Вакуумный затвор

 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в вакуумном технологическом оборудовании. Цель изобретения - расширение функциональных возможностей за счет дросселирования газового потока. Устройство содержит корпус 1, в котором размещена заслонка 2, соединенная с пневмоприводом 4 через рычажную систему 5. Шток пневмопривода 4 соединен с дополнительным пневмоприводом 6, диаметр поршня которого выбран из выражения Д<SB POS="POST">2</SB>02=√Д<SB POS="POST">1</SB><SP POS="POST">2</SP>+4F<SB POS="POST">т</SB>р/PXφ, м, где : Д<SB POS="POST">1</SB> - диаметр поршня пневмопривода, м

Д<SB POS="POST">2</SB> - диаметр поршня дополнительного пневмопривода, м : F<SB POS="POST">т</SB>р - сила трения, H

P - РАБОЧЕЕ ДАВЛЕНИЕ СЖАТОГО ВОЗДУХА В ПОЛОСТЯХ ПНЕВМОПРИВОДОВ, Н/М<SP POS="POST">2</SP>. Вакуумный затвор позволяет упростить конструкцию вакуумной откачкой системы путем устранения обходной дросселирующей откачки или специального устройства для дросселирования газового потока. 1 ил.

СО)ОЗ СОВЕТСКИХ.

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) А1 (51)4С 23 С 14 56

8;ЕОБИЯ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

N,:ÃÛ - ) ..:-; LitpRk, E.,:.Á.:. 19 . Е., А

2 (54) ВАКУУМНЫЙ ЗА ВОР

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЭОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4262409/24-21 (22) 27.04.87 (46) 30.05.89. Бюл. )) 20 (72) А.Н.Зубарев и В.Г.Коробов (53) 621.52/.075,8(088.8) (56) Розанов Л.Н. Вакуумные машины и установки. Л.: Машиностроение, 1975, с. 283, рис. 520. (57) Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в вакуумном технологическом оборудовании, Цель изобретения — расширение Аункциональных возможностей за счет дросселирования газового потока.

1482978

15

0 >

Устройство содержит корпус 1, в котором размещена заслонка 2, соединенная с пневмоприводом 4 через рычажную систему 5. Шток пневмопривода 4 соединен с дополнительным пнев-. моприводом 6, диаметр порш

ro выбран из выражения D>h м, где D — диаметр порпня пневмопривода, м; D — диаметр поршня доИзобретение относится к вакЯ Я= ной технике и может быть использовано в вакуумном технологическом оборудовании.

Цель изобретения — расширение функциональных возможностей за счет дросселирования газового потока.

На чертеже изображен вакуумный затвор, общий вид.

Вакуумный затвор содержит корпус

1, в котором размещена заслонка 2, соединенная с первым концом штока 3 пневмопривода 4 через рычажную систему 5. Шток 3 пневмопривода 4 вакуумного затвора соединен с дополнительным пневмоприводом 6, диаметр поршня 7 которого выбран из выражения где D — диаметр поршня пневмопри1 вода, м; 25

D — диаметр поршня дополнитель2 ного пневмопривода, м, F1 — сила трения, И, Р— рабочее давление сжатого . воздуха в полостях пневмо- 30 пр ив од о в, Н /м .

Второй конец штока 3 пневмопривода 4 снабжен упорной гайкой 8.

Вакуумный затвор работает следующим образом. 35

При подаче сжатого воздуха в канал Б и соединении каналов А и В с атмосферой поршень пневмопривода вместе со штоком 3 перемещается в крайнее верхнее положение, заслонка 40

2 опускается на седло затвора и про-, исходит закрытие затвора. Одновреполнительного пневмопривода м Г т сила трения, Н Р вЂ” рабочее давление сжатого воздуха в полостях пневмоприводон, Н/м . Вакуумный затвор позволяет упростить конструкцию вакуумной откачкой системы путем устранения обходной дросселирующей откачки -или специального устройства для дросселирования газового потока. 1 ил. менно шток 3 посредством упорной гайки 8 перемещает поршень 7 дополнительно пневмопривода 6 вверх.

При подаче сжатого воздуха в канал А и соединения канала Б с атмосферой поршень пневмопринода 4 со штоком 3 перемещается в крайнее нижнее положение и через рычажную систему 5 поднимает заслонку 2 — происходит открытие затвора.

При подаче сжатого воздуха в каналы Б и В и соединении канала А с атмосферой поршень пневмопривода

4 со штоком 3 перемещается вверх., а поршень 7 — вниз. Занимая крайнее нижнее положение, поршень 7 ограни" чивает перемещение штока 3 в крайнее верхнее положение, так как упорная гайка 8 своим торцом упирается в торец поршня 7. Таким образом заслонка

2 не опускается полностью на седло затвора и между ними остается щель заданной проводимости. Это состояние затвора соответствует положению дросселирования, третьему возможному состоянию, Экономический эффект от внедрения предлагаемого вакуумного затвора обеспечивается эа счет совмещения двух различных функций в одном устройстве, позволяющем упростить конструкцию вакуумной откачной системы в целом эа счет устранения обходной дросселирующей откачки или специального устройства для дросселирования газового потока.

Формула изобретения

Вакуумний затвор, содержащий корпус, в котором размещена заслонка, соединенная с первым концом штока пневмопривода через рычажную систе1482978 где D, pbrp аже ния р у + -->4F

1 Я 1 Р Г t

Составитель М.Морозов

Редактор М.Петрова ТехредЛ.Сердюкова Корректор Л.Пилипенко

Заказ 2787/22 Тираж 941 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r.Óæãîðîä, ул. Гагарина,!01 му, о тличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет дросселирования газового потока, шток пневмопривода вакуумного затвора соединен с дополнительным пневмоприводом, диаметр поршня которого выбран из — диаметр поршня пиевмопривода, м

D — диаметр поршня дополнитель2 ного пневмопривода, м, F — сила трения, Н;

P — рабочее давление сжатого воздуха в полостях пневмопривода, Н/м, а второй конец штока пневмопривода снабжен упорной гайкой.

Вакуумный затвор Вакуумный затвор Вакуумный затвор 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технике производства пленочных покрытий

Изобретение относится к средствам наблюдения за процессом нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении, приборостроении и электронной промьшшенности для ко.нтроля толщины покрытий

Изобретение относится к обработке изделий в вакууме
Изобретение относится к способам получения керамических мишеней для нанесения покрытий в вакууме катодным распылением и может быть использовано при изготовлении пленочных интегральных схем с сегнетоэлектрическими элементами

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для загрузки и выгрузки изделий в вакуумных установках со шлюзовыми системами и устройствами нанесения покрытий

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Изобретение относится к технологии вакуумно-дуговой обработки металлов, в частности к производству многослойных лент
Изобретение относится к изготовлению приборов оптоэлектроники и может быть использовано при изготовлении дисплеев, светоизлучающих диодов и затворов полупроводниковых структур типа металл-диэлектрик-полупроводник

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам и устройствам для получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги, используемых для окон при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, машиностроении, при обработке металлов и в других отраслях промышленности

Изобретение относится к промышленному транспорту, в частности к устройству для непрерывной загрузки емкостей, например пластиковых бутылок

Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Изобретение относится к геттерной системе для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы
Наверх