Способ поверки меры

 

Изобретение относится к измерительной технике для калибровки увеличения и системы позиционирования оптических и электронных микроскопов. Целью изобратения является удешевление поверки за счет использования радиотехнических методов. Калибровка меры 1, представляющей собой систему параллельных полос 2 с постоянным периодом, осуществляется путем облучения ее поверхностной акустической волной релеевского типа с волновым вектором, перпендикулярным полоскам меры, а измеряемый параметр - период системы полос меры Λ определяют как L=v_s(f_в+f_н), где V_s - скорость поверхностной акустической волны; f_в, F_н - верхняя и нижняя частоты режекций. 3 ил.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к мерам для калибровки увеличения и систем позиционирования оптических и электронных микроскопов. Целью изобретения является удешевление поверки за счет использования радиотехнических методов. На фиг. 1 приведено устройство для реализации способа в виде меры с электродами; на фиг. 2 схема включения электродов; на фиг. 3 вид амплитудно-частотной характеристики, по которой определяют период меры. На фиг. 1 цифрами обозначено: 1 подложка; 2 мера в виде периодических параллельных канавок; 3 встречно-штыревые электроды; 4 измеритель АЧХ; 5 частотомер. П р и м е р. Мера для калибровки увеличения оптических и электронных микроскопов выполнена на подложке из полуизолирующего арсенида геллия, рабочая сторона, ориентированная в плоскости (100) была оптически полированной химико-механическими методами. Система периодических параллельных канавок расположена вдоль оси арсенида геллия между двумя встречно-штыревыми системами электродов преобразователей поверхностных акустических волн, содержащих алюминиевые электроды, параллельные канавкам периодической структуры и углубленных в подложку. Период электродов равен периоду канавок структуры. На экране измерителя наблюдалась АЧХ типа Sin X/x с провалом посередине. Измерялись характерные частоты f_н и f_в, соответствующие пересечению АЧХ в области заграждения (режекция относительно вершины 45-46 дБ на центральной частоте) с линией визира по уровню 10 дБ. Период решетки связан с частотами режекции соотношением Λ= V_s/f_в + f_н, где V_s скорость ПАВ в направлении, перпендикулярной осям канавок периодической структуры.

Формула изобретения

СПОСОБ ПОВЕРКИ МЕРЫ в виде системы параллельных полос с постоянным периодом для калибровки увеличения и систем позиционирования оптических и электронных микроскопов, включающий облучение меры волной с волновым вектором, нормальным полосам меры, и измерении характеристик волны после ее взаимодействия с мерой, отличающийся тем, что, с целью удешевления поверки за счет использования радиотехнических методов, облучение меры производят поверхностной акустической волной релеевского типа, а в качестве измеряемых характеристик волны после ее взаимодействия с мерой используют верхнюю f_в и нижнюю f_н частоты режекции, при этом о периоде меры судят по величине Λ, определяемой из соотношения Λ = v_s/(f_м+f_в), где v_s - скорость поверхностной акустической волны.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3