мм. Полученное таким образом при помощи ФЭУ 12 распределение светового поля регистрируется графопостроителем 13, При обработке кривых, полученных при сканировании, положение осевой линии определяется как середина расстояния между левым и правым максимумами. Штангенциркулем измеряется расстояние 1, от одного краевого максимума до максимума в центре, затем
1 — от максимума в центре до другого краевого максимума. Сумма этих расстояний дает размер D увеличенного дифракционного изображения цилиндрической части детали в масштабе графопостроителя. Отклонение центра контура сферы от осевой линии в масштабе графопостроителя определяется по формуле
1т,) П °
Отклонение центра контура сферы от осевой линии в масштабе детали Д,1 определяется по формуле
1 42 dh д .. Л. где d — диаметр детали, числовой коэффициент учитывает увеличение дифракционного изображения, взятого по краевым максимумам.
Формула изобретения
Френелевский анализатор для контроля геометрических параметров изделий, содержащий когерентный ис гочник излучения и сканирующее устройство, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения геометрических параметров изделий, он снабжен последовательно расположенными между источником излучения и сканирующим устройством микрообъективом и точечной диафрагмой, а также блоком регистрации, выполненным в виде графопостроителя, электрически связанного с выходом сканирующего устройства, которое выполнено в виде каретки с приводом, электрически связанным с блоком регистрации, и двух щелевых диафрагм, расположенных взаимно перпендикулярно в плоскости, ортогональной оси излучения, при этом одна иэ щелей закреплена на каретке.
