Диффузионно-магниторазрядный индикатор гелия

 

Изобретение относится к устройствам для индикации изменения давления гелия и может найти применение при контроле герметичности изделий и систем. Целью изобретения является повышение чувствительности индикатора к изменению давления гелия в испытуемой среде путем уменьшения величины и нестабильности фонового разрядного тока индикатора. Индикатор содержит магниторазрядный насос 1, мембранный узел с кварцевой мембраной 2, нагреватель 3 мембраны и трубопровод 4. Мембрана 2 герметично подсоединена к системе откачки, а нагреватель 3 мембраны установлен с внешней стороны мембранного узла. Мембрана 2 подсоединена к системе откачки посредством трубопровода 4, выполненного из термостойкого материала с малым коэффициентом теплопередачи. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ.

СООИАЛИСТИЧЕО-1ИХ

РЕСПУБЛИК (5D 4 G 01 М 3/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4309114/25-28 (22) 25,09.87 (46) 30.05 ° 89. Вюл, Ф 20 (72) В,Т.Кузьмина (53) 620, 165, 29 (088,8) (56) ГолоcKоков В,В, Кузьмина В.Т., Левина Л,Е., Панюшкин В,В, и Пименов В,В. Магниторазрядный индикатор гелия. ПТЭ, 1973, 11 1 ° с.175178.

Spies J. Vakuum Technik. 1966, 15, 11 8, с.185-191. (54) ДИФФУЗИОННО-МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ ИНДИКАТОР ГЕЛИЯ (57) Изобретение относится к устройствам для индикации изменения давления гелия и может найти применение при контроле герметичности изделий

„„SU„„1483301 А1

2 и систем, Целью изобретения является повышение чувствительности индикатора к изменению давления гелия в испытуемой среде путем уменьшения величины и нестабильности фонового разрядного тока индикатора, Индикатор содержит магниторазрядный насос 1, мембранный узел с кварцевой мембраной 2, нагреватель 3 мембраны и трубопровод 4, Мембрана 2 герметично подсоединена к системе откачки, а нагреватель 3 мембраны установлен с внешней стороны мембранного узла, Мембрана 2 подсоединена к системе откачки посредством трубопровода 4, выполненного из термостойкого материала с малым коэффициентом теплопередачи. 1 з п, ф лы, 1 ил, 1483301

Изобретение относится к испытатель ной техник е, в час тиос ти к ус тройствам для индикации изменения давления гелия, и может быть использовано при контроле герметичности изделий и систем.

Цель изобретения — повьппение чув« ствительности индикатора к изменению давления гелия в испытуемой среде путем уменьшения величины и нестабильности фонового разрядного тока индика тора, На чертеже показана схема диффузионно-магнитораэрядного индикатора 15 гелия.

Диффузионно-магнитораэрядный индикатор гелия содержит магниторазрядный насос 1, мембранный узел с кварцевой мембраной 2, нагреватель 3 20 мембраны и трубопровод 4, Мембрана 2 герметично подсоединена к системе откачки посредством трубопровода 4, выполненного из термостойкого теплоиэоляционного материала, например 25 кварца или стекла ° Нагреватель 3 мембраны установлен с внешней стороны мембранного узла.

Индикатор работает следующим образом, 30

Включается магниторазрядный .насос 1, трубопровод 4 подсоединяется к системе откачки, затем включается нагреватель 3, По достижении установившегося разрядного тока индикатор может быть использован для регистрации изменения давления гелия в испытуемой среде (в атмосфере или вакууме), в частности для контроля герметичности изделий и систем, При 40 этом трубопровод 4 изолируется от системы откачки и соединяется с системой подачи испытуемой среды к мембране 2 индикатора. После регистрации индикатором содержания гелия в 45

1испытуемой среде трубопровод 4 изолируется от системы подачи испытуемой среды и соединяется с системой откачки — испытуемая среда удаляется от мембраны 2 индикатора, 50

Поньппение чувствительности предлагаемого индикатора обеспечивается герметичным подсоединением мембраны к системе откачки посредством трубопровода 4 выполненного из термостойФ

55 кого материала с малым коэффициентом теплопередачи (кварц, стекло и др,), а также размещением нагревателя 3 мембраны 2 с внешней стороны мембранного узла, в результате чего уменьшается фоновый разрядный ток индикатора, особенно при повышении температуры нагревателя 3. Уменьшение нестабильности также достигается герметичным подсоединением кварцевой мембраны 2 к системе откачки посредством трубопровода 4, благодаря чему место подсоединения мембраны 2 и трубопронода 4, где расположен нагреватель 3 1 янляется своего рода аккумулятором тепла, что способствует стабилизации температуры мембраны 2 °

При этом ликвидируется один иэ источников фонового тока индикатора, поскольку атмосферный воздух удаляется от мембраны 2, проницаемость которой при увеличении температуры резко возрастает не только для гелия, но и для других газон, особенно для водорода и азота.

Пример, К корпусу малогабаритного магниторазрядного насоса l подсоединен стеклянно-кварцевый переход, к торцу кварцевой трубки которого приварена тонкая (5-10 мкм) кварцевая мембрана диаметром 5-2,5 мм, К кварцевой трубке вокруг периметра мембраны герметично подсоединяется, например приваривается, кварцевая воронка - трубопровод. С внешней стороны мембранного узла на кварцевую трубку, к которой приварена мембрана установлен нагреватель мембраны и на трубопровод в непосредственной близости к мембране намотана нихромовая проволока, через которую пропускается электрический ток, Чувствительность предлагаемого ин -1 дикатора (3-8) 10 мм рт.ст, при проницаемости мембран (3,5-10) ° 10 л/с и скорости откачки гелия 2 10 л/с .

Таким образом, предлагаемый индикатор позволяет регистрировать изменение давления гелия в испытуемой среде в (1-3) 10 раз меньше по срави. нению с известным.

Формула изобре тения

1, Диффузионно-магнитораэрядный индикатор гелия, содержащий магниторазрядный насос, соединенный с ним мембранный узел, включающий кварцевую мембрану и нагреватель мембраны, о т л и ч а ю m, и и с я тем, что, с целью повышения чувствительности индикатора, он снабжен системой откачки, мембрана герметично установлена

1483301

Составитель Е,Масленников

Техред M. Ходанич Коррек тор М. Васильев а

Редактор А.Лежнина

Заказ 28)7/38 Тираж 789 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101

5 в мембранном узле, полость его со стороны мембраны, противоположной магниторазрядному насосу, соединена с системой откачки, а нагреватель мембраны установлен с внешней стороны мембранного узла, 6

2, Индикатор по п.1, о т л и— ч а ю шийся тем, что соединение полости с системой откачки выполнено

5 посредством трубопровода из термостойкого теплоизоляционного материала.