Производственный модуль для нанесения гальванопокрыытий

 

Изобретение относится к технике гальванопокрытий в производстве ин (иаЗ тегральных схем. Цель изобретения - повьшение производительности -в -услЬ- виях мелкосерийного производства. Производственный модуль для нанесения гальванопокрытий включает корпус 1, технологические блоки 2, механизмы 3 прижима деталей, ванны, кассеты 5, насосы с трубопроводами, транспортирующи.е механизмы 8 и элеваторы 9 дискретного действия. В процессе обработки автооператор захватывает кассету 5 с заготовками и устанавливает на стол элеватора 9. Стол опускается на один шаг и механизм транспортирования 8 удаляет из кассеты 5 перфокарту, которая проходит блок i (Л // ел

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (51) 4 С 25 Р 19/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21 ) 4 1 76259/2 3-02 (22) 06.01.87 (46) 15.01 89. Бюл. Р 2 (72) Д.И.Лифшиц, O.Â.Ïûæoâà, С.Д.Венцеславский, А.К. Яновицкий, С.М.Вилинский, В.А.Газецкий, А.А.Бессонный и А,В.Максимчук (53) 621.357.14.002.52(088.8) (56) Патент Великобритании Р 1393138, кл. С 25 D 5/00, !975.

Авторское свидетельство СССР

У 642382, кл. С 25 С 5/02, 1976. (54) ПРОИЗВОДСТВЕННЫЙ МОДУЛЬ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ГАЛЬВАНОПОКРЫТИЙ (57) Изобретение относится к технике гальванопокрытий в производстве интегральных схем. Цель изобретения— повышение производительности в услЬвиях мелкосерийного производства, Производственный модуль для нанесения гальванопокрытий включает корпус

I технологические блоки 2, механизмы Зприжима деталей, ванны, кассеты

5, насосы с трубопроводами, транспортирующие механизмы 8 и элеваторы

9 дискретного действия. В процессе обработки автооператор захватывает кассету 5 с заготовками и устанавливает на стол элеватора 9. Стоп опускается на один шаг и механизм транспортирования 8 удаляет из кассеты 5 перфокарту, которая проходит блок

1451186 идентификации, все рабочие позиции и попадает в кассету, установленную в кольце корпуса 1. После этого стол элеватора 9 опускается еще на один шаг и заготовка устанавливается над окном 21. Экран 24 механизмом 20 опускается до контакта с заготовкой, а магистраль 23 подключается к вакууму, Заготовка присасывается к экрану 24, после чего механизмы 8 расходятся под действием привода в сторо, ны от окна 21. Включаются насосы и через форсунки 27 электролит подается на поверхность заготовок, откуда через фильтр 35 стекает в ванну. Рамка 22 подключена к отрицательному полюсу, а анод помещен в напорную

Изобретение относится к технике гальванопокрытий в производстве СВ4 гибридных интегральных схем и тонкопленочных микросборок.

Цель изобретения — повышение производительности в условиях мелкосерийного производства.

На фиг.l показан гибкий модуль для нанесения гальванопокрытий, вид спереди; на фиг.2 — разрез А-А на фиг ° 1; íà фиг.3 — модуль, осевое сечение по продольной оси; на фиг.4— модуль, поперечное сечение; на фиг. 5— рабочая позиция трека модуля; на фиг.б — сечение Б-Б на фиг.2; на фиг.7 — трек, план.

Гибкий производственный модуль для нанесения гальванопокрытия содержит корпус 1, в котором смонтированы технологические блоки 2, механизмы 3 прижима обрабатываемых изделий, ванны 4 для электролита, кассеты 5, насосы б, трубопроводы 7, транспортирующие механизмы 8, связанные с элеваторами 9 дискретного действия.

Элеваторы 9 установлены в начале и в конце модуля. В шкафу 10 размещены блоки электроавтоматики 11, источники 12 питания и система 13 программного управления, связанная с блоком

14 идентификации, установленным за элеватором начала модуля. Система 13 j магистраль, вследствие чего происходит электроосаждение. После завершения металлизации экран 24 поднимает-. ся, механизмы 8 сводятся, экран 24 опускается до упора заготовки в транспортер, вакуум отключается и механизмы 8 переносят заготовку на следующую рабочую позицию над окном

21 ° Цикл обработки повторяется. Конструкция модуля позволяет обрабатывать несколько партий заготовок с различными параметрами в автоматическом режиме, что значительно повы" шает производительность обработки в условиях мелкосерийного производства.

5 з.п. ф-лы, 7 ил. связана с блоками 15 клапанов, установленными за линией пылезащиты 16, в которой смонтирован автооператор

17 и закреплены модули 18 межоперационного хранения кассет 5. Каждый технологический блок 2 содержит механизм 3 прижима обрабатываемых изделий 19, имеющий установленный на приводе 20 вертикального перемещения полый перфорированный со стороны окна

21, обрамленного рамкой 22, связанной с вакуумной магистралью 23, экран 24, расположенный симметрично транспортирующим механизмам 8, подвижным относительно окна 21 с рамкой

22, связанным с приводом 25. Симмет" рично окну 21 установлен дугообразный коллектор 26, по дуге которого расположены связанные с анодом форсунки 27 с линейным факелом цилинд" рической формы, оси которых перпендикулярны продольной оси окна 21, а длина паза, формирующего факел, равна ширине окна 21. Тыльная стенка 28 линии пылезащиты 16 выполнена из двух параллельных щитов, между которыми расположен закрепленный на установленном на верхнем щите механизма

29 продольного перемещения автооператора 17 П-образный кронштейн 30, на вертикальной стойке которого имеется механизм 31 вертикального переI мещения, несущий штангу 32 с захватики ll регулирует время выдержки на рабочей позиции. После этого стол элеватора 9 опускается еще на один шаг и заготовка 19 транспортирующим механизмом 8 устанавливается иад окном 21. Экран 24 приводом 20 опускается до контакта с иэделием 19 и подается вакуум по магистрали 23. Изделие 19 присасывается к экрану 24, после чего механизмы 8 расходятся под воздействием привода 25 в стороны от окна 21. Экран 24 с иэделием

19 перемещается вниз до упора в рамку 22. Включаются насосы 6 и форсуики 27 начинают подавать электролит на поверхность изделия 19, откуда он через фильтр 35 стекает в ванну 4.

Учитывая, что рамка 22 подключена к источнику отрицательного электричес кого потенциала, а анод помещен в напорную магистраль на поверхности

55 з 14511 том 33. Модули 18 межоперационно, о хранения кассет расположены в начале и в конце гибкого производственного модуля и содержат каждый транспор5 тер 34 дискретного действия, перпендикулярный направлению продольного перемещения автооператора 17. Слив окон 21 через фильтр 35 соединен с ванной 4 для электролита. Блок 14 Ip идентификации установлен за элеватором 9, причем выход его соединен с входом системы 13 программного уп- > равления, выход которой соединен с входом источников питания 12 и уст- 15 ройством таймеров блоков 11 электроавтоматики.

Гибкий производственный модуль для нанесения гальванопокрытий работает следующим образом. 20

Кассеты 5 с заготовками 19 и перфокартами, имитирующими заготовку, помещают на модуль 18, транспортер

34 которого смещается, заводя кассету в зону наддува азотом. Автоопера- 25 тор 17 захватывает кассету 5 и устанавливает на стол элеватора 9. Стол опускается на один шаг и транспортирующий механизм 8 удаляет из кассеты

5 перфокарту, которая проходит блок 30

14 идентификации, все рабочие позиции и попадает в кассету, установленную в конце корпуса 1. При этом блок 14 устанавливает тип заготовки, который определяет площадь металлизации, пос" 35 ле чего система 13 устанавливает режим работы источника питания, а устройство таймеров блока электроавтомаЯб

4 за-отовки 19 фoрcункам

27, происходит электроосаждепие. После завершения металлизации экран 24 поднимается, механизмы 8 сводятся, экран 24 опускается до упора изделия

19 в- транспортер, вакуум отключается и транспортеры 8 переносят заготовку на следующую рабочую познцию над окном 21. Цикл обработки повторяется.

После прохождения всех рабочих позиций заготовка 19 транспортирующим механизмом 8 вводится в зев кассеты 5, которая элеватором 9 перемещается на

1 шаг. Циклы повторяются до полной выработки всех заготовок в кассете.

Автооператор 17 пустую кассету переносит на позицию загрузки, а кассету, заполненную заготовками, в модуль 18.

Конструкция гибкого производственного модуля позволяет обрабатыватй в автоматическом автономном ре тиме несколько партий заготовок с различными параметрами. Это дает возможность повысить производительность труда в условиях мелкосерийного производства.

Формула EIз обретения

1. Производственный модуль для нанесения гальванопокрытий, содержащий корпус, в котором смонтированы технологические блоки, механизмы при" жима обрабатываемых изделий, ванны для электролита, кассеты, насосы, трубопроводы, механизмы транспортировки, связанные с элеваторами дискретного действия, установленными перед модулем и заним, блоки автоматики с таймерами, источники питания, электроды, систему программного управления с блоком идентификаций, блоки клапанов, узел пылезащиты, автооператор с механизмами горизонтального и вертикального перемещения и модули-накопители кассет, о т л и— чающий с я тем, что, с целью повышения производительности в условиях мелкосерийного производства, он снабжен расположенным в каждом технологическом блоке полым перфорированным экраном и дугообразным коллектором с форсунками, технологический блок выполнен с призматическим углублением и токоподводящим обрамлением в виде прямоугольной рамки, коллектор с форсунками и анод ðàçìåщены внутри углубления, а экран ус.тановлен на приводе вертикального

1451 перемещения автооператора обрабатываемых изделий над механизмом транспортировки.

2. Модуль по п.1, о т л и ч а ю" шийся тем, что оси форсунок перпендикулярны продольной оси рамки.

3. Модуль по п.1, о т л и ч а юшийся тем, что механизмы транс- 10 портировки выполнены с воэможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной плоскости перемещения изделий.

4. Модуль по пп.1-3, о т л и— ч а ю шийся тем, что узел пыле- 1Б защиты выполнен в виде двух щитов, между которыми расположен П-образный кронштейн установленный на механизме продольного перемещения автооперато186 б ра а на вертикальной стойке кронштейна размещен механизм вертикального перемещения автооператора с захватом.

5. Модуль по пп.1-4, о т л и— ч а ю шийся тем, что он снабжен транспортером дискретного действия, размещенным на модуле-накопителе.

6. Модуль по пп.1-5,.о т л и ч а ю шийся тем, что блок идентификации расположен перпендикулярно механизму транспортировки и размещен за элеватором дискретного действия, установленным в начале модуля, причем выход блока идентификации соединен с входом программного управления, выход которого связан с входом источников питания и таймерами.

18 7

)45 186

1451186

22

Составитель В.Комраков

Редактор М.Недолуженко Техред Л.Олийнык Корректор В.Гирняк

Заказ 7039/22 Тираж 605 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по иэобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4